• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.04a
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• pp.85-87
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• 2003

본 논문에서는 펄스파워를 발생시키기 위한 에너지 저장장치의 하나로, 최근 국내외에서 사용이 증가하고 있는 고전압 커패시터에 대하여 금속증착기술의 적용, 절연설계, 체부도 및 단말부 처리기술 등에 의한 고에너지밀도화 기술과 활용 분야에 대하여 소개하고자 한다. 특히, 최근 국산화 개발에 성공한 펄스파워용 고전압 고에너지밀도 커패시터에 대하여 선진 외국사 제품과의 비교를 통해 국내 기술 수준을 살펴보고, 펄스파워용 커패시터의 고에너지밀도화에 대한 전망과 시장 규모 등에 대하여도 기술하고다 한다.

• Journal of Korean Society of Disaster and Security
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• v.10 no.2
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• pp.21-28
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• 2017

Wind turbulence data is required for engineering calculations of gust speeds, mean and fluctuating loading. Spectral densities are required as input data for methods used in assessing dynamic response. This study is concerned with the estimation of daily instantaneous maximum wind velocity in the meteorological major cities (selected each 6 points) during the yearly 1987-2016.12.1. The purpose of this paper is to present the power spectral densities of the daily instantaneous maximum wind velocity. In the processes of analysis, used observations data obtained at Korea Meteorological Adminstration(KMA), it is assumed as a random processes. From the analysis results, in the paper estimated power spectral densities function(Blunt model) shows a very closed with von Karman and Solari's spectrum models.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.267-267
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• 2012

최근 국내 반도체 장비 업체들에 의해서 차세대 반도체용 450 mm 웨이퍼 공정용 장비 개발이 진행 중에 있다. 반도체 산업은 계속해서 반도체 칩의 크기를 작게 하고, 웨이퍼 크기를 늘리면서 웨이퍼 당 칩수를 증가시켜 생산성을 향상해오고 있다. 현재 300 mm 웨이퍼에서 450 mm 웨이퍼를 도입하게 되면, 생산성 뿐만 아니라 30%의 비용절감과 50%의 cycle-time 단축이 기대되고 있다. 장비에 대한 이해와 공정에 대한 해석 능력을 위해 비용과 시간이 많이 들기 때문에 최근 컴퓨터를 활용한 수치 모델링이 진행되고 있다. 또한, 수치 모델링은 실험 결과와의 비교가 필수적이다. 본 연구에서는 450 mm 웨이퍼 공정용 장비의 전자밀도를 cut off probe를 통해 100 mTorr에 서 Ar 플라즈마를 파워에 따라 측정했다. 13.56 MHz 200 W, 500 W, 1,000 W로 입력 파워가 증가하면서 웨이퍼 중심에서 $6.0{\times}10^9#/cm^3$, $1.35{\times}10^{10}#/cm^3$, $2.4{\times}10^{10}#/cm^3$로 증가했다. 450 mm 웨이퍼 영역에서 전자 밀도의 불균일도는 각각 10.31%, 3.24%, 4.81% 였다. 또한, 이 450 mm 웨이퍼용 CCP 장비를 축대칭 2차원으로 형상화하고, 전극에 13.56 MHz를 직렬로 연결된 blocking capacitor ($1{\times}10^{-6}$ F/$m^2$)를 통해 인가할 수 있도록 상용 유체 모델 소프트웨어(CFD-ACE+, EXI corp)를 이용하여 계산하였다. 주요 전자-중성 충돌 반응으로 momentum transfer, ionization, excitation, two-step ionization을 고려했고, $Ar^+$와 $Ar^*$의 표면 재결합 반응은 sticking coefficient를 1로 가정했다. CFD-ACE+의 CCP 모델을 통해 Poisson 방정식을 풀어서 sheath와 wave effect를 고려하였다. Stochastic heating을 고려하지 않았을 때, 플라즈마 흡수 파워가 80 W, 160 W, 240 W에서 실험 투입 전력 200 W, 500 W, 1,000 W일 때와 유사한 반경 방향의 플라즈마 밀도 분포를 보였다. 200 W, 500 W, 1,000 W일 때의 전자밀도 분포는 수치 모델링과 전 범위에서 각각 10%, 3%, 2%의 오차를 보였다. 450 mm의 전극에 13.56 MHz의 전력을 인가할 때, 파워가 증가할수록 전자밀도의 최대값의 위치가 웨이퍼 edge에서 중심으로 이동하고 있음을 실험과 모델링을 통해 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.702-702
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• 2013

태양전지에서 SiNX층은 반사방지막 역할과 태양전지 소자 보호 역할 2가지를 동시에 하고 있다. 태양전지에서 반사방지막은 굴절률 1.97, 두께 76 nm가 이론적으로 최적의 상태이다. PECVD장비를 이용하여 SiNx 층을 증착하였다. SiNX층 증착 시에 RF 파워와 혼합 가스를 변화한 후 굴절률을 측정하였다. RF 파워는 100~400 W로 변화시켰고 혼합가스 변화는 SiH4가스와 N2, H2, N2+H2 가스 각각을 같이 넣어 주면서 증착하였다. SiNX 가스 자체에 N2가 80%섞여 있는 가스를 사용하기 때문에 SiH4 가스자체 만으로도 SiNx층을 형성 할 수 있다. RF파워 300 W, SiH4 50 sccm, 기판 온도 $300^{\circ}C$, 공정시간 63초에서 굴절률 1.965, 두께 76 nm를 갖는 SiNx층을 형성 할 수 있었고 개방전압: 0.616 V, 전류밀도: 37.78 mA/$cm^2$, 충실도:76.59%, 효율: 17.82%로 가장 높은 효율을 얻을 수 있었다.

• Economic and Environmental Geology
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• v.40 no.6
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• pp.751-759
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• 2007

To better understand the subsurface geological structure of the Kunsan Basin in the Yellow Sea, the mean depths of the density discontinuous layers (DDLs) of the Kunsan Basin were calculated by power spectrum analysis using satellite altimetry gravity data. The calculated mean depths of DDLs were -1.1km, -3.4km, -9.1km and -31.0km. The mean depth of -1.1km DDL was interpreted as regional unconformity shown in about 1 second in two way travel time (TWTT) in the seismic reflection profiles, and the mean depth of -3.4km DDL was also interpreted as top of the acoustic basement in the seismic reflection profiles. Comparing with well data, seismic reflection profiles and regional geology in the study area, the mean depth of -9.1km DDL was interpreted as top of the igneous origin basement. This means that the acoustic basement of the study area is composed mainly of sediments which are disregarded in previous study. The mean depth of -31.0km DDL was interpreted as the Moho discontinuity because this mean depth is similar to one of the normal continental crust thickness. The detection of top of the igneous origin basement suggests that oil gas potential analysis in Kunsan Basin needs to be extended to the deeper part of sediments (acoustic basement).

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.12 no.3
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• pp.205-211
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• 2001

We propose a constant inversion black box model of erbium-doped fiber amplifiers (EDFAs) for exact performance predictions for EDFAs operated in the gain-flattened condition. The validity of the newly proposed model was experimentally verified by predicting the performance of EDFAs for the L band, within 1.9% required pump power discrepancy. The role of ion pairing effects on the power conversion efficiency is also discussed. ussed.

• Journal of Periodontal and Implant Science
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• v.35 no.4
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• pp.1003-1017
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• 2005

이 논문은 단일조사 저출력 $CO_2$ Laser조사가 치주인대 섬유아세포의 증식과 분화에 미치는 영향을 살펴보고 가장 효과적인 에너지와 파워밀도(power density)를 알아보기 위해 다음과 같이 실험하였다. 0.5W 출력, 10.6 ${\mu}m$ 파장, 50 Hz 연속형 $CO_2$ Laser를 사용하여, 실험군은 laser tip과 배양된 세포 사이의 거리를 2cm, 3cm으로 나누고, 조사시간을 1초, 3초로 나누어 4개의 군으로 설정하였고 대조군은 laser를 조사하지 않은 군으로 하였다. 치주인대 섬유아세포의 증삭정도와 골모세포로의 분화정도를 보기 위하여 각각 MTT 실험과 ALP activity 실험을 시행하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. Laser를 조사하고 난 후 5일째에, 모든 군에서 유의하게 세포가 증식되는 것을 확인할 수 있었고 조사방법간에 유의한 차이가 없었다. 2. 대조군과 살험군에서 0일째에 비하여 3일째, 5일째, 7일째, 10일째에 통계적으로 유의 하게 ALP activity가 증가하였고, 이중 2cm,1sec 군을 제외하면 3일째에서 가장 높은 ALP activity 값을 보였다. 특징적으로 2cm,1sec 군은 3일째부터 10일까지 통계적으로 유의하지는 않지만 시간이 지남에 따라서 ALP activity가 증가함을 보였다. 7일과 10일째에는 2cm,1sec, 3cm,3sec군에서 다른 군에 비하여 큰 activity값을 보였다. 이번실험에서 저출력 $CO_2$ Laser 조사는 세포의 증식보다는 분화에 더 큰 영향을 끼쳤고, 2cm, 1sec, 3cm, 3sec 군이 치주인대 섬유아세포의 분화에 가장 효과적인 laser 조사방법으로 분석되었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1998.02a
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• pp.166-166
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• 1998

반도체 공정에서 기존보다 큰 30cm 웨이퍼훌 이용하기 위해서 기존의 ECR, Helicon, ICP, 등 공정용 고 밀도 플라즈마 원들의 대면적화에 대한 연구가 세계적으로 진행되고 있다 현 상황에서는 평판형 안테 나룰 이용한 TCP가 대면적용 폴라즈마 원의 가장 유력한 후보로 여겨지고 있다 TCP롤 대면적화 하는 데 있어서 중요한 문제점으로는 대면적에서의 큰 안테나 인되턴스로 인한 임피던스 정합과 대면적에서 의 유전울질의 기계적 강도이다. 앓은 유전물질올 사용힐 수 있도록 대면적 TCP 플라즈마 원올 실계 저l작하였고 이차원 가열이론올 이용한 TCPRP code 률 이용하여 안테나의 반경옳 결정하였디 안테나의 인덕턴스 값올 줄이기 위해서는 주m수는 13.56MHz 보다 낮은 4-5MHz 부근에서 작동하는 RF 파워룰 선택하였다 이 파워 서플라이는 보통 사용되는 50n 흩력 입묘$\mid$던스훌 갖는 형태가 Of니라 LC 공진현상 올 이용하여 부하에 파워률 전달하는 형태이다 .. TCP 장치에 사용할 수 있도록 파워 서플라이 흩력 단에 안테나와 직혈로 가변 콘덴서를 달아서 임11I던스 정합올 힐 수 있게 하였다 안테나에 직훌로 달Of줌으 로써 안테니의 인덕턴스훌 훌여주는 효과훌 얻올 수 있다 안테나에 흐르는 전류룰 측정하기 위해서 사 각형 루프로 전류 픽업 코일을 만들었고 진공상태에서 RF 파워률 인가하고 안테나의 전류와 전압을 측정하여 픽업 코일걸과훌 조정하였다. 발생기체로는 헬륨올 사용하였고 1-100mTorr 의 압력범위에서 실험을 하였다 플라즈마롤 빌샘시키고 파워를 증가 시킴에 따라 E-H mode transition 현상이 관찰되었고 그 때의 임계 전류 값을 측정하였다. 압력이 낮올수록 모드 변화가 일어나는 전류의 값이 작았다 임계 전류는 압력에 대해서 선형적인 특성을 보였다 이는 압력이 낮을수록 유도걸힘이 더 잘 된다는 것을 의미한다 1 1 mTorr에서는 H-mode에서 안테나의 전류가 파워훌 증가시킴에 따라 계속 증가하였으니, 압력이 올라 갈수록 조금씩 증가하는 정도가 줄어들고. 100mTorr에서는 포화된 값을 나타냈다 H-mode로 넘어간 후 에는 파워가 증가황에 따라 안테나의 임피던스 값이 모든 압력영역에서 줄어드는 경황을 보였고, 이는 플라즈마의 인덕턴스에 의해서 안테나의 인덕턴스 기 감소되기 때문이다, 파워가 증가할수록 안테U오} 플라즈마 루프사이의 상호걸합이 증가하는 걸로 해석힐 수 있다 안테나의 인되턴스 변화보다는 저항.성 분의 변화가 컸다 하지만 전체 임피던스로 볼 때 저항성분이 상대적으로 작기 때문에 인덕턴스의 감소 가 더 큰 영향을 미치는 걸로 볼 수 있다. 하지만 플라즈마로의 파워 전달에는 저항성분만이 영향올 미 치므로 저항성분의 큰 변화는 파워가 많이 전달될올 의미한다 피워전달 효율을 계산해 본 결과 수 r mTorr 부근이 80-90% 정도의 높은 효율올 보였고 5mTorr 일 때가 가장 좋았다.

• Korean Journal of Applied Biomechanics
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• v.18 no.4
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• pp.125-133
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• 2008

The purpose of this study was to compare EMG activities on the lower limb muscles during power walking and mormal walking. Seventeen subjects who have no known musculoskeletal disorders performed walking exercise at a cadence of 140 beats/min. After surface electrodes were attached to rectus femoris, vastus medialis, vastus lateralis, biceps femoris, tibialis anterior, medial gastrocnemius, averageed IEMG and peak IEMG, were measured. The result showed that the power walking did influence the averaged IEMG and peak IEMG. The EMG activity of the quadriceps during power walking was significantly higher than the corresponding values in normal walking during most phases. The averaged IEMG and peak IEMG of gastrocnemius muscles at the end of the double limb stance increased significantly when going from normal walking to power walking. The results indicate that power walking had greater effect on EMG activities on the lower limb muscles and demonstrate that the wide range of benefits can be obtained from power walking in respect to health and fitness. This study suggests that power walking has the potential to improve aerobic fitness and assist in weight management.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2001.05a
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• pp.333-336
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• 2001

The transient response in PDFA(Praseodymium-Doped Fiber Amplifier) is theoretically investigated. The PDFA has the spectral gain band in 1.3${\mu}{\textrm}{m}$. The transient model includes the transient buildup of the population inversion, the pump power, and the signal power and their transient variation along the fiber amplifier. The numerical analysis of transient model can predict the gain saturation, the variation of pump power and the gain as a function of the fiber length. It also shows the gain saturation and recovery effects depending on the pumping rate lead to distortion and saturation in the amplification of optical pulse. The results of numerical analysis, for the case of the Pr ion concentration of 1000ppm and the pump power of 0.5W the gain saturation is obtained 30dB at the length of 5m and the saturation time of upper level is 250 $mutextrm{s}$.