• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.185-185
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• 2013

최근 의료 영상 센서는 급속도로 발전을 이룩하여 미세 병변의 위치와 그 크기를 진단하는 데에 많은 이용이 되고 있다. 하지만 기존 flat panel형태의 의료영상 센서는 인체의 굴곡으로 인한 영상 왜곡으로 발전의 한계에 이르고 있는 실정이다. 이 영상 왜곡으로 인한 오진은 환자에게 불필요한 피폭, 수술적 요법, 약물치료 등 환자에게 치명적인 의료사고를 일으킬 수 있다. 이러한 한계를 극복하기 위하여 flexible substrate을 이용한 투명전극들이 의료영상 센서로서의 적용을 연구 되어 졌다. IZO, ITO, FTO 등의 투명전극들 중 Indium Tin Oxide(ITO)는 다른 전극에 비해 높은 투명도와 낮은 저항으로 인하여 다양한 부분에서 널리 이용 되고 있다. 그러나 ITO를 flexible substrate로 적용 시 불충분한 resistivity와 기계적 강도를 지니고 있으며, 유연성을 위해 전극 재료의 두께를 감소시키면 전도성의 문제를 일으키는 단점이 있는 것으로 알려져 있다. 이러한 문제점을 보완 및 해결하기 위하여 본 연구에서는 sputtering magnetron system를 이용하여 polyethylene terephthalate(PET) substrate 위에 ITO을 증착함으로써 전기적 특성을 알아보았다. PET 필름의 크기를 55 절단하였고 증착 온도는 고온에서 수축하는 PET 필름의 물성을 고려하여 $23^{\circ}C$로 설정 하였다. 가스의 분압 비를 Ar는 50ccm으로 고정하고 O2의 비율을 각각 0, 0.2, 0.4, 0.8, 1ccm으로 나눈 후, 비율에 따라 각각 30, 60, 90sec간 sputtering 증착을 하였다. 또한 각각 30, 60, 90sec간 sputtering 증착하여 O2 유량과 sputtering 증착 시간의 변화에 따른 ITO의 전도특성과 유연성에 대한 전도특성을 측정하였다. 유연성을 측정하기 위해선 bending 각도를 각각 $0^{\circ}$ $30^{\circ}$, $45^{\circ}$, $60^{\circ}$로 구부린 후, Two-point probe를 이용하여 변화된 저항을 통해 ITO의 전기적 성질의 변화를 측정 하였다. 측정결과 flexible ITO substrate의 전도특성은 sputtering 증착시간이 증가할수록 저항 값이 낮아지는 것을 확인하였지만, O2 유량이 증가 시 저항이 낮아지다가 다시 증가하는 결과를 알 수 있었다. 본 연구에서는 Ar:O2의 50:0.8의 조건에서 90sec동안 sputtering 증착한 ITO가 131 ${\Omega}/cm^2$의 저항 값이 측정 되었고 다른 조건에서는 164 ${\Omega}/cm^2$에서 4.7 $k{\Omega}/cm^2$까지 저항변화를 가져 Ar:O2의 50:0.8의 조건이 최적화에 좋은 조건이라 판단하였다. 또한 50:0.8의 조건의 ITO의 경우 bending test시에서도 131 ${\Omega}/cm^2$에서 316 ${\Omega}/cm^2$ 정도의 안정적인 저항변화를 가지는 반면 다른 조건에서는 128 ${\Omega}/cm^2$에서 6.63 $k{\Omega}/cm^2$까지의 변화를 나타나 기계적 형상변화에도 분압비가 영향을 주는 것을 확인 할 수 가 있었다. bending 각도에 따른 저항의 변화를 측정하였을 시, 각도 변화에 따라 중심부의 저항 값이 $60^{\circ}$에서 가장 높은 변화가 나타나 전기저항이 높아진 원인을 찾기 위해 Scanning Electron Microscope (SEM)촬영을 한 결과 저항값이 높아짐에 따라 ITO의 압축응력이 작용하는 부근에 Crack이 발생함을 알 수 있었다. 이러한 결과로 flexible ITO substrate의 Crack발생률을 최소화 시키고 bending시 전도성을 유지하기 위해서는 가스의 유량 최적화가 flexible substrate의 기계적형상변화에 대한 ITO의 내구성을 향상시킬 수 있는 해답이 될 것으로 사료된다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.27 no.3
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• pp.73-76
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• 2020

Silver nanowires (AgNWs) intrinsically possess high conductivity, ductility, and network structure percolated in a low density, which have led to many advanced applications of transparent and flexible electronics. Most of these applications require patterning of AgNWs, for which photolithographic and printing-based techniques have been widely used. However, several drawbacks such as high cost and complexity of the process disturb its practical application with patterning AgNWs. Herein, we propose a novel method for the patterning of AgNWs by employing UV-curable adhesive tape with a structure of liner/adhesive layer/polyolefin (PO) film and UV irradiation to simplify the process. First, the UV-curable adhesive tape was attached to AgNWs/polyurethane (PU), and then selectively exposed to UV irradiation by using a photomask. Subsequently, the UV-curable adhesive tape was peeled off and consequently AgNWs were patterned on PU substrate. This facile method is expected to be applicable to the fabrication of a variety of low-cost, shape-deformable transparent and wearable devices.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.24 no.4
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• pp.53-57
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• 2017

The most representative transparent electrode in the modern society is ITO (Indium Tin Oxide). ITO is widely used in general for touch panels and displays due to its high electrical and optical properties. However, in general, mechanical deformation causes deterioration and destruction of device properties because ITO is basically vulnerable to mechanical deformation. Therefore, the in-depth understanding on the stability of ITO film during various mechanical deformations is necessary. In this study, the reliability and mechanical properties ITO sample having different length, width, and area were investigated. The electrical stability was estimated according to electrical resistance change. The stability was dropped as the sample length, and width increased and the sample area decreased. The electrical stability of ITO film was correlated with twisting strain including tensile, compressive and shear stress.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.28 no.6
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• pp.356-360
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• 2017

Indium tin oxide (ITO) provides high electrical conductivity and transparency at visible and near-IR wavelengths. ITO is widely used as a transparent electrode for the fabrication of LCDs, OLEDs, and many kinds of optical applications. It is widely employed for electrodes in various electric and display sectors because of its transparency in the visible range and high conductivity. Therefore, one issue is removing a specific area of a layer of material such as ITO or metallic film on a substrate, without affecting the properties of the substrate. ITO-on-glass removal using a laser is friendlier to the environment than traditional methods. In this study, ablation of ITO film on glass using a femtosecond-laser micromachining system (wavelength 1026 nm, pulse duration 150 fs) and a nanosecond-laser micromachining system (wavelength 1027 nm, pulse duration 5 ns) are described, compared, and analyzed.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2011.05a
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• pp.116.1-116.1
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• 2011

Materials with a combination of high electrical conductivity and optical transparency are important components of many electronic and optoelectronic devices such as liquid crystal displays, solar cells, and light emitting diodes. In this study, to fabricate a low-resistance and high optical transparent electrode film for organic photovoltaic, the following steps were performed: the design and manufacture of an electroforming stamp mold, the fabrication of thermal roll imprinted (TRI) poly-carbonate (PC) patterned films, the manufacture of high-conductivity and low-resistance Ag paste which was filled into patterned PC film using a doctor blade process and then coated with a thin film layer of conductive polymer by a spin coating process. As a result of these imprinting processes the PC films obtained a line width of $10{\pm}0.5{\mu}m$, a channel length of $500{\pm}2{\mu}m$, and a pattern depth of $7.34{\pm}0.5{\mu}m$. After the Ag paste was used to fill part of the patterned film with conductive polymer coating, the following parameters were obtained: a sheet resistance of $9.65{\Omega}$/sq, optical transparency values were 83.69 % at a wavelength of 550 nm.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.32 no.8
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• pp.673-680
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• 2015

A roll-to-roll (R2R) continuous manufacturing system for a carbon-nanotube (CNT)-/silver-nanowire (AgNW)- based large-area transparent conductive film was introduced in this study. The systemic guidelines of the R2R slot-die coating process including roll eccentricity, wrap angle, pump accuracy, and blower influence were discussed. To simulate the coating phenomenon, we investigated the governing parameters of the coating process by incorporating the estimated relative thickness that was defined by combining the viscocapillary model and volume model. By using experimental and mathematical approaches, an excellent transparent conductive layer with a $40{\Omega}/{\Box}$ sheet resistance and 88 % transmittance was obtained; moreover, a dimensionless number identifies the correlation between the transparent conductive film and the anti-reflection film.

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2014.01a
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• pp.23-24
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• 2014

본 논문에서는 최근 모바일 기기에서 많이 사용되고 있는 마름모 패턴의 터치스크린패널(TSP; Touch Screen Pannel)에서 정확한 터치 위치를 획득하는 방법을 제안한다. 가로와 세로로 배치된 ITO 투명전극필름은 사용자의 터치로 인하여 변화된 정전용량(mutual capacitance)을 측정하여 터치위치를 파악한다. 그러나 터치패턴의 모양과 손가락의 크기에 따라서 측정되는 상호정전용량의 값에 차이가 발생하며 이 차이는 터치위치 계산에 영향을 미쳐서 정확한 터치위치를 획득하기 어렵게 한다. 이러한 결과로 TSP 상에서 직선을 그어도 측정된 터치 값은 S자 형태로 나타난다. 본 논문에서는 이러한 문제를 완화하기 위하여 Matlab 상에서 터치상황을 시뮬레이션하고 이를 이용하여 터치위치를 보상하여 보다 더 정확한 터치위치를 구하는 방법을 제안한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.06a
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• pp.188-188
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• 2007

ZnO 박막은 넓은 밴드갭과 가시광 영역에서의 높은 투과 및 제조조건에 따른 비저항의 범위가 크게 달라짐으로 태앙전지, 디스플레이등의 투명 전극등에 널리 응용되어지고 있다. 본 살험에서는 이러한 장점을 갖는 ZnO 박막을 먼저 r. f.-sputter 법으로 제조하여 습식으로 식각하였다. 식각된 ZnO 필름은 OLED 및 디스플레이의 적용에 필요한 식각율과 표면구조 전기적 특성을 조사하였다.

• Journal of the Korean institute of surface engineering
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• v.49 no.4
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• pp.323-330
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• 2016

The flexible transparent conducting films (TCFs) are required to realize flexible optoelectronic devices. 1D nanomaterials such as carbon nanotubes (CNTs), metal nanowires are good candidates to replace indium tin oxide that is currently used to fabricate transparent electrode. Particularly, silver nanowires are used to produce flexible TCFs. In this review, we introduce TCF technologies based on silver nanowires/CNTs hybrid structures. CNTs can compromise drawbacks of silver nanowires for applications in high performance TCFs for optoelectronic devices.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.32 no.4
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• pp.296-301
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• 2019

A multiple-electrode-type electronic paper film can implement a single color and control the transparency, as it has multiple electrodes in one cell. Therefore, it can be used as a transparent display. In this paper, we explain the structure and driving method of a transparent electronic paper display, and then propose a control method of transmittance. Subsequently, we verify the theory by measuring the transmittance via experiment. Thus, by changing the manner of applying the voltage to three lower electrodes and one upper electrode, transmittance in eight cases could be realized. It was confirmed that the transmittance derived from the experiment could be controlled from a minimum of 6.75% to a maximum of 71.18%.