• Title/Summary/Keyword: 투명

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Effects of $H_2$ plasma treatments on the physical properties of Ga or Zn doped ITO films synthesized by combinatorial sputter system

  • Kim, Seong-Dae;Heo, Gi-Seok;Lee, Jong-Ho;Kim, Tae-Won
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.225-225
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    • 2008
  • ITO (Indium-tin oxide) 박막은 평판디스플레이, 유기발광소자, 박막태양전지 등 다양한 광전자소자의 투명전극으로 폭 넓게 이용되고 있다. 하지만 Si 박막태양전지의 투명전극에 요구되는 특성으로는 가시광 영역에서의 고투과율 및 고전도도 외에, 수소 플라즈마 분위기에서의 화학적 고안정성이 강하게 요구된다. 왜냐하면, 최근 Si 박막태양전지의 고효율화를 위해 미결정질 Si 박막 및 나노결정 Si 박막이 이용되고 있는데, 이러한 박막은 Si 원료가스를 고농도의 수소가스로 희석한 공정조건에서 플라즈마 CVD 증착기술을 이용하여 제조되기 때문에 투명 전극재료가 화학적으로 안정하지 않으면 계면특성의 열화로 인해 태양전지 효율이 저하되는 요인으로 작용하기 때문이다. 본 연구에서는 박막태양전지용 ITO계 투명전극의 수소 플라즈마에 대한 물리적 특성 변화를 조사하기 위하여 combinatorial sputter를 이용해 Ga 및 Zn의 도핑량을 연속적으로 변화시킨 ITO 박막을 제조하였고, $H_2$ plasma 중에 일정 시간 노출 시킨 후 박막의 물리적 특성 변화를 관찰하였다.

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DC-sputtering으로 증착한 IZO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적 특성

  • Kim, Jun-Ho;Mun, Jin-Yeong;Kim, Hyeong-Hun;Lee, Ho-Seong;Han, Won-Seok;Jo, Hyeong-Gyun;Kim, Heung-Seung
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.468-468
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    • 2008
  • IZO(Indium zinc oxide) 박막은 화학적으로 안정하면서, 가시광 영역 (380~780 nm)에서 80% 이상의 높은 투과도와 낮은 전기비저항, 3.5 eV 이상의 넓은 밴드갭 특성을 가진다. IZO 박막의 이러한 특성 때문에 평판표시소자 (Flat Panel Display; FPD) 및 태양전지와 같은 광전소자들의 차세대 투명전도성 산화물(Transparent Conducting Oxide; TCO) 박막 재료로 주목 받고 있다. 특히 평판표시소자(FPD)들의 고해상도, 대면적화 및 경량화로 인해 투명전극용 박막의 고품위 특성이 요구되고 있다. 현재 투명 전극으로 널리 사용되고 있는 고가의 ITO(indium tin oxide)를 대체할 다성분계 산화물 투명 전극 중에서 투광성과 전기전도도가 좋은 IZO 박막에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 이러한 IZO 박막의 광학적, 전기적 특성은 박막 내의 조성 차이와 미세구조에 의해 결정된다. 따라서 고품위의 IZO 박막 형성을 위해서 결정구조와 미세구조에 대한 분석이 필수적이다. 본 연구에서는 Si(100) 기판 위에 DC-sputtering으로 증착한 IZO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적 특성을 알아보기 위해 300~$600^{\circ}C$ 공기분위기에서 1시간 동안 열처리 하였다. 표면 형상(surface morphology)은 원자현미경(AFM). 결정구조는 X-선 회절(XRD)로 분석하였고, 미세구조는 투과전자현미경(TEM)으로 관찰하였다.

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Development of a Distributed Control Engine for Collaboratiion Based on T.SHARE (T.SHARE 기반 공동작업 분산제어엔지의 개발)

  • Kim, Sang-Uk;Kim, Hui-Seon;Lee, Won-Ho;Kim, Hyeon-Ju;An, Chun-Geun
    • Journal of KIISE:Computing Practices and Letters
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    • v.5 no.1
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    • pp.53-62
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    • 1999
  • 어플리케이션 공유를 지원하는 시스템 개발에 대한 2가지 접근방향으로 공동작업-인식방법과 공동작업-투명 방법이 있다. 공동작업-인식 방법은 기존의 단일 사용자용 어플리케이션에 대한 공유를 지원하지 못한다. 공동작업-투명 방법을 이용하여 개발된 기존 시스템은 이형환경에서 대한 확장성을 지원하지 못하고 시스템간 리소스가 달라서 정확하게 일관된 뷰를 제공하지 못한다. 본 논문에서는 기존의 단일 사용자용 어플리케이션을 위치와 종류에 관계없이 투명하게 공유하고 공동작업을 지원하는 T.SHARE기반 공동작업 분산제어엔진을 설계하고 구현한다. 이것은 공동작업-투명방식을 이용하여 새로운 그룹웨어 시스템개발에 대한 비용을 줄이고 원격 어플리케이션을 수정 없이 공유할 수있다. 본 분산제어엔진은 어플리케이션의 뷰(view)를 공유하고 엔진간 상호 교환되는 데이터를 T.SHARE에 기반함으로써 이형 환경에 대한 확장성과 상호운용성을 제공한다. 또한 동적 참여자에게 동일한 뷰를 제공하고 서로 다른 시스템정보에 대한 동기화를 수행하여 뷰의 일관성을 보장한다.

Improvement Electrical Property of AgNWs by Plasma Treatment (플라즈마처리를 이용한 은나노와이어 투명전극의 전기적 특성 향상에 관한 연구)

  • An, Won-Min;Jeong, Seong-Hun;Kim, Do-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.05a
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    • pp.51-52
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    • 2015
  • Organic light emitting diode (OLED) 나 organic photovoltaic device (OPV)와 같은 유기소자에 전극으로 쓰이고 있는 indium tin oxide (ITO)는 유연한 디바이스에 적용하기에는 유연성이 떨어진다는 문제가 있다. 이를 해결하기 위해서 ITO를 대체할 수 있는 CNT, Graphene, AgNWs, 전도성 고분자 등의 투명전극에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 CNT, Grapene, 전도성 고분자는 여전히 전기적 특성이 좋지 못하기 때문에 차세대 투명전극으로 사용되기는 어려움이 있다. 반면에 AgNWs는 용액공정으로 제조 단가가 비교적 저렴하며, 높은 전기전도도 특성과 우수한 유연성을 가지는 투명 전극이기 때문에 많은 주목을 받고 있다. 그러나 NW-NW간의 접촉저항이 높아 전도성이 저하된다는 문제점과 Environmental stability가 좋지 못하다는 단점이 여전히 존재한다. 본 연구에서는 AgNW 전극 위에 플라즈마처리를 진행하여 AgNW의 전도성과 Stability를 향상시키고자하였다. 플렉서블한 PET기판위에 AgNW 전극을 Spray Coating하여 균일하게 전극을 형성하였고, 플라즈마 처리를 통해서 기판의 변형없이 AgNW의 저항을 45%이상 향상시켰으며, Stability 또한 아무것도 처리하지 않은 AgNW에 대비하여 2배 이상 향상된 것을 확인하였다.

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ZnO 첨가가 투명전도박막의 전기저항과 광투과도에 미치는 특성

  • Chae, Hong-Cheol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.183-183
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    • 2010
  • 본 연구에서는 기존의 투명전도박막(ITO) 재료인 Sn 성분을 Zn로 치환하여, Zn의 성분함량 변 화에 따른 투명전도박막의 특성을 조사하기 위하여, Zn이 100% 치환된 $In_2O_{3(90wt%)}-ZnO_(10wt%)$ (IZO) 그리고 Zn이 3 %와 7 % 치환된 $In_2O_{3(90wt%)}-ZnO_{(3wt%)}-SnO_{2(7wt%)}$, $In_2O_{3(90wt%)}-ZnO_{(7wt%)}-SnO_{2(3wt%)}$ (IZTO) 등의 타겟을 제작하여 RF-magnetron sputtering 법으로 투명전도박막을 성장하였다. 각각의 박막에 대해서 전기적 특성조사와 가시광선영역에서의 광투과도 특성, 성막 특성, 그리고 구조적 특성을 조사하였다. Sn이 100% Zn으로 치환된 IZO 박막의 경우 조성 성분비가 90 : 10 wt.%에서 비저항 값이 $5.2{\times}10^{-4}\;{\Omega}cm$ 정도로 전기전도성이 매우 우수한 것으로 나타났으며, 또한 X-ray 회절패턴 분석결과 성분비에 관계없이 비정질구조임을 확인 하였다. Sn이 일부 Zn으로 치환된 IZTO 박막의 경우 성분비가 90(In) : 7(Zn) : 3(Sn) wt%의 경우 비저항 값은 $6.5{\times}10^{-4}\;{\Omega}cm$ 정도로 우수한 것으로 나타났으며, X-ray 회절패턴 분석결과 비정질 구조임을 확인하였다. 광학적 특성으로는 가시광선영역(400~780nm)에서 IZO, IZTO 박막은 85% 이상의 매우 우수한 투과율을 나타내었다.

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CIGS 박막태양전지 제조기술 이슈분석

  • Jeon, Chan-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.23-23
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    • 2010
  • CIGS 박막태양전지는 박막태양전지 기술 중 가장 주목을 받고 있는 기술에 해당한다. 그 이유는 박막태양전지 기술 중 즉, CdTe, a-Si, CIGS 중 가장 셀 효율이 높게 구현되고 있으며, 특히 다양한 제조공정이 가능하기 때문이다. 현재 CIGS 박막태양전지 양산에 적용되고 있는 제조기술은 동시증발법과 스퍼터/셀렌화 공정이다. 동시증발법의 경우, CIGS 태양전지의 세계최고효율을 구현한 기술로서 다른 모든 제조기술의 기준이 되는 공정이나, 실제로는 스퍼터/셀렌화 공정을 이용한 양산 규모가 훨씬 크게 전개되고 있다. 본 논문에서는 동시증발법이 최고효율을 구사한 물질 및 공정 스펙에 대해 살펴보고, 스퍼터/셀렌화 공정에서 동시증발법에 의해 제조된 소자 스펙을 구현하기 위해 어떠한 노력을 기울여야 하는 지에 대해 기술하고자 한다. 먼저, 동시증발법이 적용된 양산기술 현황에 대해 살펴보고, 여러가지 스펙 중에서 Na 제어기술, 버퍼층 기술, 투명전극 측면에서 소자성능의 최적화를 논하고자 한다. Na의 경우, 널리 알려진 바와 같이 CIGS 내 0.1at% 정도의 함유량이 필요하다. 동시증발법과는 다른 공정온도와 이력이 사용되는 스퍼터/셀렌화의 경우, Na 함량의 제어를 위해 어떠한 노력이 필요한지 Na의 역할 측면에서 논하고자 한다. CBD 공정으로 제조되고 있는 CdS는 얇은 두께와 단순한 공정으로 인해 다소 소홀하기 쉬우나, CdS/CIGS 접합이 소자의 성능에 미치는 영향이 매우 크기 때문에 CIGS 표면 물성 제어 측면에서 CdS 제조공정을 살펴보고자 한다. 마지막으로 투명전극은 CIGS 제조공정과는 무관하게 공통으로 검토가 필요한 분야이나, 동시 증발법에 의한 CIGS 표면형상이 스퍼터/셀렌화에 의한 CIGS와는 크게 다르므로 후속 투명전극공정 또한 세부적인 검토가 필요하다고 판단되는 바, 투명전극이 갖춰야하는 물성을 중심으로 소자최적화를 논하고자 한다.

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OLED의 양극으로써 ITO/Ag/ITO와 ITO/Ag/ITO/Ag/ITO 다층박막의 전기적.광학적 특성에 관한 연구

  • Yun, Seo-Yeon;Lee, Chan-Jae;Gwak, Min-Gi
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.123-123
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    • 2010
  • 투명전극 물질인 ITO는 가시광선 영역에서 높은 투과율과 낮은 전기저항을 나타내어 OLED, PDP, LCD등 다양한 분야에서 널리 사용되는 물질이다. 하지만 차세대 조명으로 개발이 확대되고 있는 OLED 조명 등 더 많은 분야에 적용하기 위해서는 많은 개선점이 필요하다. 특히 픽셀 구조가 아닌 OLED 조명의 경우 ITO의 저항에 의해 전압 강하가 발생하여 휘도 불균일, 발열 등의 문제가 발생할 수 있다. 이 때문에 보다 우수한 전기적인 특성과 높은 투과율을 갖는 투명전극이 필요하다. 현재 이러한 문제점을 개선하기 위해 ITO 박막 내부에 얇은 금속 층을 삽입하여 다층 박막으로 증착하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 기존의 투명 전극인 ITO 대신 ITO 중간에 Ag를 삽입한 3층 박막인 ITO/Ag/ITO와 5층 박막인 ITO/Ag/ITO/Ag/ITO를 투명 전극으로 대체하였을 때 수반되는 전기적, 광학적 특성을 알아보고자 한다. 또한 열처리 조건을 다르게 하여 열처리에 따른 다층 박막의 특성 변화도 비교해보았다. In-line 형태의 RF-DC sputter를 이용하여 다층박막을 증착시킨 후 Oven과 Vacuum Oven에 열처리를 하여 특성을 알아보았다. 전기적 특성을 알아보기 위해 4-point probe를 이용하여 비저항을 측정하였고, UV-VLS spectrometer를 이용하여 투과율을 측정하였다. 또한, Atomic force microscopy(AFM)을 이용하여 표면 형상을 측정하였다.

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Clear Cell Sarcoma-Like Tumor of the Gastrointestinal Tract with Peritoneal Metastasis in a Young Adult: A Case Report with Literature Review (젊은 성인에서 복막 전이를 동반한 위장관의 투명 세포 육종 유사 종양: 증례 보고 및 문헌 고찰)

  • So Yeun Park;Jung Wook Seo
    • Journal of the Korean Society of Radiology
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    • v.84 no.5
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    • pp.1169-1175
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    • 2023
  • Clear cell sarcoma-like tumor of the gastrointestinal tract (CCSLTGT) is a rare malignant mesenchymal tumor of the gastrointestinal (GI) tract with a high probability of local recurrence and distant metastasis in young adults. To the best of our knowledge, only seven case reports have described the imaging findings of a CCSLTGT originating from in the small intestine in English literatures so far. Therefore, we report the imaging findings of a CCSLTGT that occurred in the small intestine of a 22-year-old female and summarize the imaging findings of the previous reports.

Clear Cell Borderline Tumor of the Ovary: A Case Report (난소에 발생한 경계성 투명세포종: 증례 보고)

  • Ha Jung Kim;Kyeong Ah Kim;Yikyeong Chun;Yang Shin Park;Mi Jin Song;Jae Woong Choi
    • Journal of the Korean Society of Radiology
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    • v.84 no.3
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    • pp.692-697
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    • 2023
  • Clear cell borderline ovarian tumor (CCBOT) is quite rare, and only a few cases of CCBOT have been reported. Unlike most borderline ovarian tumors, CCBOTs appear solid because they are almost always pathologically adenofibromatous. Herein, we report the MRI findings of a CCBOT discovered in a 22-year-old female.

A Study on Parallax Registration for User Location on the Transparent Display using the Kinect Sensor (키넥트 센서를 활용한 투명 디스플레이에서의 사용자 위치에 대한 시계 정합 연구)

  • Nam, Byeong-Wook;Lee, Kyung-Ho;Lee, Jung-Min;Wu, Yuepeng
    • Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
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    • v.28 no.6
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    • pp.599-606
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    • 2015
  • International Hydrographic Organization(IHO) adopted standard S-100 as the international standard Geographic Information System(GIS) that can be generally used in the maritime sector. Accordingly, the next-generation system to support navigation information based on GIS standard technology has being developed. AR based navigation information system that supported navigation by overlapping navigation information on the CCTV image has currently being developed. In this study, we considered the application of a transparent display as a method to support efficiently this system. When a transparent display applied, the image distortion caused by using a wide-angle lens for parallax secure, and the disc s, and demonstrated the applicability of the technology by developing a prototype.