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대한설비건설협회
- 월간 기계설비
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- 통권140호
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- pp.29-36
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- 2002
도시가스안전관리기준통합고시 중 일부가 산업자원부고시 제2002-31호가 지난 3월 9일 개정되었다. 이 고시에는 그 동안 우리 협회 가스시공위원회(위원장 이영일)가 PE관 버트 융착 시공기준에 따른 문제점을 건의한 것이 받아들여져 2002년 3월 1일부터 착공되는 공사부터 PE관은 동일한 호수의 관종류를 사용토록 개정되었다.
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홍장식
- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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- pp.83.1-83.1
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- 2013
반도체 미세화, Glass 대면적화에 따른 산포관리 및 불량방지 필요(공정이격관리), 설비 데이터만으로는 Sensitivity가 낮아 공정 관리 어려움에 따른 대안 필요, 향후 추가 센서에 대한 접목이 용이한 SW Frame 필요, 양산적용을 위한 설비 및 FAB Host의 자동화 연계 개발 필요, 이종데이터의 통합를 통한 최적의 진단 및 관리가 필요합니다(SCM:툴박스). 즉, 기존의 장비 Parameter가 아닌 실제 공정시 Chamber로부터 얻을 수 있는 물리, 전기, 화학적인 데이터를 적합한 이종(異種) 센서를 직접 부착하여 이들 데이터를 통합 관리 분석 및 실시간 Monitoring을 통한 공정 진단 및 실시간 진단을 실행하는 솔루션입니다. 실 공정 시 적용이 유리한 OES 데이터를 주요 인자로 이외의 기타 데이터를 추가로 통합하여 특화된 분석환경과 공정 모니터링을 통하여 TAT (Turn Around Time)를 줄이고, MTBC (Mean Time Between Clean)를 늘림으로써 궁극적으로 칩메이커의 제품의 가격 경쟁력을 확보 할 수 있는 기능이며, 설비사 입장에서는 자사설비의 지능형 시스템을 위한 제반 기술이기도 합니다.
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