• 제어로봇시스템학회논문지
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• 제12권2호
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• pp.168-173
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• 2006

This paper proposes an auto-focusing method for production of compact camera module (CCM). The CCM test handlers are mainly used in the final CCM production stage to test and adjust the lens focus of CCMs. To improve the productivity of CCM test handlers, we propose the auto-focusing method adjusting the lens focus efficiently. The max-min-difference (MMD) method is newly developed to compute the focus value efficiently, and two-stage searching method is also developed to find the best focus position quickly. Experimental results are presented to verify the usefulness of proposed method.

• 대한전기학회논문지:전력기술부문A
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• 제48권4호
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• pp.395-401
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• 1999

In this paper, a temperature controller for a semiconductor test handler is proposed. First, a handware system for identification and control is established using RTD sensors, an A/D converter, solid state relays, a heater, and a computer system. Second, using ARMAX model and least square method, a chamber model for the design of a controller is identified through experiments. The identified model is verified to describe the real plant very well in the sense that it shows very similar input-output responses to those of the real system. With the identified model an LQG controller is designed. Frequency response of the designed controller shows that it has 15 dB of gainmargin and (-50˚, +50˚) of phase margin. Experiment with a real test handler demonstrates a good performance in the sense that its overshoot and steady state error are smaller and response time is faster, compared with those of a conventional PID controller.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제11권10호
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• pp.3626-3632
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• 2010

반도체 소자 검사장비 핸들러는 주 검사장비인 테스터에 반도체 소자를 개별 또는 그룹으로 이송하여 테스트 환경을 만들어주고 검사가 끝나면 검사결과를 테스터로부터 전송받아 양품과 불량품으로 분류해주는 장비이다. 본 논문에서는 기존에 개발된 핸들러의 챔버 내부 온도 분포의 균일성을 개선하기 위하여, 챔버 덕트의 조절셔터 설치, Heater와 Match Plate 중심위치의 정렬, Match Plate Base의 Hole 크기 및 형상 변경, 온도 센서로 향하는 공기의 흐름이 원활할 수 있도록 핀에 직경 2 mm의 구멍 설치 등의 설계 변경을 하였다. 설계 변경의 효과를 확인하기 위하여, 기존 장비와 설계 개선된 장비 내부의 온도 분포를 32개의 온도 센서를 사용하여 측정하였다. 그 결과 기존 챔버내부 온도 분포는 $87.1{\sim}91.5^{\circ}C$ ($90{\pm}2.9^{\circ}C$)이었으나 개선된 챔버 내부 온도 분포는 $89.5{\sim}90.8^{\circ}C$ ($90{\pm}0.8^{\circ}C$)으로 15분 이상 지속 가능하여 챔버 내부의 온도 분포 균일성이 크게 개선되었음을 알 수 있었다. 또한 설계 변경 이후의 온도 분포는 $90{\pm}1^{\circ}C$의 범위 내에서 10분 이상을 유지하는 목표를 달성하였음을 확인하였다.