자기적으로 분극 되어 큰 자화를 지닌 상태로 흐르는 물속 양성자의 핵스핀을 측정자장 영역에서 섭동자장을 인가하여 전이시키고, 이로부터 떨어진 지점의 고자장 하에 설치된 분리형 감지기를 이용한 양성자의 핵자기 공명신호 측정에 관한 연구를 수행하 였다. 감지기의 변조자장 크기, 변조자장 주파수 및 고주파 자장의 크기와 물 속도 및 측정자장 영역에서의 섭동 자장의 크기에 대한 핵자기 공명신호의 최적조건을 구하였다. 수 ${\mu}T$에서 mT 수준의 저자장 하에서 반치폭이 320 nT이고 신호 대 잡음비가 10.5인 Lorentz형 공명신호를 측정하였으며, 핵자기 공명신호의 크기 및 형태는 측정 자장의 크기 및 균일도와 무관하였다.
전립선의 크기를 측정하는 것은 전립선 이상을 임상학적으로 인지하고 치료에 대한 반응을 모니터링 하는데 유용하다. 전립선 질환에서 일반적으로 나타나는 전립선의 형태와 크기 변화는 방사선, 초음파 및 컴퓨터단층촬영 (CT)과 같은 영상학적 방법을 통해 평가한다. 본 연구에서는 전립선의 크기를 평가하는데 가장 많이 사용되는 초음파와 실질 장기의 평가에 높은 정확도를 보이는 CT를 이용하여, 중성화 하지 않은 정상 비글견에서 전립선 크기를 측정하고 비교하는데 목적이 있다. 또한 CT를 이용하여 전립선의 크기를 측정하여 체중과 관계없이 전립선의 크기를 평가할 수 있는 간단하고 실용적인 기준을 확인하고자 한다. 비뇨기계 및 내분비계에 이상이 없고 세포학적 검사로 정상 전립선으로 평가된 8 마리 정상 비글견에서 초음파와 CT 촬영을 실시하여 전립선의 크기를 비교 및 평가하였다. 초음파를 이용한 전립선의 부피를 측정하기 위해 서로 다른 2가지 단면에서 각 측정치를 구하고 타원체 공식 (US1, US2)에 대입하였다. CT의 경우 freehand tracing 방법을 이용해 전립선의 부피를 측정하였다. 초음파를 이용한 2가지 방법 모두 CT를 이용한 방법보다 낮은 측정치를 보였으며, 특히 US1 방법이 CT방법에 비해 통계적으로 유의성 있게 낮은 결과치를 보였다. CT를 통해 촬영된 이미지의 재구성을 통해 전립선의 길이, 높이, 너비를 측정하여 부피와의 상관관계를 평가하였다. 측정된 수치 중 길이와 너비가 부피와 가장 높은 상관관계를 나타냈다. 또한 촬영된 이미지에서 6번째 요추체의 길이를 측정하고 각 전립선 크기 (길이, 높이, 너비)와의 비율을 분석하였다. 실험에서 요추 6번과 전립선의 길이 및 높이는 약 1:1의 비율을 보였으며, 길이와 높이의 상한선은 1.3배, 너비의 상한선은 1.7배로 고려되었다. 이러한 비율에 대한 결과 중 길이와 높이에 대한 비율은 방사선 사진에서도 적용이 될 수 있을 것으로 생각되며, 전립선 크기를 체중과 상관없이 평가할 수 있는 간단하며 유용한 지표로 사용될 수 있을 것으로 생각된다.
측정기술이 발달함에 따라 실제 연소시스템에서 직접 응용할 수 있고, 시공간적으로 해상도가 높고 유동장과 온도장을 교란하지 않는 방법이 요구되고 있다. 이 글에서는 2장에서 광학적 방 법을 이용한 입자의 크기 측정법을 살펴보고, 3장에서는 광학적 방법을 이용한 온도의 측정법에 대하여 설명하고자 한다.
반도체 생산의 주요 공정 중 하나인 세정 공정은 공정 중 발생하는 여러 가지 부산물에 의한오염을 효과적으로 제거하여 수율 향상에 큰 영향을 미친다. 현재 주로 쓰이는 세정 공정은 습식 세정 공정으로 화학 약품을 이용하지만 패턴 손상 및 웨이퍼 대구경화에 따른 문제 등이 대두되어 이를 대체할 세정 공정의 도입이 요구되고 있다. 이에 따라 건식 세정에 대한 관심이 증가하고 있으며 에어로졸 세정이 대표적 공정으로 개발 되었으나 마이크로 단위의 발생 에어로졸 입경으로 인해 패턴 손상 문제를 해결하지 못하였다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 응축에 의해 형성되는 입자 크기를 줄이는 것에 관한 연구가 진행되어 왔고, 대응 방안으로 개발된 것이 가스 클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동 기체의 분자가 수십, 수백 개 뭉쳐있는 형태 (cluster)를 뜻하며 이 때 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 가진다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 즉, 입자로 성장할 수 있는 시간과 환경을 형성하지 않음으로써 작은 크기의 클러스터에 의해 패턴 사이의 오염물질을 물리적으로 제거하고 다시 기체상 물질로 환원되어 부산물을 남기지 않는 공정이다. 이러한 작동 환경을 조성하기 위해서는 진공도와 노즐 출구 속도에 대한 설계 단계부터의 이론적 연구를 통한 입자 크기 예측과 세정 조건에 따라서 발생하는 클러스터의 크기 분포 특성을 측정하는 것이 필수적이다. 따라서 본 연구에서는 실시간 저압 환경에서의 측정이 가능하며, 다양한 크기의 입자를 실시간으로 측정할 수 있는 particle beam mass spectrometer (PBMS)를 이용하여 세정 공정 중 발생하는 클러스터의 크기 분포를 측정하는 연구를 수행하였다. 클러스터의 측정은 노즐에 유입되는 유량과 냉매 온도를 변수로 하여 수행하였다. 각각의 조건에 따라서 최빈값은 오차범위 내에서 일정한 것을 확인하였으며, 50 nm 이하의 값으로 가스 클러스터 공정이 패턴 손상 없이 오염입자를 제거할 수 있음을 실험적으로 확인할 수 있었다. 또한 유량의 증가에 따라 세정에 사용되는 클러스터의 입경이 증가하며, 냉매 온도가 낮아질수록 클러스터 입경이 증가하는 경향을 확인할 수 있었다. 클러스터 크기는 오염 입자와의 충돌에 의해 작용하는 힘으로 오염입자를 제거하는 메커니즘을 사용하는 가스 클러스터 세정 장치에 있어 중요성이 크다 할 수 있으며 추후 지속적 연구에 의한 세정 기술의 최적화가 기대된다.
에어로졸의 측정은 다양한 변수에 영향을 받는다. 입자가 공기 중에 떠 있으므로 입자 주위의 유체온도와 압력에 영향을 받을 뿐 아니라 측정 대상인 입자의 크기, 농도, 하전 상태에 따라서 제약을 받는다. 특히, 에어로졸의 발생이나 측정은 복잡한 메커니즘으로 이루어지기 때문에 장비의 성능을 평가하거나 교정하는 과정은 쉽지 않고, 적당한 지침이나 문헌 또한 부족한 실정이다. 고농도, 고하전인 극한 조건에서 나노 에어로졸 입자를 측정하는 경우에는 측정 장비가 신뢰성 있는 결과를 제공할 수 있도록, 측정 대상인 나노 입자의 하전량, 형상, 크기 분포를 미리 예측하여 SMPS의 운전조건을 적절하게 결정할 수 있도록 미리 확인해야 한다
나노기공물질은 특정 기반물질(matrix) 내부에 대략 나노미터크기의 기공을 함유하고 있는 물질이며 나노기공물질의 특성은 기반물질의 특성과 더불어 기공의 형태, 크기, 분포에 의해서 결정된다. 나노기공물질의 기공에 대한 정보를 측정하는 방법으로는 TEM, 흡착법, FE-SEM과 더불어 중성자 또는 X-ray 빔의 산란을 이용하는 소각중성자산란 (Small-Angle Neutron Scatering, SANS), 소각 X-ray 산란 (Small-Angle X-ray Scattering, SAXS), 중성자반사율측정 (Neutron Relfectimetry, NR), X-ray 반사율측정 (X-Ray Reflectometry, XRR) 등이 사용되고 있다. 본 발표는 대략 1 nm - 100 nm 영역의 bulk 구조와 층상구조를 측정할 수 있는 소각 중성자 산란과 중성자 반사율 측정기법을 이용한 나노기공 측정기술을 다룬다.
몇 가지 균열검출법 및 크기의 측정법에 대하여 개요, 문제점, 정량적 측정에 유의해야 할 점을 살펴보았다. 아직 어느 방법도 모든 균열에 적용할 만큼 완전한 방법은 없지만 적용범위와 유 의사항을 이해하고 측정대상에 맞는 방법을 올바로 적용한다면 목적에 부합하는 결과를 얻을 것으로 본다. 기기나 구조물의 파괴원인을 정확히 규명하고 잔존수명을 정확히 예측하여 파괴를 방지하려면 재료의 강도특성이나 파괴역학적 해석법의 연구에 못지 않게 비파괴적 균열검출법과 정량적 측정법에 관한 연구도 깊이 이루어져야 하리라 믿는다. 그러나 아직 우리나라에서는 이 점에 미흡함이 많다. 더 나은 측정방법을 고안해 내고, 측정장치를 개발하여 균열에 대한 정보 의 정확성을 높여 구조물의 안전성 평가의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 연구가 활발히 진행되 어야 할 것이다.
전자총의 방출전류량과 소스크기, 그리고 방출 각전류밀도(angular current density)를 측정함으로서 얻어지는 전자총의 휘도(brightness)는 대물렌즈의 수차와 더불어 전자현미경의 성능을 좌우한다. 국내업체의 전자현미경은 대부분 상대적으로 휘도가 낮지만 작동압력이 10-5 Torr의 이하여서 제작과 사용이 용이한 텅스텐 필라멘트 열전자총을 채용하고 있다. 주사전자현미경의 성능을 좌우하는 프로브 크기와 전류량은 광학계의 배율과 전자총의 휘도에 의해서 결정되며, 설계시 전자현미경의 사양을 결정하기 위해서는 전자총의 휘도 측정이 필수이다. 한국표준과학연구원에서는 국내에서 생산되는 전자현미경용 열전자총의 휘도를 측정하기 위해, 전자총의 방출 각전류밀도와 소스 크기를 측정할 수 있는 전자총 휘도 측정 시스템을 개발하고 있다. 본 발표에서는 개발중인 시스템의 측정 원리를 기술한다. 또한 외부 자기장에 의한 교란을 방지하기 위해 연자성 재료인 연강으로 제작한 진공챔버의 진공특성을 보고한다.
용접부결함은 구조물 건전성측면에서 항상 문제가 되어 왔다. 따라서 용접시 발생 할 수 있는 결함들을 사전에 방지하기 위한 대책들이 꾸준히 연구되어 왔으며, 용접부의 최종 품질확인 및 부품 사용중 용접부의 건전성을 평가하기 위한 수단으로 비파괴시험법들이 오래전부터 적용되어 왔다. 따라서 이 글에서는 용접부의 특성, 용접부결함의 중요성에 대해 기술하고 부품 건전성의 진단목적으로 결함의 유무 및 크기측정을 위해 사용되는 비파괴시험법의 종류 및 특징, 비파괴 시험법 중에서 결함의 길이 및 두께방향의 높이측정을 위해 유일하게 이용되는 초음파시험법에 대해, 특히 결함크기 측정법 중 현재 널리 사용되는 몇 가지 방법에 대해 소개하고자 한다.
목적: 근시안에서 암순응상태의 동공크기를 측정하여 분석해 보고 이에 영향을 주는 요인에 대해 알아보고자 하였다. 방법: 안과적 질환이 없는 근시안 191명(191안)을 대상으로 암순응상태에서 동공측정계(Colvard pupillometer, OASIS medical, USA)를 사용하여 동공의 크기를 측정하였고 연령, 각막크기, 등가구면 굴절이상도, 각막곡률값과 비교분석하였다. 또한, 동공측정계의 재현성을 알아보기 위해 검사자내(intra-examiner) 및 검사자간(inter-examiner)에서의 측정값을 비교하였다. 결과: 암순응상태에서의 평균동공크기는 $6.64{\pm}0.68$ mm(5.00~8.00 mm)였고, 연령이 낮고 각막크기가 클수록 동공크기는 커지는 경향을 보였고 등가구면 굴절이상도가 낮고 각막곡률이 가파를수록 동공크기가 작아지는 경향을 보였다. 동공측정계의 검사자내 및 검사자간에서의 재현성은 매우 높은 것으로 나타났다(Guttman split-half point>0.91). 결론: 암순응상태에서의 동공크기는 연령, 각막크기, 등가구면 굴절이상도, 각막곡률과 관련 있었으며, RGP 콘택트렌즈나 백내장 수술, 굴절교정수술 등에서 발생할 수 있는 불편함을 예방하는데 참고할 수 있을 것으로 생각된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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