• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2002.11a
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• pp.297-299
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• 2002

섬유 코팅제로 널리 쓰이고 있는 액상 PVC는 무광택이면서 고무 특성을 갖고 있으나 환경오염 물질로서 최근에 사용이 제한되고 있다. 이를 대체할 수 코팅 물질로 Elastomer계열의 액상실리콘 고무를 사용했다. 본 연구의 목표는 2차 가공 없이 플라스틱 직물표면의 무광택성과 유연성을 증가시키는 것이다. 기존 액상 PVC 공정과 동일하게 진행했으며, 로울러의 압축력과 공정상의 예비경화를 이용했다.

• The monthly packaging world
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• s.7
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• pp.126-134
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• 1993

지난호(93. 10월호) 압출코팅 특집에서 기계장치 및 가공기술, PE수지의 시장동향과 제조공정 등을 살펴본데 이어 이번호에서는 압출코팅용 수지의 물성과 가공특성, 응용범위 등 몇 개 회사의 구체적인 제품 소개를 싣는다. 제품에 따라 장점만을 일방적으로 나열하고 있거나 내용의 중복이 있을 수도 있지만 압출코팅 수지의 여러 물성과 제조방법, 가공특성 등의 객관적 서술이 병행되고 있기 때문에 어느 정도 자료적 가치가 있는 것으로 사료된다. 좀더 많은 회사의

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2002.11a
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• pp.238-242
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• 2002

본 논문에서는 3차원 마이크로구조물을 위한 새로운 Thick Photoresist(TPR) 공정 기술을 개발하였다. 일반적으로 Thin Photoresist는 얇은 두께로 코팅을 할 수 있다. 그러나 SU-8과 같은 TRP은 몇 십 ㎛ 또는 그 이상으로 코팅이 가능하고 높은 종횡비를 얻을 수 있다. SU-8과 같은 TPR을 사용하여 마이크로구조물을 제작할 때 TPR의 crack들은 bake시의 갑작스런 tool down에 의한 stress에 의해 나타나는데, 이러한 crack들은 마이크로구조물의 도금을 어렵게 만든다. 본 논문에서는 TPR의 코팅, baking 시간 조절, cool down과 PEB(Post Expose Sake) 시간 조절을 통하여 stress에 의해 발생되는 crack이 없는 3차원 마이크로구조물을 제작할 수 있는 새로운 공정 기술을 개발하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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• 1997.11a
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• pp.313-317
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• 1997

졸-겔법은 액상에서 가수분해에 의해 졸의 겔화 과정을 거쳐 목적하는 산화물을 제조하는 방법이다. 이 방법에 의한 코팅기법은 금속의 부식억제와 세라믹 및 반도체의 박막코팅공정에 중요하게 이용되고 있을 뿐만 아니라 최근에는 방음벽이나 산업안전경 재료인 프라스틱 소재에 표면 경도를 높여 안전성과 내구성이 보강된 복합재료를 만드는데 광범위하게 연구가 진행되고 있다. (중략)

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2016.11a
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• pp.98.1-98.1
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• 2016

PTFE (Polytetrafluoroethylene) 는 벌크 형태는 물론 박막으로도 독특한 특성을 나타내는 물질이다. 매우 낮은 마찰계수, 발수표면특성, 화학적 비반응성은 다양한 방면의 적용이 가능하게 한다. 두께 $1-2{\mu}m$ 이나 50 nm 이하의 박막의 형태로서 발수 특성은 스퍼터링 조건에 따라서는 벌크 PTFE의 특성보다 뛰어나다. 순수한 PTFE 타겟을 사용하여 얇은 PTFE 막 증착을 위해 RF (radio-frequency) 스퍼터링을 하였다. 스퍼터 타겟 건 파워, 공정 압력, 그리고 기판 스테이지와 Si wafer 나 다양한 시편에 인가되는 RF 바이어스 (bias) 등과 같은 스퍼터링 변수의 변화가 가능하다. 공정 변수에 따라서 RF 스퍼터링에 의한 순수한 PTFE 박막과 바이어스가 인가된 유사 PTFE 박막을 비교하여 탐구하였다. 스퍼터링에 의한 PTFE 코팅은 접촉각이 100도 또는 그이상의 초발수성을 나타내는 장점을 갖고 있고, 90% 이상의 높은 투과도를 나타낸다. PTFE 타겟을 사용한 종래의 일반적인 스퍼터링에 의하여, 일예로 실리콘 웨이퍼상에 증착된 코팅막은 낮은 경도와 기판과의 밀착력이 좋지 않은 문제를 갖고 있다. 높은 에너지 환경에서 만들어진 PTFE 코팅은 기존의 스퍼터링 방식으로 만들어진 코팅에 비해 다른 특성을 나타낸다. PTFE 막의 경도와 밀착력을 높이고자 bias를 인가한 RF 스퍼터링을 시도하였다. 코팅 접촉각, 투과도, 나노인덴터에 의한 경도, 그리고 스크래치 테스트에 의한 코팅막의 밀착력을 살펴보았다. PTFE 폴리머 타겟을 사용한 RF 스퍼터링으로 만들어진 고경도 PTFE 유사 코팅의 경도 변화 기구를 고찰하였다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.4 no.1
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• pp.42-46
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• 2003

Liquid PVC, which is used widely as fiber coating, has brilliant non-luster effect, but it decreases flexibility of coated fiber surface. We used liquid silicone rubber in elastomer series as a coating material to alleviate this problem. We have conducted the former liquid PVC processing and used pressure of roller and preliminary hardening of processing. In this experiment, We measured 70 degree of hardness, 10.3 MPa of tensile strength and 200fs of tensile elongation of Liquid PVC-coated plastic fiber. We measured 40 degree of hardness, 5.1 MPa of tensile strength and 460% of tensile elongation of Liquid silicone PVC-coated plastic fiber. Therefore, Without the second process, Liquid silicone rubber coating increased non-luster effect and flexibility of plastic fiber surface more than Liquid PVC coating.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.389-389
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• 2008

나노-스피어 리소그래피는 기존 리소그래피 방법에 비해 나노 크기의 패턴을 저비용에 공정이 간단하고, 대면적 패터닝이 가능하다는 장점이 있다. 본 논문에서는 나노-스피어 리소그래피 공정을 이용하여 실리콘 기판 위에 2차원 광자결정 구조를 제작하였다. 실리콘 기판 위에 직경이 500 nm 인 폴리스티렌 나노-스피어를 스핀 코팅 방법으로 단일막을 형성하였다. 스핀코팅 조건은 스핀속도와 시간을 조절하여 1단계는 400 rpm에서 10초, 2단계는 800 rpm에서 120초, 3 단계는 1400 rpm 에서 10초로 공정하였다. 그리고 산소 플라즈마를 이용한 반응성 이온 식각공정으로 폴리스티렌 나노-스피어의 크기를 조절할 수 있었으며, 이때 실리콘 기판 위에 형성된 다양한 크기의 폴리스티렌 나노-스피어 단일막은 금속막 증착시 마스크의 역할을 하게 된다. 금속막의 증착은 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하였으며, 공정 조건은 RF power를 100W, 공정 압력을 5 mTorr, Ar 유량을 10sccm으로 하였다. 스퍼터링 공정 후 폴리스티렌 나노-스피어를 제거함으로써 2 차원 광자결정 구조를 제작할 수 있었다. 실험 결과 단일막으로 형성된 폴리스티렌 나노-스피어의 크기를 조절함으로써 다양한 2차원 광자결정 구조 제작이 가능함을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.114-114
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• 2008

반도체 device의 성능을 향상시키기 위하여 패턴은 더욱 더 고 집적화 되고 배선 또한 다층배선 구조를 가지게 되었으며 요구되는 선폭 또한 더욱 미세화 되어 CMP 공정이 도입되게 되었다. 이러한 CMP 공정에 사용되는 소모품으로는 크게 세 가지의 중요한 부분으로 나눌 수 있다. 그것은 slurry와 pad, conditioner이다. 그중에 pad conditioning 공정은 CMP 공정시 pad의 마모에 따라 감소하는 removal rate(RR)값을 회복시키기 위한 공정으로 마모된 pad의 표면을 활성화 시켜주는 중요한 공정이다. 하지만 pad conditioning 공정을 장시간 진행하게 되면 conditioner 표면에 오염물이 발생하게 되며, 오염물로 인하여 wafer표면에 scratch 및 defect을 발생시키는 원인이 될 수 있다. 이러한 문제점을 보완하기 위하여 conditioner의 표면을 변화시켜 공정중의 오염이 발생하지 않도록 하는 것이 중요하다. 본 논문에서는 oxide CMP 실험을 통하여 conditioner표면에 오염물이 발생함을 확인하였으며 energy dispersive spectroscopy(EDS) 분석을 통하여 주오염물의 성분이 oxide slurry중 silica임을 확인하였다. Conditioner의 표면을 소수성으로 만들기 위하여 self assembled monolayer(SAM) 방법을 이용하여 표면에 코팅을 하였으며, 소수성 박막이 코팅된 conditioner와 코팅되지 않은 conditioner의 비교 실험을 통하여 오염 정도를 비교하였다.

• Tribology and Lubricants
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• v.25 no.6
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• pp.414-420
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• 2009

In this study, using the general expressions predicting the pressure under a blade and the volume of coating fluid passing through the blade edge, it is predicted the change of the coating wet film thickness related with various parameters determining the characteristics of this blade coating process. Using the results of this research, it can be found the optimized coating wet film thickness taking into account the parameters related with various coating process on various metal surfaces will be able to be predicted.

• Tribology and Lubricants
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• v.26 no.2
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• pp.142-148
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• 2010

The purpose of this study is to find how to be formed the wet film thickness during the low friction coating process for a piston skirt with application to the theory of screen printing. In other words, in this research, it is to derive the general expressions predicting the pressure under a blade and the volume of coating fluid passing through the blade edge. Using these expressions, it is to be approved that the current operation characteristics of a screen printing system to a sample blade coating process for low friction coating on a piston skirt can be quantitatively assessed.