• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.213-213
• /
• 2016

현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

• 한국의류학회지
• /
• 제27권12호
• /
• pp.1441-1452
• /
• 2003

오늘날 지체장애인의 수는 후천적 원인으로 인하여 점점 증가하는 추세에 있다. 이에 본 연구는 훨체어를 사용하는 하반신마비자 중 성인남성을 중심으로 인체계측을 통해 적합성이 높은 바지를 개발하는데 목적이 있다. 연구 결과는 다음과 같다. 1. 인체계측 결과 하반신마비자들은 정상인과 비교했을 때 허리둘레 및 배둘레에서 유의한 차이를 보여 새로운 치수체계가 필요로 함을 알 수 있었다 또 자세 변화에 따른 둘레항목의 치수 변화와 피부 신축율에 의해 허리선의 변화가 고려되어 평상시의 휠체어에 앉은 자세에서 계측한 항목으로 원형이 설계되어야 할 필요가 있다고 분석되었다. 2. 연구원형은 기성복화 하기 위한 방법으로 먼저 기준치수(98-102)를 선정하고, 원형 각 부위는 절대치로 수치화 시켜서 제시하였다. 뒤밑위길이선은 허리선에서 8cm 늘이고 앞밑위길이선은 허리선에서 6cm 줄여 앉은 자세에서 편안함을 확보할 수 있도록 하였다. 기준치수의 경우 바지길이 107cm, 밑위길이 26cm, 밑위선 28cm, 엉덩이둘레선은 밑위선 위로 8.5cm, 바지부리는 10.5cm이고 외관과 기능성 평가 결과 대부분의 항목에서 우수한 평가를 받았다. 3. 계측 대상자 계측치를 근거로 치수의 출현율을 고려하여 연구 치수체계를 기본 신체부위인 앉은 허리둘레와 앉은 엉덩이둘레의 순으로 적용하여 총 7개의 치수로 설정하였다. 기준치수(98-102)의 연구원형을 마스터 패턴으로 하고 구체적인 원형 부위별 절대치로써 치수 차를 검토하여 연구 그레이딩 룰을 설계하였으며 기준치수 보다 작은 사이즈 88-93과 큰 사이즈 108-111의 적합성을 검증하였다.

• 한국수자원학회:학술대회논문집
• /
• 한국수자원학회 2011년도 학술발표회
• /
• pp.230-230
• /
• 2011

2000년대 들어 가장 이슈화된 용어는 수십년 이상 사용해오고 있는 기상이변, 기후변화일 것이다. 이는 지구 온난화, 온실효과 등으로 인한 이산화탄소의 증가, 오존층 파괴, 해수온도 상승 등이 주요한 원인일 것이다. 수문학적 측면에서는 짧은 강우지속기간 동안 큰 강우강도를 갖는 집중 호우 및 국지성 호우와 해수온도 상승으로 강력한 규모의 태풍발생, 태풍지속기간을 연장하는 현상이 지속적으로 발생하고 있다. 이러한 극한 강우 발생사상으로 인해 홍수발생 위험요소가 증대하고, 홍수피해 규모가 커지고 있으며, 따라서 그동안 수립해오던 치수대책 방안에 기상변화, 홍수 피해 규모 증대 등을 고려해야 한다. 또한, 치수대책 수립의 적절한 판단기준을 수문학적 측면뿐만 아니라 사회, 경제적 요소를 고려하여 수립함으로써 정책 입안자나 설계자가 객관적인 지표를 통해 적절한 치수대책을 수립해야 할 것이다. 기존 인명손실 관련 연구결과 외에 다양한 국내 통계자료를 이용하여 직접피해액 산정이 가능하다. 본 연구는 치수대책 평가시스템 구축 연구의 한 부분으로 5개년으로 계획되어 있다. 연구 목표 : 통계자료를 이용한 직접피해액 산정 1. 지역별 다양한 자산 산정 - 건축물 자료 조사 - 내구재 및 농작물 등의 자료 조사 2. 자산별 피해율 산정 조사 - 건축물 자산의 피해율 조사 - 내구재 및 농작물 등의 침수심에 따른 피해율 조사

• 한국수자원학회:학술대회논문집
• /
• 한국수자원학회 2019년도 학술발표회
• /
• pp.385-385
• /
• 2019

기후변화의 영향을 받아 평균 기온 및 강수량이 증가하는 추세이며, 이로 인하여 홍수로 인한 피해 강도와 발생 빈도가 증가한다. 선진국을 중심으로 기후변화에 따른 미래 예측은 기후변화 시나리오로 분석하는 연구가 진행되고 있으며, 기후변화 시나리오에 따라 기온 상승률 및 강수량의 증가량, 극한 강우사상의 발생 빈도 및 발생 강도가 다르게 결정된다. 본 연구에서는 위험관리 대응이 필요한 유역에 대하여 순차적으로 하천 개수율 개선, 하수도보급률 개선, 양수량 증가, 유수지 용량 증가로 치수 대책을 개선하였으며, 치수 대책 개선으로 인한 홍수 위험 지수 및 위험관리 대응 필요유역의 변화를 분석하였다. 치수 대책 개선은 홍수 위험 지수 및 위험관리 대응 필요유역의 감소 형태가 뚜렷이 나타난다.

• 보존과학회지
• /
• 제32권2호
• /
• pp.155-165
• /
• 2016

수침고목재인 목재유물의 보존처리에 가장 많이 사용되는 PEG 함침 후 진공동결건조 방법의 단점인 표면 결함에 대한 안정화처리를 위해 HPC를 도포하였다. HPC의 효과를 확인하기 위해서 외관 및 실체현미경 관찰, 색차, 중량변화율, 치수변화율을 측정하고, 통계분석을 실시하였다. 목재시료의 표면에 HPC가 얇은 층을 형성하였고, 가도관의 관공과 균열의 틈 사이를 메우고 있었다. HPC 1,000,000을 처리한 시료의 부후되지 않은 표면에서 나타난 백화현상을 제외하고 다른 변화는 나타나지 않았다. 열화시킨 시료는 수분 흡착에 의한 색변화가 나타났다. 시료 표면의 얇은 HPC 층은 열화 후에도 유지되고 있었으며, 수분 흡착에 의한 중량변화와 치수변화는 HPC에 의해 억제되는 것으로 나타났다.

• 한국의류산업학회지
• /
• 제18권6호
• /
• pp.776-786
• /
• 2016

This study intends to suggest production process of circular knitted jackets and dimensional change data of finished clothes after washing. the study provides pattern design method of circular knitted jackets by applying dimensional change. By doing so, the purpose of this study is to increase production efficiency through accurate order in consideration of loss amount of the fabrics in production. With the three fabric materials selected, this study investigated dimensional change of circular knitted jackets after sewing and washing by varying the parts to be attached to padding cloth and with or without inner lining. As for the fabric F-C (including the spandex, thicker and weightier than the other two fabrics), front width shrunk by 4.6%, which showed the biggest shrinkage among the jackets made of test fabrics. Then it suggested design methods of circular knitted jacket patterns to which dimensional change is applied according to materials, and analyzed the amount of fabric required for production by comparison of the materials. When using the fabric F-C without inner lining, there is big dimensional change and more than double amount of fabric is required. It is expected that the research results will be a basic data for pattern design and production process of circular knitted clothing.

• Journal of the Korean Wood Science and Technology
• /
• 제36권6호
• /
• pp.88-95
• /
• 2008

내구성과 관련하여 구조부재의 수축문제가 목구조에서는 커다란 관심사가 되고 있다. 특히, 목재 소재를 적극 활용하는 전통공법에서는 짜맞춤 부위, 부재와 벽 등에서 발생하는 건조수축에 의한 갈라짐 등의 결함이 더욱 문제시되고 있다. 또한, 최근 기둥-보 공법에서 많이 사용되고 있는 국내산 낙엽송 집성재의 이용에 있어서도 함수율변화로 인한 수축과 팽윤에 대한 검토를 행할 필요성이 제기되고 있다. 낙엽송 소재와 접착층수를 달리한 낙엽송 집성재의 시험편에 대해 다양한 함수율상태에서의 치수변화율을 살펴보았다. 건조수축에 의한 치수변화 억제효과는 3층 이상의 접착층을 가지는 시험편에서 그 효과가 현저함을 알 수 있었다. 그리하여, 소재를 사용할 경우 최종사용조건에 맞추어 건조를 충분히 행하거나, 구조부재로 집성재를 이용함으로써 건조수축 문제를 어느 정도 해결할 수 있는 것으로 판명되었다.

• Journal of the Korean Wood Science and Technology
• /
• 제37권6호
• /
• pp.497-504
• /
• 2009

본 연구에서는 국산 잣나무, 일본잎갈나무, 신갈나무 및 산벚나무 Polyethylene glycol (PEG) 처리재의 초기 흡, 탈착과정에서 중량, 함수율 및 치수변화의 특성을 검토하였다. 각 수종의 무처리재와 PEG 1000, 2000, 4000 처리재는 상대습도 20%, 65% 및 98% 조건에서 1주일 동안 조습시켰다. 그 결과, 초기 흡, 탈착과정에서 PEG 1000과 2000으로 처리한 잣나무, 일본잎갈나무 및 산벚나무재의 중량은 크게 증감하였지만, 신갈나무재는 거의 변화가 없었다. PEG처리에 의한 함수율은 신갈나무재를 제외한 3 수종에서 상대습도의 변화에 의해 다소 높게 나타났으나, 모든 수종에서 PEG처리에 의해 치수변화를 예방할 수 있었다.

• Journal of Oral Medicine and Pain
• /
• 제31권3호
• /
• pp.223-229
• /
• 2006

Er:YAG 레이저를 이용한 치아경조직 삭제의 효율과 안전도는 물분사량, 조사시간, 조사방법, 에너지, 조사반복율 등의 다양한 변수에 의해 좌우된다. 이 연구의 목적은 출력을 고정한 상태에서 에너지와 조사반복율을 달리하였을 때 삭제율과 치수내 온도변화가 어떤 요소에 의해 더 많이 좌우되는지를 평가하고자 하였다. 발거된 건전 대구치를 두 조각으로 나누어 치아표본을 준비하여 $300mJ{\times}10Hz$, $200mJ{\times}15Hz$, 및 $150mJ{\times}20Hz$의 조건에서 1.6 ml/min의 물을 분사하면서 법랑질표면에 3초간 Er:YAG 레이저를 조사하였다. 레이저 조사 전후의 치아 무게를 측정하여 그 차이로 삭제율을 평가하였다. 각 군당 표본은 10개로 하였다. 위의 조건에서 발생하는 치수내 온도변화를 평가하기 위하여 발거된 건전한 대구치를 이용하여 access cavity를 형성하고 치수조직을 제거한 다음, hard acrylic resin으로 만든 block에 치아를 매식하고 레이저를 조사되는 측 치수벽과 반대측 치수벽에 온도측정탐침을 위치시켜 레이저조사과정과 그 후에 발생하는 온도변화를 측정하였다. 조사조건은 삭제율 평가시와 동일하게 하였으며 각 군당 표본은 5개로 하였다. 실험의 결과, 3W의 출력에서 치아삭제량은 펄스에너지의 증가에 따라 함께 증가되었다.(p=0.000) 반면에 치수 내 온도는 조사반복율의 증가에 의해 상승되었으나 각 군별, 조사측간에 유의한 차이는 없었다. 다만, $150{\times}20Hz$의 조사조건에서만 조사측 치수벽이 반대측에 비해 유의한 온도증가를 보였다(p=0.033). 본 연구의 결과는 Er:YAG 레이저의 치아삭제율은 조사반복율보다 펄스에너지의 영향을 많이 받는다는 점을 시사하고 있다.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국추진공학회 2000년도 제14회 학술강연논문집
• /
• pp.33-33
• /
• 2000

고온의 연소가스로부터 노즐 표면을 보호하기 위하여 슬롯을 통하여 냉각 유체를 분사하는 슬롯 막냉각에 대하여 연구하였다. 냉각효율 및 열전달 특성은 주유동과 2차 유동의 분사율에 따라 크게 달라지며, 형상변화 및 유동가속에 의해서도 냉각 효과의 변화를 가져오게 된다. 따라서 본 연구에서는 실험을 통하여 면적비가 16:1인 축소노즐에서 압축성 효과를 배제할 수 있는 유동속도 범위 내에서 분사율 변화(0.5 $\leq$ M $\leq$ 3.0)에 따른 슬롯 막냉각 열전달 특성을 고찰하고, 평판 슬롯 막냉각 경험식의 결과와 비교하였으며, 수치해석을 통하여 축소노즐과 원형관에서의 냉각효율 및 열전달 특성을 비교함으로서 이를 검증하였다. 축소노즐에서의 슬롯 막냉각 열전달 특성은 단열벽면조건을 형성하여 노즐 표면을 따라 설치된 열전대를 이용하여 측정하였다. 그 결과 상대적으로 낮은 분사율(M=0.5, 1.0)에서 분사율 증가에 따른 냉각효율의 증가가 크게 나타났으며, 분사율이 높아짐(M $\geq$ 2.0)에 따라 냉각효율의 증가폭이 점점 감소하고, 일정 분사율 이상에서는 냉각 효율의 증가가 크게 둔화되었다. 분사율이 낮을 경우 평판 슬롯 막냉각 경험식으로 주어진 결과보다 상류에서는 높으나 하류로 진행하면 비슷한 냉각효율을 보였고, 분사율이 높은 경우 평판보다 전 범위에서 약간 높은 냉각효율을 나타냈다. 수치해석 결과에서는 분사율이 낮을 경우 축소노즐의 냉각효율이 원형관에서의 냉각효율 보다 낮거나 비슷하게 나타났으며, 분사율이 높아짐에 따라 축소노즐에서의 냉각효율이 오히려 높아지는 것으로 나타났다.타내었다. 액체 제트의 속도는 처음에는 일정하게 유지되다가 운동량을 보존하기 위해 가스로부터 운동량을 받아 점차 가속되어지는 것으로 나타났다.본 규격은 키, 총장, 어깨길이, 등길이, 머리길이, 머리둘레, 진동둘레, 목둘레, 가슴둘레, 허리둘레, 배둘레, 엉덩이둘레, 앞품, 뒤품, drop치를 포함하고 있고, 각 규격에서 호칭간 치수 간격도 함께 제시하고 있다. 본 연구 결과에서 보듯, 현행 8규격의 무진복의 각 호칭간 적정 허용범위를 고려해 합리적인 치수체계를 정립한다면 치수에 대한 적합도가 상당히 증가할 뿐 아니라 생산비용도 상당히 감축할 것으로 생각된다.나타났다. 4) 호감적 서비스능력 차원에서 세 독립변수간에 유의한 3원 상호작용이 존재하는 것으로 나타나( $F_{2,228}$=15.62, P<.001) 20대에 적합한 의복 착용시( $F_{2,228}$=3.98, P<.05)와 60대에 적합한 의복 착용시( $F_{2,228}$=16.55, P<.001) 점포유형과 격식차림간에는 유의한 상호작용이 존재하는 것으로 나타났다. 5) 호감을 구성하는 세 요인들이 구매의도에 미치는 영향을 조사한 결과 호감적 인상차원은 29%(P<.001), 호감적 서비스능력차원은 6%(P<.001)의 구매의도를 설명해 주는 것으로 나타났다. 본 연구결과 노년 소비자에게 호감을 주는 판매원의 외모는 구매의도에 영향을 주어 실버의류산업의 이익증대와 밀접한 연관을 갖는 서비스품질의 중요한 요인으로 밝혀졌다.중요한 요인으로 밝혀졌다.로운 단백질 EPSPS가 다른 여러 식물에 이미 존재하고 있는 단백질로서 우리가 이미 이러