• 제목/요약/키워드: 측정표준기술

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친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

  • 정지현;강봉균;김민수;이종명;이규필;박진구
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2011년도 춘계학술발표대회
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    • pp.66.1-66.1
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    • 2011
  • 반도체를 비롯하여 LCD, OLED와 같은 디스플레이 (FPD: Flat Panel Display) 분야는 국가 선도 사업으로써 발전을 거듭해오고 있다. 하지만 기술의 성숙도가 높아짐에 따라 최근 중국과 대만 업체와의 경쟁이 심화되고 있으며, 더불어 환경문제가 큰 이슈로 떠오르고 있어 신기술 개발을 통한 생산 수율 향상 및 친환경 공정 개발의 중요성이 커지고 있다. 반도체, 디스플레이 공정에서 생산 수율 저하의 주요 원인으로써 공정 중 발생하는 미세 오염 입자를 들수 있다. 반도체 및 디스플레이 공정에서 세정 기술은 전체 기술의 30% 이상을 차지하며 생산 수율 및 제품의 품질에도 큰 영향을 주는 공정이다. 세정 공정은 일반적으로 습식 세정 공정이 낮은 공정비용을 바탕으로 널리 적용되어 왔으나, 기판의 대형화와 패턴의 미세화에 따라 정밀한 세정 스펙이 요구되며 더불어 막대한 양의 초순수와 화학액의 사용으로 인한 공정비용 증가와 환경 규제 강화에 따른 폐수 처리의 문제에 직면하고 있다. 이에 따라 폐수의 양을 줄이며 건조공정을 필요로 하지 않아 공정비용을 줄일 수 있는 건식 세정 공정에 대한 연구가 활발히 진행 되고 있다. $CO_2$ snow jet 세정 기술은 건식 공정으로써 $CO_2$ 가스를 특수하게 제작된 분사 노즐에서 고압으로 가스를 분사하여 이 때 발생되는 순간적인 감압에 의한 단열 팽창으로 생성된 $CO_2$ snow 입자가 기판 표면의 오염물과 물리적 충돌을 하어 세정이 이루어지는 기술이다. 특히 $CO_2$ 세정은 환경과 인체에 무해하며 공정 후 바로 승화하기 때문에 추가적인 폐수처리 공정 등이 필요하지 않고, 건식 공정으로써 수세(Rinse) 공정을 필요로 하지 않기 때문에, 공정비용을 크게 줄일 수 있으며 물반점 발생을 방지 할 수 있는 친환경 건식 공정으로써의 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 자체적으로 개발한 $CO_2$ snow jet을 바탕으로 하여 다양한 공정조건을 변화시켜 세정효율을 측정하는 한편, 최적화 하기 위한 연구를 진행하였으며 더불어 $CO_2$ snow의 세정력을 정량적으로 평가하기 위한 연구를 진행하였다. 실험을 통해 가장 효과적으로 $CO_2$ snow 입자를 배출 할 수 있는 공정 조건으로써 5 bar의 캐리어 가스 압력을 사용하여, 세정력에 가장 큰 영향을 줄 수 있는 분사 노즐과 기판 사이의 거리 및 분사 노즐의 각도 등을 변화시켜 각 조건에 따른 세정효율을 평가하였다. 세정 오염물은 Silica, PSL 표준 입자(Duke scientific, USA)를 정량적으로 웨이퍼에 오염 시킨 후, 파티클 스캐너(Surfscan 6500, KLA-Tencor, USA)를 이용하여 세정 전 후의 오염입자 개수 변화를 통해 정량적으로 세정효율을 평가하였다. 본 연구를 통하여 $CO_2$ snow jet를 이용한 친환경 고효율 건식 세정 공정 메커니즘을 분석하였으며, 노즐과 기판 사이의 간격 및 분사 노즐의 각도 등을 최적화 한 세정 공정을 얻을 수 있었다.

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해상교통혼잡도 평가현황 분석을 통한 진단기술기준 개선연구 (A Study on the Assessment of the Marine Traffic Congestion and the Improvement of a Technical Standards)

  • 엄한찬;장운재;조경민;조익순
    • 해양환경안전학회지
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    • 제18권5호
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    • pp.416-422
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    • 2012
  • 잠재적인 해양사고의 위해요소 제거를 통한 중대 해양사고를 예방하기 위하여 해상교통안전진단제도가 2009년 도입 시행되었다. 법 도입 이후 초기 시행과정에서 현행 안전진단제도의 대상사업의 범위, 수행방법 등 법 제도적인 측면뿐 아니라, 진단항목별 세부적 기술기준의 개선 보완 필요성이 대두하였는데, 그 중 해상교통혼잡도 평가는 해상교통현황 측정항목으로 모든 안전진단의 필수진단항목으로 설정되어 수행되었으나, 평가과정에서 선박의 대형화 및 고속화 추세를 반영하지 못하는 것으로 분석되었다. 이에 본 연구에서는 그동안 해상교통안전진단을 통해 수행된 해상교통혼잡도 평가현황 분석 및 관련 전문가 의견수렴을 통한 현행 진단기술기준의 문제점을 도출하여 혼잡도 평가명칭의 변경, 실용교통용량 표준화 및 선택적 진단항목으로의 평가 변경 등 제도개선을 위한 해상교통혼잡도 평가 기술기준(안)을 제시하였다.

도심지 지하 터널시공 중 차수·보강 그라우팅 공사의 품질향상을 위한 P~q~t charts 적용성 연구 (A Study on the P~q~t Charts Applicability for Quality Improvement of Water-Sealing&Reinforcement Grouting in Tunneling Work Underneath the City)

  • 김진춘;김석현;유병선;강희진
    • 한국방재안전학회논문집
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    • 제14권3호
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    • pp.51-63
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    • 2021
  • 본 연구는 도심지 지하 교통망 건설 중 터널굴착 공정에 적용하는 차수·보강 그라우팅 공사의 품질향상을 위한 것이다. 기존의 터널 그라우팅 시공에서는 실시간으로 주입압 및 주입량을 보여주는 P~q~t charts를 기술적으로 온전히 활용하지 못하였다. 그 이유는 주입지반의 차이 및 주입 중 어떤 문제가 발생할 시에 P~q~t charts가 어떻게 변화하며, 그에 따른 표준적인 주입유형을 보여주는 주입 그래프 패턴, 특성, 판정, 그에 따른 조치유형 및 조치방법에 대한 기술적 판단방법이 없었기 때문이다. 본 논문은 상기의 문제점 등을 해결하기 위한 일환으로 일반 및 알고리즘 그라우팅 시 토사층 및 암반층으로 구분하여 주입유형, 특성, 판정방법, 그리고 조치유형 및 조치방법 등의 연구를 수행하였다. 새롭게 개선된 토사층 P~q~t charts에서는 일반그라우팅과 알고리즘 그라우팅 둘로 나누어 각각 6가지 유형으로 구분하였고 각 유형에 따른 특성 및 판정방법을 도출하였으며 일반주입유형과 알고리즘 주입유형에서의 각 유형별 조치방안도 개발하여 현장에서 쉽게 적용 가능하도록 제안하였다. 또한, 개선된 암반층 P~q~t charts에서도 각각 6가지 유형으로 구분하여 토사층과 같이 해당 유형에 상응하는 조치방안을 개발하여 현장에서 쉽게 적용 가능하도록 제안하였다. 따라서, 도심지 지하 교통망 건설 중 터널굴착 공정에 적용하는 차수·보강 그라우팅 공사에서 예비단계의 현장시험 혹은 시공 중 단계에서 시간에 따른 주입압 및 주입량의 데이터인 P~q~t charts를 실시간 측정하여 주입유형을 분석하고 조치방법을 마련하여 더 나아가 모든 그라우팅 단계에서 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

지능형 다짐 기술 기반 토공사 다짐 품질관리 실증 연구 (Field Validation of Earthwork Compaction Quality Control Based on Intelligent Compaction Technology)

  • 백성하;김진영;김지선;조진우
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제39권11호
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    • pp.85-95
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    • 2023
  • 본 연구에서는 경기도 소재 AY 고속도로 토공사 현장에 지능형 다짐기술을 적용해 대표적인 지능형 다짐값인 CMV를 획득했다. 시험시공을 통해 품질관리 목표 CMV를 결정하고, 이를 이용해 본 시공 구간의 다짐품질을 관리하는 과정을 실증했다. 시험시공 결과, 평판재하시험이 수행된 위치로부터 5m 이내에서 측정된 CMV의 평균값과 지지력 계수의 선형회귀식을 통해 목표 CMV를 결정하는 것이 최적임을 확인했다. 시험시공을 통해 결정된 목표 CMV를 기반으로 본 시공 구간의 다짐품질을 확인한 결과, 국내 지능형 다짐공 표준시방서에서 제시된 품질기준은 만족했지만, 오스트리아, 미국에서 제시된 품질기준은 만족하지 못했다. 특히 다짐품질의 변동성과 관련한 지표를 대부분 만족하지 못하는 것으로 나타나, 변동계수가 17~55%에 달하는 CMV의 변동성에 비해 관련 기준이 매우 엄격하게 설정되어 있음을 확인했다. 추후 추가적인 현장시험을 통해 지능형 다짐 기반 다짐품질 관리 과정을 실증하여, 각 기준에서 제시하고 있는 규정의 적절성을 검증하고 개선해야 할 것으로 보인다.

소아환자를 위한 음악: 무작위 임상연구의 체계적인 문헌고찰 (Music for Pediatric Patients in Medical Settings: A Systematic Review of Randomized Controlled Trials)

  • 이진형
    • 인간행동과 음악연구
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    • 제10권2호
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    • pp.1-33
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    • 2013
  • 본 연구는 소아환자대상 최근의 음악치료 및 음악을 사용한 임상연구들에 대한 체계적인 문헌고찰(Systematic Review)을 위해 실시되었다. 이를 위해 13개 데이터베이스를 이용하여 2000년부터 2012년 사이에 영어로 발표 된 무작위 임상 및 교차설계 연구들을 자료로 수집하였고, 최초 검색 되었던 1023개의 논문 중 선정 및 제외기준에 따라 영어문헌 15건을 선별하였다. 선별 결과 연구 대상자는 1개월에서 만 18세까지의 아동 및 청소년으로 11명에서 150명 까지 표본크기가 다양했으며 전체 연구 참여자는 987명으로 집계되었다. 선별된 연구들은 음악요법 및 음악치료 연구로 분류되어 전반적인 유형, 연구절차와 방법론, 임상접근법, 측정도구 및 연구결과에 대해 체계적으로 분석되었다. 총 7건의 음악요법과 8건의 음악치료로 분류된 연구들은 7개영역의 종속변수를 36종류의 측정도구를 사용하여 측정하였는데 음악의 임상적 사용에 있어 음악의 선택, 종류 및 임상접근방법에 큰 차이가 있음이 나타났다. 연구절차와 방법론의 분석 결과 다수의 연구들이 주요 연구절차에 대한 기술이 충분치 않고 특히 무작위배정(Randomization), 배정순서 은폐(Allocation Concealment), 이중 또는 부분은폐(double or partial blinding) 및 참여자 감소율(Attrition Rate)과 같은 방법론적 표준에 미치지 못함이 도출되었다. 전반적인 연구결과가 통계적으로 유의하거나 긍정적 결과가 보고된 바 있으나, 연구 방법론적 문제들과 임상접근법들의 이질성으로 인해 그 결과가 편향에 의해 오염되거나 신뢰성에 문제가 있음을 확인할 수 있다. 그 결과 음악이 소아 환자들의 신체 및 사회 심리적 필요를 다루는 도구로 임상적 가치가 있음을 제안할 수는 있지만 이에 대한 과학적인 근거로서는 절차와 접근법이 보다 엄격하고 균일하여 추후 재현이 가능한 연구들이 다수 요구됨을 알 수 있다.

방사선 조사된 후추가루의 검지를 위한 점도법의 적용 (Application of Viscometric Method for the Detection of Irradiated Black and White Pepper)

  • Yi, Sang-Duk;Chang, Kyu-Seob;Yang, Jae-Seung
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제15권2호
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    • pp.114-121
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    • 2000
  • 본 연구는 점도 측정법을 이용하여 방사선 조사된 검은 후추가루와 횐 후추가루의 조사유무를 확인하기 위해 이전의 연구에서 수행되지 않은 다양한 rpm에서의 검지 가능성과 회귀식 및 회귀계수를 설정하여 보다 최적화 되고 체계적인 검지 기술을 확립하기 위해 수행되어졌다 실험에 사용된 검은 후추가루와 흰 후추가루는 polyethylene bag에 포장되어졌고 한국원자력연구소내의 Co-60감마선 조사시설을 이용하여 2.5, 5, 7.5, 10, 15 kGy로 조사되어졌다. 10 %, 13%농도의 검은 후추가루와 7%, 10% 농도의 흰 후추가루 시료를 만들기 위하여 증류수를 가하여 현탁시킨 후에 알카리화 하였고 Brookfield DV-III rotation viscometer를 이용하여 30。C 에서 30초 동안 30. 60, 90, 120, 150, 180, 210 rpm에서 점도를 측정하였다. 모든 시료의 점도와 표준편차는 조사선량과 rpm이 증가할수록 감소하는 경향을 보였으며, 농도가 증가할수록 점도도 증가되어 농도 의존적인 경향을 보여 주었고, 이러한 경향은 모든 시료에서 유사하게 나타났다. 120 rpm 에서 10% black pepper, 13% black pepper, 7% white pepper, 10% white pepper 의 회귀식과 회귀계수는 0.9531 (y=-131.29x+1769.0), 0.9725 (y=-351.33x+4036.0), 0.9731 (y=2208.0e-${^-0.3546X}$), 및 0.9959 (Y=5116.0e${^-0.2887X}$)를 나타내었으며 조사선량과 점도간의 높은 상관성을 보여 주었다. 이상의 결과를 종합하여 볼 때 점도 측정법은 방사선 조사된 검은 후추가루와 흰 후추가루의 조사유무를 확인할 수 있는 유용한 방법임을 확인할 수 있었다.

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분광광도계를 이용한 720 nm에서 망상적혈구 측정 경험 (Experience of Reticulocytes Measurement at 720 nm Using Spectrophotometer)

  • 성현호;석동인;정유현;김대중;이석재
    • 대한임상검사과학회지
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    • 제49권4호
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    • pp.382-389
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    • 2017
  • 임상 실험실에서의 망상 적혈구 계산은 현재 수동 및 자동으로 구분된다. 현미경에 의한 망상 적혈구 수 검사는 정확성의 결여, 낮은 재현성 등이 망상 적혈구 결과의 정확성에 문제가 있다. 또한, 자동 혈액 분석기의 유동 세포 계측법은 개발 도상국 및 소규모 실험실에서 비용 때문에 사용하기가 어렵다. 따라서 본 연구는 이러한 단점을 보완 할 수 있는 새로운 방법을 찾기 위해 노력했다. 이 연구의 목적은 분광 광도계로 염색 된 망상 적혈구 수를 비교하고 또한 분광 광도계 및 유동 세포 계측기의 통계를 분석하는 것이다. 동일한 8 개의 EDTA 샘플을 36 회 반복하여 분광 광도계와 유동 세포 계측기 사이의 일치도를 비교 하였다. 이 연구는 700~780 nm에서 600 배 희석 한 표본을 10 개의 차이로 측정하였다. 흡광도에 의한 710~730 파장은 표준 및 검사와 양의 상관 관계가 있으며(r=0.967, p<0.01), 변수에 대한 상관 관계를 나타내었다. 결과에 대한 회귀 분석결과 최적 희석 계수는 600 배였다. 따라서 본 연구는 자동 분광 광도계를 이용한 망상 적혈구 흡광도 측정에 대한 경제적인 기여 그리고 망상 적혈구 관련 빈혈에 대한 모니터링 시스템 등에 기여 할 수 있는 기술적 활용을 시도한 것이다. 따라서 더욱 광범위한 연구가 필요할 것으로 사료된다.

밀리미터파 대역 딥러닝 기반 다중빔 전송링크 성능 예측기법 (Deep Learning-Based Prediction of the Quality of Multiple Concurrent Beams in mmWave Band)

  • 최준혁;김문석
    • 인터넷정보학회논문지
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    • 제23권3호
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    • pp.13-20
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    • 2022
  • 차세대 와이파이 표준기술인 IEEE 802.11ay는 밀리미터파 대역에서 AP (Access Point)가 다수의 STA (Station)로 동시에 데이터를 전송하도록 MU-MIMO (Multiple User Multiple Input Multiple Output) 통신을 지원한다. 이를 위해, 주기적으로 MU-MIMO 빔포밍 훈련을 수행해야 하고, 효율적인 빔포밍 훈련을 위해서는 AP가 다수의 안테나로 다수의 빔을 동시에 전송할 때, 각 STA에서 측정되는 신호 세기를 정확히 예측하는 것이 중요하다. 본 논문에서는 딥러닝 기반 다중 빔 전송링크 성능 예측기법을 제안한다. 제안한 예측기법은 특정 실내 또는 실외 환경에서 미리 학습된 딥러닝 모델을 이용하여 다수의 빔이 동시에 전송될 때 STA에서 측정되는 신호 세기 예측의 정확성을 높인다. 이때, 딥러닝의 입력으로 개별 빔이 전송될 때 STA에서 측정되는 신호 세기 정보를 이용하고, 개별 빔의 신호 세기 정보를 얻는 과정은 이미 기존의 빔포밍 훈련에 포함되어 있으므로 정보 수집을 위해 추가적인 비용을 발생하지 않는다. 성능평가를 위해 NIST (National Institute of Standards and Technology)에 의해 개발된 Q-D 채널구현 (Quasi-Deterministic Channel Realization) 오픈소스 소프트웨어를 활용하였고 실측 데이터 기반으로 밀리미터파 채널을 구현하였다. 실험결과에서는 제안한 예측기법이 다른 비교기법보다 향상된 예측성능을 보였다.

7조식 직립마늘파종기 배종율 개선 설계 및 제작 (Design by improvement of main parts of garlic planter)

  • 이충호;하종우;장지운;이인범;김현경
    • 한국농업기계학회:학술대회논문집
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    • 한국농업기계학회 2017년도 춘계공동학술대회
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    • pp.86-86
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    • 2017
  • 마늘파종기는 파종기구동부와 파종후 파종홀의 복토역할을 하는 파종기롤러, 지면과의 마찰을 통해 바퀴의 회전토크가 발생하며 발생된 토크는 파종기 내부 동력으로 전달되어 전체 파종시스템(배종, 호퍼캠, 파종부)을 동작 시키는 기능을 수행하는 파종바퀴, 마늘종구를 한알씩 집어올려 중간이송컵으로 이송하는 자세교정컵이 포함된 배종부와 자세교정컵에서 낙하된 마늘종구를 땅속으로 파종하는 파종장치로 구성된다. 배종율 95%, 2립 배종률 5% 성능을 확보할 수 있는 기술이 개발될 경우 세계적으로도 독보적인 기술 우위를 확보할 수 있다. 이와 같은 기본적인 기능을 구현할 수 있는 컨셉모델에 대한 설계를 수행하여 시제품개발 전 기구해석과 구조해석 등을 위한 기본설계를 수행하였다. 배종율 95% 이상을 확보하기 위해서는 기존의 현장경험의 의한 설계 방식으로는 한계가 있기 때문에 시뮬레이션 및 분석 개발이 필요한데, 프레임은 고정밀 마늘종구 배종부 장착을 위한 기본 구조물로써 작동시 동력을 얻기 위한 바퀴와 연계가 되도록 설계되었으며, 호퍼는 배종 수행을 위해 마늘을 저장해 두는 통으로써 배종부와 연결된다. 배종부의 배종판이 회전함에 따라서 배종판의 홈이 호퍼 내로 들어갔다 나오면서 마늘을 집게되며, 동력 전달부는 배종판을 회전시켜주고, 회전 속도 조절을 가능하게 한다. 파종부는 배종부에서 중간컵을 통해 하나씩 공급해준 마늘을 땅에 심는 부분으로서. 프레임의 바퀴 회전과 연동되어 회전하고 설계하였다. 배종판에서 중간컵으로 이송된 마늘을 파종부의 파종컵에 받아 회전하면서 땅속에 파종컵이 묻히면 파종컵이 열리면서 땅속에 마늘을 심는 원리이다. 조간조정은 7조식의 경우 초기설치시 고정되도록 설계되었으며 농촌진흥청 기계화 표준재배안에 따라 의성마늘 기준 $14{\times}14cm$(조간${\times}$주간)를 기준으로 개발하였다. 조간조정은 기계가 설치되면 조정하기 어려우므로 14cm로 설계하였으며, 주간조정은 원형배종장치의 구동기어부의 속도비로 간격을 조정할 수 있도록 기어장치를 설계하였다. 주간조정은 13에서 18cm의 범위에서 작동하도록 설계되었으며, 필요에 따라 간격조절이 가능함. 마늘은 그 크기가 다르고, 형상도 다르기 때문에 종자에 따른 개별적인 파종기술들이 개발되어야하기 때문에 개발 기간이 오래 걸리고, 수익에 비하여 개발비가 과다하게 요구되는 실정인데 축적된 시뮬레이션 툴을 이용한 파종기 분석 기술을 확보할 경우 다른 파종기의 연구 개발에도 크게 도움이 될 것으로 기대되며, 생육측정 실험과 동역학 해석 툴 RecurDyn을 통해 파종기의 기구학적 분석을 통한 설계반영 인자를 도출할 계획이다.

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광양지역에 적합한 항타강관말뚝의 목표신뢰성지수 및 저항계수 산정 (Resistance Factor and Target Reliability Index Calculation of Static Design Methods for Driven Steel Pipe Pile in Gwangyang)

  • 김현태;김대현;임재춘;박경호;이익효
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제16권12호
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    • pp.8128-8139
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    • 2015
  • 최근 구조물 기초 분야에 대한 한계상태설계법이 국제적인 기술표준으로 요구됨에 따라 연구기반이 미약한 연약지반 개량공법에 대한 하중저항계수설계법 개발의 필요성이 대두되었다. 본 연구는 신뢰성 분석을 통해 항타강관말뚝의 목표신뢰성지수 및 저항계수를 산정하여 기초 구조물에 대한 LRFD code를 개발하고자 하였다. 프로그램의 검증을 위해 광양지역 16개의 항타말뚝 재하시험 결과와 2008년 한국건설기술연구원에서 이용된 57개의 항타말뚝 재하시험 결과를 취합하였다. 구조물기초설계기준에서 제안하고 있는 두가지 정역학적 설계공식에 대해서 대표 측정지지력과 설계지지력을 비교함으로써 저항편향계수를 평가하였고, 저항편향계수의 통계특성을 이용하여 일차신뢰도법 및 몬테카를로 실뮬레이션에 의한 신뢰성 분석을 실시하였다. 그 결과, 항타강관말뚝의 목표 신뢰성지수 2.0, 2.33, 2.5에 대해서 선단부 N치 50이하인 경우 두 지지력 공식의 저항계수는 각각 0.611~0.684, 0.821~0.537, 선단부 N치 50이상인 경우 각각 0.608~0.545, 0.749~0.643으로 제안되었다. 본 연구결과는 향후 다양한 기초구조물 및 지반구조물의 하중저항계수설계법 개발을 위한 자료로서 그 활용성이 있을 것이다.