• Title/Summary/Keyword: 충돌 인자

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Analysis on Variation Mechanism of the Plasma Process Using OES (광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석)

  • Park, Seol-Hye;Kim, Gon-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.31-31
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    • 2011
  • 식각, 증착 등의 플라즈마 활용 공정에서 공정 결과들이 예상치 못한 편차를 보이거나 시간에 따른 공정 결과의 드리프트가 발생하는 등의 문제는 공정 수율 향상 뿐 아니라 공정 결과 생산하게 되는 제품의 성능을 결정짓는다는 점에서 중요하다. 그 결과 공정의 이상이 발생 되는 것을 감지하기 위한 다양한 장치 및 알고리즘들이 등장하고 있으나, 현재 공정 상태 변화를 진단하는 것은 공정 장치에서 발생된 신호 변동을 통계적으로 처리하는 수준에 머무르거나 플라즈마 인자들의 값 자체를 진단하는 정도에 그치고 있다. 본 연구에서는, 향후 물리적 해석을 기반으로 한 공정 진단을 위한 알고리즘을 세우는 것을 목표로 하여 공정 결과에 민감하게 영향을 주는 플라즈마 내부 전자의 열평형 상태의 미세한 변동을 감지하고 이를 통하여 공정 결과에 영향을 주게 되는 장치 내 물리적, 화학적 반응들의 변동 메커니즘을 이해하고자 하였다. 외부에서 감지하기 힘들기 때문에 장치 상태에 변동이 없는 것으로 보이지만 실제로는 변동하고 있는 플라즈마의 미세한 상태 변화를 보여줄 수 있는 물리 인자로는 잦은 충돌로 인하여 빠르게 변동에 대응할 수 있는 전자들의 열평형 특성을 살펴보는 것이 적합하다고 판단하여 광신호를 통해 전자 에너지 분포함수를 진단할 수 있는 모델을 수립하였다. 이 모델의 적용 결과를 활용하면 전자들의 열평형이 주변 가스 종의 반응율 변동에 주게 되는 영향을 해석할 수 있다. 실제로 ICP-Oxide Etcher 장치에서 장치 내벽 오염물질 유입 및 공정 부산물의 장치 내 잔여로 인하여 식각율로 표현되는 공정 결과에 최대 6%의 편차가 발생하게 되는 메커니즘을 해석할 수 있었다.

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연소 안정성 평가 시험을 통한 배플 길이의 안정성 여분 평가

  • Kim, Hong-Jip;Lee, Kwang-Jin;Seo, Seong-Hyeon;Kim, Seung-Han;Han, Yeoung-Min;Seol, Woo-Seok
    • Aerospace Engineering and Technology
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    • v.3 no.1
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    • pp.188-196
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    • 2004
  • To optimize and limit the axial length of baffle in KSR-III engine, stability rating tests using pulse gun as one of artificial disturbance devices have been done. Decay time and other parameters for the evaluation of stabilization ability of engine to external perturbation have been analyzed to quantify stabilization capacity of engine, in other words, dynamic stability margin. If baffle does not cover flame zone enough which can be considered as collision region of injector, it wasn't be able to suppress external perturbation sufficiently. The limit of combustion stability margin of engine is assumed to be 50 mm length baffle.

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Measurement of Absorbed Dose at the Tissue Surface from a Plain $^{90}Sr+^{90}Y$ Beta Sources (조직 표면에서의 베타선 흡수선량 측정)

  • Hah, Suck-Ho;Kim, Jeong-Mook;Yook, Chong-Chul
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • v.16 no.2
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    • pp.17-26
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    • 1991
  • Beta ray $(^{90}Sr+^{90}Y)$ absorbed dose at tissue surface was measured from the distance of 30cm by use of extrapolation chamber. In the measurement, following factors were considered: effective area of collecting electrode, polarity effect, ion recombination and window attenuation. The measured absorbed dose rate at tissue surface was $1.493{\mu}Gy/sec$ with ${\pm}2.9%$.

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Sensitivity of Numerical Solutions to Time Step in a Nonlinear Atmospheric Model (비선형 대기 모형에서 수치 해의 시간 간격 민감도)

  • Lee, Hyunho;Baik, Jong-Jin;Han, Ji-Young
    • Journal of the Korean earth science society
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    • v.34 no.1
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    • pp.51-58
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    • 2013
  • An appropriate determination of time step is one of the important problems in atmospheric modeling. In this study, we investigate the sensitivity of numerical solutions to time step in a nonlinear atmospheric model. For this purpose, a simple nondimensional dynamical model is employed, and numerical experiments are performed with various time steps and nonlinearity factors. Results show that numerical solutions are not sensitive to time step when the nonlinearity factor is not influentially large and truncation error is negligible. On the other hand, when the nonlinearity factor is large (i.e., in a highly nonlinear regime), numerical solutions are found to be sensitive to time step. In this situation, smaller time step increases the intensity of the spatial filter, which makes small-scale phenomena weaken. This conflicts with the fact that smaller time step generally results in more accurate numerical solutions owing to reduced truncation error. This conflict is inevitable because the spatial filter is necessary to stabilize the numerical solutions of the nonlinear model.

Development of the sustainable water resources allocation system to Cope with climate change and drought (이상기후 대비 물배분시스템 개발)

  • Kim, Hae-Do;Lee, Kwang-Ya;Joo, Jin-Hun
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.467-467
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    • 2011
  • 기후변화로 인한 수문학적 변동은 지속가능한 수자원 관리를 위해 중요한 인자로 고려되고 있다. 특히, 가뭄 등 기상재해는 자연재해 차원을 넘어서 사회적 갈등으로 발전할 여지가 크며 특히 수자원 배분은 환경, 경제를 뛰어넘은 생존의 문제로 발전하고 있다. 따라서 본 연구는 기후변화가 가져올 가뭄 등 재해관리를 위한 의사지원체계 구축하고 다양한 기후변화 시나리오에 대응할 수 있는 탄력성 있는 수자원전문가시스템의 개발을 통해 이상기후 및 가뭄대비 물분쟁에 대한 합리적 대안을 제시하고자 한다. 본 연구에서는 섬진댐의 상황을 모델로 하고 있다. 섬진강 유역은 섬진강댐의 건설당시 발 빠른 이주대책의 불이행으로 수몰지역 내에 초기 정착민들이 계속 거주하게 되어 댐 제원을 충분히 활용하지 못하고 있어 효과적인 치수사업에 어려움을 겪어오다가 공사간의 협력을 통해 치수능력증대사업을 추진하여 저수지의 저류량을 증가시키고자 섬진강댐 재개발 사업을 추진한 지역이다. 하지만, 유역내의 이상기후로 인한 수문학적인 변동과 가뭄으로 인한 물관련 당사자간의 용수확보분쟁의 소지가 있어 물관리를 위한 수자원전문가시스템의 개발이 시급한 실정인 지역이기도 하다. 대상지역 수자원전문가시스템의 개발을 목표로 HSPF(Hydrologic Simulation Program with FORTRAN)을 이용하여 기후변화로 인한 수문학적 변동성을 파악하였다. 그리고 수자원 전문가 모델로서 외국에서 사용되고 있는 SUPER, HEC-ResSim, RiverWare, MODSIM, WRAP, PowerSim, 그리고 STELLA의 장 단점 등 특성을 분석하여 국내에 적합한 수자원전문가시스템 갖추어야할 기능 및 구성을 분석하였다. 연구 결과 국내실정에 필요한 모델은 공영시각모형(Shared Vision Model)으로서 그 장점은 첫째, 수자원의 관리나 물분쟁시 반드시 필요한 유역의 물리적인 인자와 수역관리에 필요한 수문인자, 그리고 물분쟁의 소지가 있는 의문사항이나 문제점의 해결책을 위한 실마리를 제공할수 있다. 둘째, 물관련 이해당사자들이 직접 참여하여 모형을 평가하고 서로간의 이해관계를 위한 충돌이 발생했을 때 문제해결을 위한 대안을 제시할 수 있는 정보를 제공할 수 있다. 셋째, 물배분의 원칙에 따른 한쪽으로 편중된 대안이 제시되었을 경우에 공동으로 대안에 대한 평가를 통하여 평등한 물배분을 가능하게 한다. 넷째, 시민단체나 환경단체, 그리고 기관책임자들이 공동으로 모형의 형성과정을 지켜본 후 논의할 수 있어 이상적인 모형을 만들 수 있는 장점이 있다.

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The Occurrence and Origin of a Syn-collisional Mélange in Timor (티모르섬 충돌 동시성 멜란지의 산상 및 기원)

  • Park, Seung-Ik;Koh, Hee Jae;Kim, Sung Won;Kihm, You Hong
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.47 no.1
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    • pp.1-15
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    • 2014
  • The Bobonaro m$\acute{e}$lange is one of the youngest syn-collisional m$\acute{e}$langes, located between the Indo-Australian and Eurasian plates. The m$\acute{e}$lange has formed in association with a collision between the Australian continental margin and the Banda arc initiated in Neogene. The Suai area at the southern part of Timor is a good place to examine the genetic relationship between the m$\acute{e}$lange and other rock sequences because various tectonostratigraphic units coexist in the area. In this study, we present the structural characteristics and spatial distribution of the Bobonaro m$\acute{e}$lange investigated as a part of 1:25K scale geologic mapping in the area, and discuss on the origin of the m$\acute{e}$lange. The Bobonaro m$\acute{e}$lange in the Suai area is composed of unmetamorphosed clay matrix and blocks of various lithologies. The clay matrix mainly is reddish brown or greenish gray in colour, and has scaly texture. Most blocks are allochthonous, but mostly derived from nearby formations. Based on the internal structure and relationship with surrounding rocks, the Bobonaro m$\acute{e}$lange is genetically classified into 1) diapiric m$\acute{e}$lange; 2) tectonic m$\acute{e}$lange; and 3) broken formation. The spatial distribution of the Bobonaro m$\acute{e}$lange indicates that it intruded all pre-collisional units including the lower Australian continental margin unit(Gondwana megasequence) and the Banda arc unit. Taking the field evidences and previous genetic models into consideration, the Bobonaro m$\acute{e}$lange is interpreted to be mainly formed as a diapiric m$\acute{e}$lange originated from Gondwana megasequence, consistently effected by faulting events. This study reflects that diapiric m$\acute{e}$lange is a significant component in recent accretionay-collision belts. It suggests that diapiric process should be considered as a main genetic factor even in ancient m$\acute{e}$lange.

Area-Averaged Solution of Peening Residual Stress Using a 3D Multi-impact Symmetry-cell FE Model with Plastic Shots (소성숏이 포함된 3차원 다중충돌 대칭-셀 해석모델을 이용한 면적평균 피닝잔류응력해)

  • Kim, Tae-Hyung;Lee, Hyung-Yil
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.33 no.4
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    • pp.310-320
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    • 2009
  • In this paper, we estimate area-averaged solution of peening residual stress using a 3-D multi-impact symmetry-cell FE model. The symmetry-cell model includes factors reflecting peening phenomena and plastic shot. Area-averaged solution is much closer to XRD experimental solution than 4-node-averaged solution in plastic shot FE model. We then obtain FE Almen saturation curve corresponding to experimental Almen curve based on area-averaged solution. Using the curve, we obtain FE area-averaged solution in major peening materials, and compare the FE solution with experimental solution. In peening materials, surface, maximum compressive residual stress and deformation depth reach experimental solutions. Thus, FE Almen curve is useful for estimation of residual stress solution and could improve the efficiency of peening process. Consequently, it is confirmed that concept of area-averaged solution is the realistic analytical method for evaluation of peening residual stress.

Characteristics of Fuel Mixing and Evaporation Based on Impingement Plate Shape in a Denitrification NOx System with a Secondary Injection Unit (2차 분사시스템을 갖는 De-NOx 시스템의 충돌판 형상에 따른 연료의 혼합 및 증발 특성 향상을 위한 연구)

  • Park, Sangki;Oh, Jungmo
    • Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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    • v.22 no.7
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    • pp.884-891
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    • 2016
  • A secondary injection system in a diesel engine has benefits: it can be controlled independently without interrupting engine control, it can be adapted to various layouts for exhaust systems, and it pose no reductant dilution problems compared to post injection systems in the combustion chamber or other supplemental reductant injections. In a secondary injection system, the efficiency of the catalyst depends on the method of reducing the supply. The reductant needs to be maintained and optimized with constant pressure, the positions and angles of injector is a very important factor. The concentration and amount of reductant can be changed by adjusting secondary injection conditions. However, secondary injection is highly dependent upon the type of injector, injection pressure, atomization, spray technology, etc. Therefore, it is necessary to establish injection conditions the spray characteristics must be well-understood, such as spray penetration, sauter mean diameter, spray angle, injection quantity, etc. Uniform distribution of the reductant corresponding to the maximum NOx reduction in the DeNOx catalyst system must also assured. With this goal in mind, the spray characteristics and impingement plate types of a secondary injector were analyzed using visualization and digital image processing techniques.

Observation of spontaneous oscillation of optogalvanic signal in a hollow cathode discharge (Hollow cathode discharge에서 자발적 진동의 광검류 신호 측정)

  • 이준회
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.12 no.1
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    • pp.51-54
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    • 2003
  • The spontaneous oscillations in the optogalvanic signals are observed in negative glow region of Ar hollow cathode discharge. The spontaneous oscillations in the optogalvanic signals are observed at low discharge currents less than about 3 mA. Based on the simultaneous measurements of both the density variation of metastable atoms and emission intensities of the 1s-2p transitions, one of the possible mechanisms for the spontaneous oscillation is considered to be related to the stepwise ionization of the metastable atoms due to collisions with slow electrons in the discharge.

A Numerical Study on Quantification of Combustion-Response Parameters of Impinging-Jet Injectors using Time-Lag Model (시간지연 모델을 이용한 충돌형 분사기의 연소응답 인자 도출 및 정량화에 관한 수치해석적 연구)

  • Son, Jin Woo;Kim, Chul Jin;Sohn, Chae Hoon
    • 한국연소학회:학술대회논문집
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    • 2012.11a
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    • pp.5-7
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    • 2012
  • This study presents relations between the time lag and interaction index of the impinging-jet injectors using time lag model in a model chamber. To analyze the response of the flame, 5% amplitude of oxidizer velocity is artificially perturbed at a resonance frequency. At the mixing point of fuel and oxidizer, which determines the characteristic length, the relationship between velocity perturbation and heat release rate is quantified by combustion parameters of interaction index and time lag. As the improved method to apply the time-lag, the method using the average velocity obtained from numerical results is suggested.

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