Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.410-410
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2010
한TFT-LCD, Solar cell, 반도체 등에 사용되는 Si 박막은 주로 PECVD로 형성한다. 이 때 사용되는 원료 가스로 $SiH_4$가 있으며 대개 $H_2$로 희석해서 사용한다. 저온 증착의 경우 전자 충돌 해리과정을 이용하여 증착이 이루어지며 이 때 중간 생성물로 $SiH_3$, $SiH_2$와 고차유도체($Si_xH_y$)가 생성된다. 고밀도 플라즈마를 이용하는 경우에는 이들의 이온(양, 음)의 비율도 막질 형성에 중요한 요소가 된다. 본 발표에서는 안테나가 외부 및 내부에 있는 경우에 대해서 모델링하였으며 해리된 유도체의 비율은 $SiH_3$ > $SiH_2$의 순서였고 가스 조성비(수소 희석비), U-type 내장형 안테나와 기판 사이의 거리, 챔버 내의 펌핑 포트의 위치 등에 의한 차이가 플라즈마 온도 및 밀도의 균일도에 미치는 영향을 분석하였다. 수치 모델상의 가장 중요한 변수의 하나인 이온, 라디칼의 표면 재결합 상수는 문헌에서 보고된 값을 구하기 어려운 경우에는 가장 실제와 근접한 경향이 나타나는 값을 사용하였다. 이 부분은 분자 동력학 등의 기법을 이용하여 보다 상세한 데이터를 만들어 낼 수 있는 방법의 적용이 필요하다. 기본적인 $SiH_4$의 화학 반응식은 이원기[1]등의 데이터를 이용하였다. 계산 결과 중의 특이한 점의 하나는 고차 유도체인 $Si_2H_4$의 경우 중성보다 오히려 양이온의 밀도가 1 order이상 높았다. 내장형 Y-type 안테나의 경우 전력 흡수 밀도가 $10^7\;W/m^3$ 수준으로 높은 영역이 안테나 주변으로 나타났으며 안테나와 기판 사이의 거리와 압력에 따라서 기판에서의 균일도가 결정 되었다.
Sediment abrasion in rivers is caused by the interaction between bedrock channel bed and sediment particles transported through the river. Abrasion rate of sediment particles in rivers is controlled by two major factors; Sediment transport conditions including hydraulic conditions form the erosive forces and physical and chemical strengths of the particles form a resistance force against abrasion and other erosional processes. Physical experiments were performed to find the role of each variable on sediment abrasion process. Total 266 sediment particles were used in this experiment. All sediment particles were divided into 11 independent sediment groups with sediment particle size and sediment loads. Each sediment groups were abraded in tumbling mill for up to 8 hours. Changes in weight were recorded by run and total: 2,128 cases of abrasion rate were recoded. Physical strength of rock particles was measured with point load strength index. It is found that sediment abrasion rate has a negative functional relationship point load strength index ($I_{a(50)}$) ($R^2=0.22$). It was suggested that physical strength of sediment particles set the "maximum possible abrasion rate'. As sediment flux increases, abrasion rates of sediment particles with similar point load strength index were changed. It could be concluded that not only physical characteristics of sediment particles, but also sediment transport conditions control sediment abrasion rates.
Crash Cushion is a kind of safety facilities on roadside which acts the role of absorbing impact energy when vehicles are driven out of normal route such as Gore area of freeway off ramp. Criteria for severity index considering accident occurrence possibility are needed to have strong effect on installing the facilities. However, present criteria for establishing crash cushion design do not include such processes. Therefore, the paper presents two kinds of study to develop criteria for severity index. First of all, development of accident forecasting model on freeway off ramp is presented. The module is a relationship between accidents and road environment by negative binomial distribution (NB) which is called to reflect very well quality of accidents at Gore of crash cushion installed freeway Secondly, freeway exiting behavior model is developed because the human factor is the most important one. However, many literatures have shown between road environment and accidents which are more quantitative than human factor. The study supposed advanced process steps on actual freeway and analysed correlation between variables and accidents. The criteria for severity index is presented to determine whether to install or not by benefit cost analysis for each module. The standard for severity index will help to determine whether to install the crash cushion or not and to estimate severity for freeway and off ramp.
Park, Yong-Tae;No, Seung-Guk;Kim, In-Chan;O, Hyeong-Rok
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.08a
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pp.96-96
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2012
복합분자펌프는 기존의 터보분자펌프 turbine blade에 spiral grooved를 추가하여 초고진공(10-8Pa)에서 저진공(330Pa)까지 넓은 압력범위에서 사용할 수 있고 이 펌프를 사용함으로서 완전 oil free한 진공시스템을 만들 수 있는 특징을 가지고 있다. 특히, 회전체를 비접촉으로 지지하는 자기베어링 방식을 적용함으로써, 진동은 극히 작고 베어링수명은 길면서 중저진공에 대한 배기속도가 크고 임의의 방향으로 접속이 가능하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정과 같은 첨단산업의 다양한 분야에 쉽게 적용되고 있으며, 그 적용 분야와 시장은 계속 성장하고 있다. 고 진공과 배기 속도의 달성을 위해서, 고속으로 이동하는 격면과 기체분자를 충돌시켜, 기체 분자를 원하는 방향으로 유도하는 작동원리를 가지고 있다. 특히 공기분자의 밀도가 매우 낮은 희박가스 상태에서 고속 회전하는 blade로 공기분자를 쳐내면서 작동됨으로써 날개의 상하 압력차에 의한 공기력보다도 날개의 고속회전이 매우 중요시되고 압력으로는 10-1 Pa 이하의 분자영역에서 그 성능을 최고로 발휘할 수 있다. 이러한 복합 펌프의 주요 장점은 다음과 같다. 1. 10-8 Pa (10-10 torr) ~ 10 Pa (1 torr) 까지 넓은 영역에서 배기가 가능하다. 2. 탄화수계의 대하여 높은 압축특성을 가지고 있고, 윤활유를 사용하지 않으므로 얻을 수 있는 진공상태가 고청정하다(oil free). 3. 정밀 5축제어 자기베어링으로 완전히 부상하여 회전함으로서 마모가 없고 진동이 최소화하였을 뿐 만 아니라, 또한 운전음도 거의 없다. 4. 설치조건에 제한이 없고 고장이 거의 없다. 특히 복합분자펌프는 탄화수소화합물이 없는 진공을 생성시키면서 구성요소가 간단한 반면 폭넓은 진공대역을 충족하기 때문에 산업계와 연구계의 주요 첨단 분야에서 광범위하게 사용되고 있으며, 최근 반도체 및 디스플레이, 바이오엔지니어링 등의 발전으로 적용분야가 넓어지고 있다.
Motiongraphics is not short film and has a special communication method characteristic of design. As graphic design needs space-composition, motiongraphics requires time-composition. In the 1920's, artists belonged Bauhaus in Germany tried to realize time-composition in the plans for abstract animation. At that time the russian film director Eisenstein experimented with moving image composit on, creating new meanings through the montage of heterogeneous images. In the digital era of today, motiongraphics is composed of such various elements as moving image, photo, illustration, typography, etc. The editing in montage film is one-dimensional. Meanwhile, motiongraphics of these days consists of a lot of layers, composing various elements by editing. Motiongraphics needs time structure and visual rhythm as well as scenario or storyboard for time composition. The principle of time composition in motiongraphics ist similar to that of musical composition. If we compare the time composition of abstract animation or montage film with the melody in a solo, time composition for motiongraphicf is like a symphony. Various composing elements are developed under different tempos at the same time.
Hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films were deposited by ECR-PECVD (electron cyclotron resonance-plasma enhanced chemical vapor deposition) method with deposition conditions such as ECR plasma source power, gas composition of methane and hydrogen, deposition time and substrate bias voltage. The hydrogen content in the films has been measured by ERDA (elastic recoil detection analysis) using 2.5 MeV $He^{++}$ ion beam. From the results of AES (Auger electron spectroscopy), RBS (Rutherford backscattering spectrometry) and ERDA, the composition elements of deposited film were confirmed the carbon atom and the hydrogen atom. It was observed by FTIR (Fourier transform infrared) that the hydrogen contents in the film varied according to the deposition conditions. In deposition condition of substrate bias voltage, the hydrogen contents were decreased remarkably because the amount of dehydrogenation in films was increased as the substrate bias voltage increased. In the rest deposition conditions, the hydrogen contents in the film were measured in the range 45~55%.
Park, Yong-Tae;No, Seung-Guk;Kim, In-Chan;O, Hyeong-Rok
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.08a
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pp.88-88
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2011
복합분자펌프는 기존의 터보분자펌프 turbine blade에 spiral grooved를 추가하여 초고진공(10-8 Pa)에서 저진공(330Pa)까지 넓은 압력범위에서 사용할 수 있고 이 펌프를 사용함으로서 완전 oil free한 진공시스템을 만들 수 있는 특징을 가지고 있다. 특히, 회전체를 비접촉으로 지지하는 자기베어링 방식을 적용함으로써, 진동은 극히 작고 베어링수명은 길면서 중저진공에 대한 배기속도가 크고 임의의 방향으로 접속이 가능하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정과 같은 첨단산업의 다양한 분야에 쉽게 적용되고 있으며, 그 적용 분야와 시장은 계속 성장하고 있다. 고 진공과 배기 속도의 달성을 위해서, 고속으로 이동하는 격면과 기체분자를 충돌시켜, 기체 분자를 원하는 방향으로 유도하는 작동원리를 가지고 있다. 특히 공기분자의 밀도가 매우 낮은 희박가스 상태에서 고속 회전하는 blade로 공기분자를 쳐 내면서 작동됨으로써 날개의 상하 압력차에 의한 공기력보다도 날개의 고속회전이 매우 중요시 되고 압력으로는 10-1 Pa 이하의 분자영역에서 그 성능을 최고로 발휘 할 수 있다. 이러한 복합 펌프의 주요 장점은 다음과 같다. 1. 10-8 Pa (10-10torr)~10 Pa (1 torr) 까지 넓은 영역에서 배기가 가능하다. 2. 탄화수계의 대하여 높은 압축특성을 가지고 있고, 윤활유를 사용하지 않으므로 얻을 수 있는 진공상태가 고청정하다(oil free). 3. 정밀 5축제어 자기베어링으로 완전히 부상하여 회전함으로서 마모가 없고 진동이 최소화하였을 뿐만 아니라, 또한 운전음도 거의 없다. 4. 설치조건에 제한이 없고 고장이 거의 없다. 본 논문에서는 이러한 복합분자펌프의 개발을 위하여, 상기 연구기관에서 수행된 내용을 소개하고 있으며, 펌프 시스템의 기본 설계 및 자기베어링 시스템의 설계 결과 및 수치해석 결과를 나타내었다.
과거 8년간의(1985-1992) 통계에 의하면 정면과 측면 충돌시 구속 시스텡의 하나인 Airbag장착 차량의 사망자 및 중상자 수가 현저히 감소하고 있는 것으로 나타나고있다. 그 러나 최근 소비자로 부터의 Airbag에 관한 불만을 보고 받고 있다. 즉 구속효과를 발휘함에 있어 부수적으로 인체 부상을 유발하고 있다는 것이다. 사망내지는 심각한 부상은 방지하고 있으나 경미한 부상은 오히려 증가하고 또한 신체가 적은 여성 운전자나 6세 이하의 어린이 에게는 심각한 부상의 우려가 있다는 것이다. 본 연구에서는 구속시스템의 총아인 Airbag 시스템의 심각한 부수적인 부상 보고를 입증하기 위하여 우리나라 어린이 6세 신체를 기준 으로하여 구속시스템을 착용하지 않았을 경우(실제로 많은 경우), seat belt만 착용시, Airbag만 작용시, 그리고 seat belt와 Airbag을 동시에 사용할 때를 컴퓨터 Simulation Package 이용 신체 dynamic을 모의실험 하였다. 실험결과, 기존에 알려진바와 같이 구속시스템을 사용하지 않았을 경우에 부상은 매우 컸다. 신체 사이즈가 작은 어린이 혹은 여성 운전자의 경우 Seat belt만을 사용한 경우는 Airbag만을 사용한 경우보다는 부상정도가 약간 경미하였으나 두 경우 모두 인체가 구속시스템의 구속 범위를 이탈하여 구속 시스템으로써의 역할을 충분히 하지 못하고 있었다. 특히 Seat belt와 Airbag을 동시에 사용하였을시에도 Airbag이 충분히 개선된 이후라도 신체 사이즈가 작은 경우에는 흉부부위에 의한 충격 흡수가 먼저 이루어지지 못하고, 머리에 먼저 Airbag이 접촉이 되어 충격 흡수 역할보다는 반동효과가 더 커서 머리 및 몸체가 뒤로 Rebound 하는 효과로 머리, 혹은 목의 신체 부상한계를 넘고 있어 큰 부상 내지는 사망에 이르고 있음을 알 수 있었다. 사료된다.의 결과는 자전거 에르고노미터의 결과가 트레드밀의 결과에 87.60%정도 나타났다.음을 관찰하였다. 특히 vitamin C와 E의 병용투여는 상승적으로 적용하여 간세포손상을 더욱 억제시킴을 알 수 있었다.mance and on TFP(Total Factor Productivity) growth which is a pure measure of firm performance. To utilize the advantage of panel data, FEM(Fixed Effect Model) and REM(Random Effect Model) were used. The empirical result shows that the entropy index as a measurement of inter-business relatedness is not significant but technological relatedness index is significant. OLS estimates on pooled data were considerably different from FEM or REM estimates on panel data. By introducing interaction effect among the three variables for business portfolio properties, we obtained three findings. First, only VI (Vertical integration) has a significant positive correlation with ROS. Second, when using TFP growth as an dependent variable, both TR(Technological Relatedness) and f[ are significant and positively rel
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2017.05a
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pp.407-409
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2017
Many traditional retailers are losing money due to loss and accidents in managing their carts. Therefore, we intend to solve these problems by installing a raspberry pie with various functions in order to efficiently manage the cart. First, use ultrasonic sensors to measure the distance between the cart and the object, use vibration sensors to vary the number of vibration sensors, change the number of vibrations to the user, and use Beacon to transmit the cart in real time. It also contributes to consumers' spending patterns and revenue generation by identifying consumers' consumption patterns. Problems with lost are also resolved by issuing an audible warning (outside of Mart) if a distance is removed (outside of Mart).
Park, Yong-Tae;Nam, U-Ho;No, Seung-Guk;Kim, In-Chan;No, Gyeong-Tae
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.08a
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pp.19-19
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2010
복합분자펌프는 기존의 터보분자펌프 turbine blade에 spiral grooved를 추가하여 초고진공 ($10^{-8}Pa$)에서 저진공(330Pa)까지 넓은 압력범위에서 사용할 수 있고 이 펌프를 사용함으로서 완전 oil free한 진공시스템을 만들 수 있는 특징을 가지고 있다. 특히, 회전체를 비접촉으로 지지하는 자기베어링 방식을 적용함으로써, 진동은 극히 작고 베어링수명은 길면서 중저진공에 대한 배기속도가 크고 임의의 방향으로 접속이 가능하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정과 같은 첨단산업의 다양한 분야에 쉽게 적용되고 있으며, 그 적용 분야와 시장은 계속 성장하고 있다. 고 진공과 배기 속도의 달성을 위해서, 고속으로 이동하는 격면과 기체분자를 충돌시켜, 기체 분자를 원하는 방향으로 유도하는 작동원리를 가지고 있다. 특히 공기분자의 밀도가 매우 낮은 희박가스 상태에서 고속 회전하는 blade로 공기분자를 쳐내면서 작동됨으로써 날개의 상하 압력차에 의한 공기력보다도 날개의 고속회전이 매우 중요시되고 압력으로는 $10^{-1}Pa$ 이하의 분자 영역에서 그 성능을 최고로 발휘할 수 있다. 이러한 복합 펌프의 주요 장점은 다음과 같다. 1. $10^{-8}\;Pa$($10^{-10}torr$)~10 Pa(1 torr) 까지 넓은 영역에서 배기가 가능하다. 2. 탄화수계의 대하여 높은 압축특성을 가지고 있고, 윤활유를 사용하지 않으므로 얻을 수 있는 진공상태가 고청정하다. (oil free) 3. 정밀 5축제어 자기베어링으로 완전히 부상하여 회전함으로서 마모가 없고 진동이 최소화 하였을 뿐 만 아니라, 또한 운전음도 거의 없다. 4. 설치조건에 제한이 없고 고장이 거의 없다. 본 논문에서는 이러한 복합분자펌프의 개발을 위하여, 상기 연구기관에서 수행된 내용을 소개하고 이으며, 진공펌프 블레이트 로터 회전체를 포함한 구조설계 및 해석결과와 5자유도 자기베어링 시스템을 이용한 기본 구동 결과를 나타내었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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