Effects of Substrate-Grounding and the Sputtering Current on $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ Thin-Film Growth by Sputtering in High Gas Pressures
(고압 스터터링 방법으로 $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ 박막을 제조할 때 기판의 접지 여부와 인가전류의 양이 박막 성장에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.4 no.1
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- pp.40-45
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- 1995