• Title/Summary/Keyword: 초정밀 미세가공기

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A Study of Micro Machining Using Ultra Precision Machine (초정밀 가공기 제작을 통한 미세가공에 관한 연구)

  • 김석원;김상기;정우섭;이채문;이득우
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.10a
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    • pp.97-100
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    • 2004

  • In recent years, a demand for micro-structure machining is increasing by the development of information and optics industries. Micro machining technology is in general well known in the field of lithograghy. However, the requirement of producing micro machine and/or micro mechanism with metal materials will be increased since a variety of workpiece configurations can be easily made. In this paper, ultra precision machine is developed to obtain micro groove and mirror surface using single crystal diamond tool. According to the cutting experiment, no burr was found at the edge of V-grooves, and the surface roughness of copper is about 1～3nm Ra. It is verified that ultra precision machine is effective to high precision machining.

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마이크로 선반에서의 절삭성 평가

  • 김재건;정종운;고태조;김희술
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.256-256
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    • 2004

  • Micro/Meso 기계적 가공은 기존 MEMS 공정에서 제작할 수 없었던 높은 세장비(aspect ratio)를 가지는 제품을 가공할 수 있을 뿐만 아니라 보다 높은 가공 정밀도를 획득할 수 있다. 따라서, 미소 부품에 대한 마이크로/매소 단위의 미세 절삭 가공을 위해서는 공간적 측면과 에너지 소비, 정밀도 측면에서 효율적인 시스템을 구성하기 위해서 마이크로 머시닝 전용 기계가 요구된다. 이에 본 연구에서는 '마이크로 팩토리' 의 기본 공작기계인 마이크로 선반을 개발하여 초정밀 미소 절삭에 대한 연구를 진행 중에 있다.(중략)

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