• Clean Technology
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• v.1 no.1
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• pp.67-79
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• 1995

• Air Cleaning Technology
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• v.33 no.2
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• pp.17-27
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• 2020

• Air Cleaning Technology
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• v.33 no.2
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• pp.10-16
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• 2020

• Air Cleaning Technology
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• v.33 no.1
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• pp.8-22
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• 2020

• Air Cleaning Technology
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• v.33 no.4
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• pp.1-8
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• 2020

• Air Cleaning Technology
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• v.33 no.4
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• pp.9-16
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• 2020

• Air Cleaning Technology
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• v.33 no.4
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• pp.17-31
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• 2020

• Air Cleaning Technology
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• v.33 no.4
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• pp.38-47
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• 2020

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.295-295
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• 2012

본 연구에서는 아크방전을 이용한 질화 티타늄의 합성 과정 중에서, 시편 청정 공정변수를 변화시킴에 따라 계면에서의 미세조직 변화와 코팅층의 물성을 평가하였다. 아크 소스에 장착된 타겟은 $120mm{\Phi}$, 99.5 %의 티타늄 타겟을 사용 하였고, 시편과 타겟 간의 거리는 약 30 cm이며, 시편은 SUS를 사용하였다. 시편을 진공용기에 장착하고 진공배기를 실시한 후 Ar 가스 분위기에서 시편에 전압을 인가한 후 아크를 발생시켜 약 5분간 시편 청정을 실시하였다. 이 시편 청정 과정에서 시편 인가전압을 0~1,000 V로 변화시켰고 시편 정청이 끝나면 시편에 인가된 전압을 차단하고 코팅하였다. 질화 티타늄의 두께는 약 $3{\mu}m$로 동일하게 코팅하였다. 시편 인가전압 변화에 따라 시편청정 공정 시 계면에서 티타늄층이 코팅되거나 모재 내부까지 침투하는 현상을 관찰하였다. 시편청정 공정변수 변화에 따른 질화 티타늄의 코팅을 통해 계면의 미세조직과 성분의 변화를 주사전자현미경, 투과전자현미경 이미지와 에너지 분산분광기 (Energy Dispersive Spectroscopy ; EDS)를 통해 확인하였으며 나노인덴터를 이용해 경도, 탄성계수 등의 물성변화를 측정하였다. 본 연구에서 얻어진 결과를 이용하여 시편 청정 공정 제어를 통한 다양한 물성변화가 가능 할 것으로 예상된다.

• Clean Technology
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• v.9 no.3
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• pp.145-151
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• 2003

This study shows the evaluation and consulting for pollution prevention of dye production by cleaner production methodology. Especially, this study intended to investigate the methods for reduction of process water and recovery of organic solvent (DMF), and to modify the process for higher qualified products in the acid dye production by cleaner production methodology. This methodology, consisting of 7 sequential phases (business leadership decision to start, problem definition, evaluation of the screened options, option selection for implementation, implementation, monitoring and sustainable implementation), is based on initial developments in the USA and Western Europe. Reduction of process water over 25%, recovery of DMF and solubility enhancement of acid dye over 2 times were achieved.