• 제목/요약/키워드: 집적 광학

검색결과 300건 처리시간 0.022초

전기광학폴리머 변조기틀 이용한 집적광학적 RF 위상변환기 (Integrated Photonic RF Phase Shifter Using an Electrooptic Polymer Modulator)

  • 이상신
    • 한국광학회지
    • /
    • 제15권3호
    • /
    • pp.274-277
    • /
    • 2004

  • 본 논문에서는 두 개의 중첩된 Mach-Zehnder 구조의 변조기를 이용한 집적광학형 RF 위상변환기를 제안하고, 새로운 전기광학폴리머를 이용하여 제작하였다. 구현된 소자는 RF신호의 위상을 전압에 의하여 연속적으로 제어할 수 있는 특징을 갖는다. 본 논문에서는 16 GHz RF신호의 경우에 대해, 7.8 $V_{pp}$ 제어 전압을 인가하여 약 108$^{\circ}$범위에서 RF신호의 위상을 거의 선형적으로 변환시킬 수 있었다.다.

  • https://doi.org/10.3807/KJOP.2004.15.3.274 인용 PDF KSCI

리소그래피와 광학계 (Optical Systems in Lithography Tool)

  • 곽창수;정해빈
    • 한국광학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
    • /
    • pp.76-77
    • /
    • 2001

  • 리소그래피 공정은 반도체 공정에 있어서 그 선폭과 집적도를 결정짓는 핵심 공정이다 이러한 리소그래피 공정 중 만들고자 하는 패턴을 사진전사에 의해서 형성해주는 도구인 노광장비는 광학계, 스테이지계, 제어계로 구성되는 데, 여기에서는 이 중에서 광학계를 중심으로 노광장비를 설명한다. 노광장비의 기본적인 형태는 그 사용되는 광학계에 파라서 결정되는데, 크게 나누어서 밀착 노광 방식과 투영 노광 방식이 있다. (중략)

  • PDF

특성행렬을 이용한 비선형 집적거울 Etalon의 해석 (Analysis of a Nonlinear Integrated-Mirror Etalon by the Characteristic Matrix Method)

  • 김덕봉
    • 한국광학회지
    • /
    • 제4권3호
    • /
    • pp.317-322
    • /
    • 1993

  • 본 논문에서는 특성행렬을 사용하여 비선형 집적거울 etalon의 입출력 특성을 해석하는 방법을 제시한다. 빛의 세기에 따른 매질의 굴절률 및 흡수율의 변화 특성을 알면, 관계식과 특성행렬식을 결합하여 집적거울 etalon의 비선형 특성을 해석할 수 있다. 이 방법은 파장에 따른 각 거울의 반사율(크기와 위상)을 일일이 구하지 않고, etalon의 구조가 주어지면 바로 임의의 파장에서의 etalon의 입출력 특성을 해석할 수 있다. 또한, 특성행렬식을 이용하여 비선형 집적거울 etalon에서의 쌍안정성을 보였다.

  • PDF