• 제목/요약/키워드: 질화티탄

검색결과 4건 처리시간 0.017초

아크이온플레이팅에 의한 질화 티탄-크롬의 박막특성 평가 (Evaluation for Thin Films Characteristics of Nitride Titanium-Chromium using Arc Ion Plating)

  • 후지타 카즈히사;양영준
    • 한국기계가공학회지
    • /
    • 제10권4호
    • /
    • pp.96-101
    • /
    • 2011
  • The thin films of TiN have been used extensively as wear-resistant materials, for instance, such as tools of high-speed cutting, metal mold forming etc. In these days, because the thin films capable of being used more severe conditions are needed, the technologies of arc ion plating are tried to improve its characteristics. The purpose of this study is to investigate the characteristics of thin films of (Ti,Cr)N compared with those of TiN. The method of arc ion plating, which is known as showing good tight-adherence and productivity, was used. After manufacturing thin films of ($Ti_{1-x}Cr_{x}$)N (x=0~1) with change of Cr in (Ti,Cr) target, atomic concentration, structure, size of crystallite, residual stress and surface roughness of thin films on substrate were investigated. As the results, it was confirmed that Cr atomic concentrations of thin films were proportionally changed with Cr atomic concentrations of target, and thin films of ($Ti_{1-x}Cr_{x}$)N (x=0~1) showed NaCl type and CrN existed as solid solution to TiN.

Polyimide 기판을 이용한 CVD-Cu 박막 형성기술 (Formation of CVD-Cu Thin Films on Polyimide Substrate)

  • 조남인;임종설;설용태
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제1권1호
    • /
    • pp.37-42
    • /
    • 2000
  • 유기금속 화학기상증착기술에 의해 폴리이미드 기판과 질화티탄 기판 위에 구리박막을 형성하였다. 구리박막을 화학기상증착기술에 의해 형성하면 종래의 물리적증착기술에 비하여 증착속도가 빠르고 층덮힘 성질이 좋아 산업체의 제품생산 응용에서 많은 장점이 있다. 이 장점은 제품의 생산성과 신뢰성에 영향을 미친다. 기판의 온도와 구리전구체 증기압력 조건을 변화시키며 반복실험을 실시하였으며, 시편에 따라서는 전기적 성질 향상을 위하여 후속 열처리를 수행하였다. 형성된 구리박막의 미세구조는 전자현미경으로 관찰하였으며, 전기비저항은 4점 프로브를 이용하여 측정하였다. 질화티탄을 기판으로 사용한 경우 구리박막에서는 섭씨 180도의 기판온도에서 만들어진 시편에서 가장 좋은 전기적 성질이 측정되었다. 한편, 폴리이미드 기판을 사용한 경우, 기상과 액상의 혼합상태 전구체를 이용하여 250 nm/min의 매우 높은 증착속도를 얻을 수 있었다.

  • PDF

물리적 증착 방법에 의한 TiC, TiN코팅에 따른 자동차 구조용 재료의 트라이볼로지 특성 (Tribological Characteristics of TiC, TiN Coating for PVD Method with Automotive structural Materials)

  • 오성모
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제8권3호
    • /
    • pp.432-436
    • /
    • 2007
  • 자동차 구조용 재료에 대하여 물리적 증착 코팅방법에 의한 트라이볼로지 특성을 연구 하였다. 코팅 재료는 탄화티탄(TiC)과 질화티탄(TiN)이다. 실험은 펠렉스 마찰 마모시험기를 이용하여 하중과 온도에 다양한 조건을 적용하여 마찰과 마모 거동에 대하여 트라이볼로지 특성을 결정하고 평가하였다. 연구결과 코팅하지 않았을 때보다 코팅하였을 때가 윤활 특성이 향상 되었고, 특히 내마모성 및 극압성 그리고 열 안정성이 훌륭하였다.

  • PDF

SCM440의 선삭가공시 CBN공구와 CBN코팅공구의 절삭특성 비교 (Cutting Characteristics Comparison between CBN and Coated CBN Tools in Turning SCM440)

  • 방홍인;신형곤;오성훈;김태영
    • 한국기계기술학회지
    • /
    • 제13권3호
    • /
    • pp.31-37
    • /
    • 2011
  • The purpose of this study is to investigate cutting characteristics and wear behavior in SCM440 steel with different cutting tools, CBN(Cubic Boron Nitride) and coated CBN. During the test coated CBN tool especially with TiAlN showed better wear resistance behavior than orginal CBN tools. In the interrupted cutting condition, axial groove affected tool surface with impact force during the turning operation. For advantageous turning parameter in the interrupted process it is recommendable that lower speed. Also surface roughness showed better behavior in the coated CBN tool conditions than normal CBN conditions. Mainly this is caused by reduced friction between material and tool surface with coated layer.