• 제목/요약/키워드: 질의 분해

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도시텃밭의 분포 및 이용 특성 - 대구광역시 시지지역을 사례로 - (The Distribution and Characteristics of Use of Urban Farms - A Case Study of the Siji Region in Daegu Metropolitan City -)

  • 남태호;정태열
    • 한국조경학회지
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    • 제42권6호
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    • pp.1-9
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    • 2014
  • 도시 내 유휴지 및 하천, 도로변과 같은 공공시설부지는 오랫동안 도시민에게 도시농업 공간(텃밭)을 제공해 왔다. 그러나 유휴지와 공공시설부지에서 이루어지는 대부분의 경작은 불법이어서 텃밭 이용자와 토지소유자 그리고 공공시설 관리자간의 갈등을 유발하고, 도시경관의 질 저하, 환경오염, 공공시설물 훼손 등의 문제를 야기하고 있는 실정이다. 따라서 본 연구는 도시 내 공공시설부지 등에서 무단으로 경작되는 도시농업을 양성화할 수 있는 방안 제시를 목적으로 도시지역에 다양한 형태로 산재한 텃밭의 분포 및 이용 실태를 조사 분석하였다. 조사는 대구광역시 시지지역을 사례지로 선정하여 현장 조사, 텃밭 이용자 및 주말농장 운영기관 담당자와의 면담을 통해 이루어졌다. 연구 결과, 도시텃밭은 접근이 쉬운 주택가 인근의 개발이 제한된 녹지지역에 주로 분포했으며, 주거지에 인접할수록 텃밭의 분포수가 증가하는 것으로 나타났다. 토지이용 유형별로는 농경지에 분포하는 텃밭의 비율이 월등히 높았으나, 도로, 하천 등 공공시설부지에 분포하는 비율도 농경지의 3분의 1을 상회하였다. 텃밭을 경작하는 사람들 중 개인 소유 토지를 무임 경작하는 사람들의 비율이 가장 높았고, 국 공유지 무단경작 비율이 다음으로 높았다. 도시 내 유휴지와 하천, 도로, 철도 등 공공시설이 위치하는 국 공유지를 텃밭으로 무임, 무단 경작하는 사람들 대부분은 노인으로 나타나, 노인 여가 공간으로서의 도시텃밭의 잠재력을 확인할 수 있었다. 본 연구는 조사대상지가 특정 지역에 국한된 점, 텃밭의 규모를 실측하지 못한 점 등의 한계가 있으나, 도시텃밭의 분포 및 이용 특성을 파악하여 불법으로 경작되는 도시농업의 양성화 및 제도적 수용 필요성을 제기했다는 데, 그 의의가 있다고 생각된다.

선천성 심장기형의 수술 후 Histidine-tryptophan-ketoglutarate 심정지액과 혈성 심정지액의 전자현미경적 심근 구조의 비교 관찰 (Histidine-tryptophan-ketoglutarate Versus Blood Cardioplegic Solutions: A Prospective, Myocardial Ultrastructural Study)

  • 김시호;이영석;우종수;성시찬;최필조;조광조;방정희;노미숙
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제40권1호
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    • pp.8-16
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    • 2007
  • 배경: 선천성 심장기형의 수술적 교정 시, Histidine-Tryptophan-Ketoglutarate (HTK) 심정지액과 혈성심정지액의 심근 보호에 관한 비교를 위해 술 후 심근에 대한 전자현미경적 고찰을 시행하였다. 대상 및 벙법: 개심술을 계획하고 있는 선천성 심기형 환아 22명의 환자를 대상으로 하였고 이들은 무작위로 두 집단으로 나누어 전향적으로 연구를 진행하였다. 22명 중 11명(HTK 집단)은 개심술 시 HTK 심정지액을, 다른 11명(혈성 심정지액 집단)은 혈성 심정지액을 사용하였다. 술 중 재관류 30분 후 우심실에서 작은 조직을 채취하여 전자현미경적 관찰을 시행하였다. 전자현미경에 의한 심근 초미세구조에 대한 평가는 무작위 체계적 표본 추출법에 의한 반정량적 평가법을 사용하였다. 1명의 병리조직학자에 의해 사전정보의 제공 없이 시행되었다. 결과: 미토론드리아의 보존 형태에 대한 반정량적 평가는 혈성 심정지액 집단이 $19.65{\pm}4.75$ 그리고 HTK 집단이 $25.25{\pm}5.85$ (p=0.03)였다. 혈성심정지액 집단 중 6명의(54.5%) 환아에서 그리고 HTK 집단 중 3명(27.3%)에서 3도 이상의 사이질의 부종을 보였다. 결론: 전자현미경적 초미세구조의 보존은 HTK 심정지액이 더 우수한 결과를 보였다. 그러나 임상적 그리고 수술 중의 다양한 요인을 고려한 술 중 심근 보호에 대한 우월성에 대한 비교는 계속적인 관찰과 연구를 요한다.

HeLa세포주에서 Leptomicin B에 의한 Trichostain A의 방사선 감작효과의 증가 (Leptomycin B Increases Radiosensitization by Trichostain A in HeLa Cells)

  • 김인아;김진호;신진희;김일한;김재성;우홍균;지의규;김용호;김보경;홍세미;하성환;박찬일
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제23권2호
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    • pp.116-122
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    • 2005
  • 목적: 히스톤탈아세틸화효소 억제제는 그 자체의 항암효과뿐만 아니라 방사선 감작제로서의 효과가 점차분명해져가고 있다. 최근 Class I 특이적인 히스톤탈아세틸화효소 억제제의 개발로 계층 특이적인(Class specific) 연구가 가능해짐에 따라, 본 연구에서는 서로 다른 히스톤탈아세틸화효소억제제의 방사선감작효과를 비교함과 동시에 p53 발현도의 차이가 히스톤탈아세틸화효소억제제의 방사선 감수성에 미치는 영향을 알아보고자 하였다. 대상 및 방법: 이를 위해 p53 발현도가 매우 낮은 HeLa 세포에 p53의 핵 외 수송을 억제하여 세포질 내 분해를 차단하는 Leptomycin B를 처리하여 p53의 발현도를 현저하게 높인 후, Trichostatin와 SK7041의 방사선 민감도를 비교 관찰하였다. 결과: 세포생존곡선, SER 및 SF2를 비교 분석 시, p53의 발현이 높은 Leptomycin B 처리군에서 Trichostatin A가 Class I HDAC만을 억제하는 SK7041에 비해 유의하게 높은 방사선 감작효과를 나타내었다. 이는 p53이 Class I 특이적 억제제인 SK7041과 Class I과 II를 모두 억제하는 TSA의 방사선감작효과에 미치는 영향의 차이에 기전적으로 관여함을 시사한다. 결론: Leptomycln B에 의해 유도된 p53의 발현증가는 Class I과 Class I과 II를 모두 억제하는 TSA의 방사선 감작효과를 증강시킨다.

$^{137}Cs$ 점선원을 이용한 감쇠 보정기법들의 평가 (Assessment of Attenuation Correction Techniques with a $^{137}Cs$ Point Source)

  • 봉정균;김희중;손혜경;권윤영;박해정;윤미진;이종두;정해조
    • 대한핵의학회지
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    • 제39권1호
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    • pp.57-68
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    • 2005
  • 목적: PET 영상화를 위해 다양한 감쇠 보정 방법들이 $^{137}Cs$ 투과 점선원의 데이터를 처리하는데 있어서 개발되어 왔다. 본 연구의 목적은 뇌 PET 영상을 위해 $^{137}Cs$ 점선원에서 사용하는 감쇠보정 가법들을 평가하는 것이다. 대상 및 방법: 감쇠 보정 기법들을 시험하기 위해, 4가지 종류의 팬텀들이 사용되었다. $^{137}Cs$투과 점선원의 데이터는 팬텀 안에 방출 선원을 주입한 후 획득되었고, 그 뒤로 방출 선원 데이터가 3D 획득 방식으로 획득되었다. 산란 보정은 배후 방사능을 가감하는 방법 (background tail-fitting algorithm)으로 실행되었다. 그리고 나서, 방출 데이터는 각각 측정 감쇠 보정(MAC), 타원형 감쇠 보정(ELAC), 분할 감쇠보정(SAC), 재배치 감쇠보정(RAC)으로 반복적 재구성 방법을 사용하여 재구성되었다. 그런 다음, 재구성된 영상들이 정량적으로 그리고 정성적으로 평가가 되었다. 부가적으로, 정상인에 대해서 평가가 이루어졌는데, 정상인에 대한 재구성 영상은 핵의학 전문의들에 의해서 평가되었다. 또한 가감된 영상들이 비교되었다. 결과: ELAC, SAC, RAC은 원통형 팬텀에 대해 노이즈가 적은 균일한 팬텀 영상을 제공하였다. 반면에, MAC의 결과에서 감쇠맵의 중심 부분에서 세기가 떨어지는 것을 보여주었다. Jaszack과 Hoffman 팬텀들에 대한 재구성 영상은 RAC과 SAC을 각각 적용시 더 좋은 영상 질을 나타냈다. 정상인 대상자의 영상에 있어서 두개골의 감쇠가 두드러졌고, 두개골에 대한 감쇠를 고려하지 않은 감쇠 보정은 뇌 영상들상에서 인공적인 손상이 있는 것처럼 나타났다. 결론: 복잡하고 개선된 감쇠보정 기법들이 정량적 그리고 정성적으로 정확한 뇌 PET영상으로 개선시키는데 있어서 필요하다. 본 연구는 $^{137}Cs$ 투과 선원을 사용하여 이루어지는 감쇠보정법을 이용하는 뇌 PET 영상화 기기들을 개선시키는데 유용할 것으로 사료된다.

코발트실리사이드를 이용한 염료감응형 태양전지 상대전극의 신뢰성 평가 (Reliability of a Cobalt Silicide on Counter Electrodes for Dye Sensitized Solar Cells)

  • 김광배;박태열;송오성
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권4호
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    • pp.1-7
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    • 2017
  • 염료감응형 태양전지 촉매층으로 CoSi의 신뢰성을 확인하기 위해 전자빔증착기를 이용하여 100 nm-Co/300 nm-Si/quartz의 적층구조를 형성하고, $700^{\circ}C$-60분의 진공열처리하여 약 350 nm-CoSi를 형성하였다. 이때 잔류 Co를 제거하기 위해 $80^{\circ}C$-30%의 황산처리를 진행하였다. 또한 비교를 위해 100 nm-Pt/glass 상대전극을 준비하였다. CoSi 상대전극이 채용된 DSSC 소자의 신뢰성을 확인하기 위해 $80^{\circ}C$ 온도조건에서 0, 168, 336, 504, 672, 840시간동안 유지하였다. 이들을 채용한 DSSC 소자의 광전기적 특성을 분석하기 위해 solar simulator와 potentiostat을 이용하였다. CoSi 상대전극의 촉매활성도, 미세구조, 그리고 조성 분석을 확인하기 위해 CV, FE-SEM, FIB-SEM, EDS를 이용하여 분석하였다. 시간에 따른 에너지변환효율 결과, Pt와 CoSi 상대전극 모두 에너지변환효율이 504시간까지는 유지되다가 672시간 경과 후 처음의 50%로 감소하는 특성을 보였다. 촉매활성도 분석 결과, 시간이 지남에 따라 Pt와 CoSi 상대전극 모두 촉매활성도가 감소하여 각각 64%, 57%의 촉매활성도를 보였다. 미세구조 분석 결과, CoSi층은 전해질에 대한 안정성은 우수하였으나, 하부 쿼츠 기판과 CoSi층의 접촉면에 스트레스가 집중되어 국부적으로 크렉이 형성되며, 궁극적으로 ${\mu}m$급의 박리현상을 확인하였다. 따라서 CoSi 상대전극은 실리사이드화 되는 과정에서 잔류응력 때문에 열화가 일어나므로 신뢰성의 확보를 위해서는 이러한 잔류응력의 대책이 필요하였다.

전인적 호스피스간호중재 프로그램이 입원한 호스피스환자의 통증과 불안에 미치는 효과 (Effects of Wholistic Hospice Nursing Intervention Program on Pain and Anxiety for In-patient of Hospice Palliative Care Unit)

  • 최성은;강은실;최화숙
    • 호스피스학술지
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    • 제8권1호
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    • pp.55-67
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    • 2008
  • 목적: 말기환자와 그 가족들은 신체적인 고통뿐 아니라 심리·사회적, 영적 측면에서 전인적인 고통을 겪고 있으므로 이러한 고통을 완화시켜주기 위해서는 간호사, 의사, 성직자, 사회복지사 등의 다학제(multi- discipline) 전문가들과 자원봉사자로 구성된 호스피스 팀에 의해 제공되는 호스피스 간호중재 프로그램의 개발이 필요한 현실이다. 본 연구는 단일군 전․후 유사실험 연구설계로 전인적 호스피스 간호중재 프로그램이 호스피스 병동에 입원한 호스피스 환자의 통증과 상태불안에 미치는 효과를 알아보고자 하였다. 방법: 자료수집은 P시 소재 S병원의 호스피스 병동에 입원한 18세 이상의 환자 27명을 대상으로 2004년 4월 6일부터 2005년 4월 20일까지 구조화된 설문지를 통해 수집하였다. 제공된 전인적 호스피스간호중재 프로그램은 전인적, 다학제적, 개별 및 집단적인 중재형태로 구성되어 있고, 상호협동적인 다학제 전문가팀(간호사, 의사, 성직자, 사회복지사, 무용치료사, 미술치료사, 자원봉사자)이 호스피스 대상자 병실이나 병동에서 매회 120분씩, 총 10회(총1,200분)에 걸쳐 실시한 프로그램이었다. 프로그램 효과를 측정하기 위한 도구로서 통증 척도는 윤영호(1998) 등이 한국형 간이통증 조사지(Korean Version of Brief Pain Inventory, BPI-K)로 개발한 도구 중 일부를 윤매옥(2000)이 사용한 도구, 상태불안 척도로는 Spielberger (1975)의 상태불안 측정도구(State-Anxiety Inventory)를 김정택과 신동균(1978)이 번역하여 사용한 도구를 사용하였다. 자료분석은 수집된 자료를 SPSS/WIN 12.0 프로그램을 이용하여 실수, 백분율, 최대값, 최소값, 평균, 표준편차, Paired t-test로 분석하였다. 결과: 본 연구의 결과는 다음과 같다. (1) 가설 1 ‘전인적 호스피스 간호중재 프로그램을 제공받은 입원 호스피스 환자(이하 실험군)는 실험 전보다 실험 후의 통증 정도가 낮을 것이다’ 를 검증한 결과 실험군은 실험 후의 통증 점수가 유의하게 낮아 가설이 지지되었다(t=-10.585, P= .000). (2) 가설 2 ‘전인적 호스피스 간호중재 프로그램을 제공받은 실험군은 실험 전보다 실험 후의 상태불안 정도가 낮을 것이다’ 를 검증한 결과 실험군은 실험 후의 상태불안 정도가 유의하게 낮아 가설이 지지되었다(t=-8.234, P= .000). 결론: 본 연구의 결과, 전인적 호스피스 간호중재 프로그램은 호스피스 대상자의 통증 및 상태불안을 완화시키고 향상시켜 신체 및 정서적 차원에서 그 효과가 확인되었으므로 호스피스 임상 실무에 적극적으로 활용할 수 있을 것이며, 그로 인해 호스피스 대상자의 통증을 조절하고 불안을 감소시켜 삶의 질을 총체적으로 높일 수 있는 데 기여하리라 사료된다.

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시설상추 재배시 축분퇴비 이용에 따른 화학비료 절감효과 평가 (Effects of the Application of Livestock Manure Compost on Reducing the Chemical Fertilizer Use for the Lettuce Cultivation in Green House)

  • 강창성;노안성;김성기;박경열
    • 한국토양비료학회지
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    • 제44권3호
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    • pp.457-464
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    • 2011
  • 본 시험은 우분, 돈분, 계분 등 축종별로 가축분퇴비를 인산비료 대체를 위해 토양검정 인산시비 해당량을 시용하고 질소와 칼리 부족량만 화학비료로 보충하는 축분퇴비와 화학비료 혼용 시비처방 기준을 개발하고자 '08~'10년의 3개 년간 시설상추를 대상으로 실시하였다. 토양 pH는 축분퇴비 단용구가 가장 높았고, 질소시비량이 증가할수록 낮아지는 경향이었다. OM은 모든 퇴비시용구에서 유의적으로 높아졌으며 $NO_3$-N는 NPK 처리구에 비해 LC+N100 처리구가 높은 경향이었으며, Av. $P_2O_5$는 축분퇴비 시용구가 동일량의 인산 비료를 투입한 NPK 처리구에 비해 약 $20mg\;kg^{-1}$ 높았다. 치환성 칼리는 화학비료 처리구와 K 부족량이 보충시비 된 축분퇴비 처리구가 같은 수준이었다. 칼슘과 마그네슘, 나트륨 등은 퇴비 처리구가 NPK 처리구에 비해 높은 경향이었다. 축분퇴비 질소의 토양 $NO_3$-N 공급능은 요소비료에 비해 돈분, 계분, 우분퇴비 각각 37, 35, 23% (퇴비 종합 34%) 수준으로서 축분퇴비 시용시 화학비료 질소 절감 가능량으로 추정하였다. 상추 엽중 $NO_3$ 함량은 화학비료 질소시용량에 비례하여 유의적으로 증가하였고 상추의 양분흡수량은 상추수량과 같은 경향으로서 PK 및 LC+N0 처리구가 가장 낮고 질소비료 시용량에 비례하여 증가하는 경향이었다. 이상의 결과를 종합하여 시설상추 재배시 축분퇴비를 인산 토양 검정시비 해당량을 시용하여 인산질비료를 100% 대체한 후 질소비료는 "질소적정시비량 = 토양검정 질소시비량 - (축분퇴비 질소시용량 ${\times}$ 0.34)", 칼리비료는 "칼리적정시비량 = 토양검정 칼리시비량 - 축분퇴비 칼리시용량" 식에 의해 산출하여 3요소 시비량을 결정하는 방법을 도출하여 축분퇴비 및 화학비료 양분 종합이용기술의 일례로 제시하였다.

검사 안내문의 시각적 디자인화가 환자의 검사 이해도 및 정확성에 미치는 영향 평가 (Evaluation of the influence of a visual design of an examination guide on patient comprehension and testing accuracy)

  • 강영은;정우영;홍보름
    • 핵의학기술
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    • 제23권1호
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    • pp.29-34
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    • 2019
  • 본 연구는 기존 안내문에서 사용하고 있는 문어체의 글자와 배열, 형태 등을 시각적으로 디자인 및 재배치 함으로써 환자의 이해도 및 검사에 미치는 영향에 대해 평가 하였다. 서울아산병원 핵의학과 영상검사에서 가장 많은 비중을 차지하는 Bone Scan과 $^{201}Thallium$ Myocardium Perfusion SPECT의 Rest Scan 안내문을 개선 대상으로 선정하고, 원내 이노베이션센터와 협의하여 새롭게 디자인 하였다. 2016년 11월부터 2017년 2월은 기존의 안내문을, 2017년 3월부터 5월은 개선된 안내문을 사용하였으며, 개선 전후의 비교를 위해 해당 시기에 Bone Scan을 시행한 환자를 대상으로 안내문에 제시된 전처치 준수 및 그에 따른 영상의 질, 검사 소요시간을 측정하였고, $^{201}Thallium$ Myocardium Perfusion SPECT를 시행한 환자를 대상으로 안내문의 내용 이해에 대한 설문조사와 안내 후 재질문 하는 환자 및 질문유형, 안내문의 내용을 이행하지 않은 환자수를 분석하였다. 개선 후에는 Bone Scan은 전 처치가 미흡한 환자와 그로 인해 추가 영상이 필요한 환자가 감소하였고 평균 검사 소요시간은 안내문 개선 후 추가 영상 획득 시간의 감소로 약 2분 감소하였다. $^{201}Thallium$ Myocardium Perfusion SPECT의 경우 안내문의 내용 이해에 대한 5가지 문항에서 모두 이해도가 증가한 결과를 얻었으며, 검사 관련 재질문 하는 환자와 안내문의 내용을 이행하지 않은 환자 모두 감소하였다. 검사 안내문은 일방적이고 단순한 정보 제공이 아니라 환자 및 보호자와의 원활한 소통으로 이어지며, 영상품질과 업무 효율성을 향상시키고 나아가 검사 소요시간의 관리로 생산성 향상에도 도움을 줄 것으로 사료된다.

국내 Holstein 젖소의 유생산 형질과 유방 및 지제 선형심사 형질에 대한 유전모수 추정 (Estimation of Genetic Parameter for Milk Production and Linear Type Traits in Holstein Dairy Cattle in Korea)

  • 원정일;당창권;임현주;정연섭;임석기;윤호백
    • 농업생명과학연구
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    • 제50권1호
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    • pp.167-178
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    • 2016
  • 본 연구는 국내 Holstein 젖소의 유생산 및 선형심사 형질의 유전적 특성을 파악하기 위해 실시하였다. 자료는 2009년 1월부터 2013년 4월까지 분만한 1산차인 Holstein 젖소 10,218두의 능력검정 자료와 유방 및 지제의 선형심사 자료를 이용하였고, 능력검정 자료 및 선형심사 자료는 각각 농협중앙회 젖소개량사업소 및 사)한국종축개량협회에서 수집한 자료이며, 사)한국종축개량협회의 33,436두에 대한 혈통정보를 분석에 활용하였다. 각 형질의 유전모수 추정은 Animal Model에 근거하여 개발 된 WOMBAT package를 이용하였으며, 추정된 유전분산 및 잔차분산을 이용하여 유전력을 계산하였다. 유량(MY), 유지방량(FY), 유단백량(PY), 유지방율(FP), 유단백율(PP) 및 체세포지수(SCS)의 유전력은 각각 0.128, 0.144, 0.100, 0.273, 0.333 및 0.090이었으며, 유방깊이(UD), 유방질(UT), 정중제인대(MS), 앞유방 붙음성(FUA), 앞유두 위치(FTP), 뒷유방 높이(RAH), 뒷유방 너비(RAW), 뒷유두 위치(RTP), 유두길이(FTL), 발굽기울기(FA), 뒤꿈치 깊이(HD), 뼈질(BQ), 옆에서 본 뒷다리(RLSV), 뒤에서 본 뒷다리(RLRV) 및 보행성(LC)에 대해 각각 0.179, 0.066, 0.104, 0.109, 0.127, 0.099, 0.059, 0.069, 0.154, 0.014, 0.010, 0.052, 0.065, 0.175 및 0.031로 추정되었다. MY와 UD, UT, FTP, RAW, FTL, FA 및 RLSV의 유전상관은 각각 0.334, 0.271, 0.445, 0.544, 0.076, -0.281 및 -0.228 이었고, PP와 MS, FTP, RTP, FTL, FA, BQ, RLSV, RLRV 및 LC의 유전상관은 각각 -0.147, -0.182, -0.262, -0.136, 0.355, 0.311, 0.135, 0.233 및 0.143으로 나타났다. 특히, MY는 RAW와 가장 높은 정의상관(0.544)을 나타낸 반면, SCS는 LC와 가장 높은 부의상관(-0.603)을 나타냈다. FP는 대부분의 유방 선형심사형질과 부의상관 관계를 나타낸 반면, FP는 지제 선형심사형질과 정의상관(0.056~0.355) 관계를 나타냈다.

전기가열방식 스크러버의 NF3 제거 효율 (The progress in NF3 destruction efficiencies of electrically heated scrubbers)

  • 문동민;이진복;이지연;김동현;이석현;이명규;김진석
    • 분석과학
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    • 제19권6호
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    • pp.535-543
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    • 2006
  • 현재 반도체 및 LCD(Liquid Crystal Display) 제조 공정에 널리 사용하는 $NF_3$는 국제적으로 대기중 배출량에 대한 규제를 실시 중인 온실가스 중의 하나다. 온실가스의 배출량 감축을 위하여 국내 대상 산업체들은 $NF_3$ 배출량의 감소에 지속적으로 노력을 해 오고 있다. 본 연구는 LCD를 제조하는 국내 3사에 설치된 $NF_3$ 처리용 전기가열방식 스크러버(scrubber)의 제거효율(DRE, Destruction and Removal Efficiency)과 process chamber에서의 $NF_3$ 사용 비율(use rate in process)을 측정하였다. 스크러버의 효율을 정확하게 측정하기 위하여, 비활성 기체인 He을 일정 유량으로 주입시켜주는 방법으로 시료를 채취하고, 정밀 가스질량분석기(Gas-MS)를 이용하여 시료 중 화학종들의 분압을 측정하였다. 세 회사에 설치되어 있는 스크러버의 효율을 측정한 결과, 2004년 이전에 설치한 스크러버의와 그 이후 개선한 스크러버의 DRE는 각각 52%와 95% 이상임을 확인하였다. 또한 Process chamber의 $NF_3$ 사용 효율은 1세대 및 2세대 공정라인에 설치한 RFSC(Radio Frequency Source Chamber)의 경우 75% 보다 낮지만, 3세대 이상 라인에 설치한 RPSC(Remote Plasma Source Chamber)의 경우는 95% 이상으로 측정이 되었다. 반도체 및 디스플레이 공정에 개선된 스크러버와 RPSC식 process chamber를 사용할 경우 $NF_3$ 배출량을 99.95% 이상 줄일 수 있을 것으로 예상된다. 따라서 $NF_3$에 대한 국내 3사의 온실가스 감축 목표가 성공적으로 이루어 질 것으로 예상된다.