In case of contacts between semiconductor and metal in semiconductor circuits, they become unstable because of thermal budget. To prevent these problems, we use diffusion barrier that has a good thermal stability between metal and semiconductor. So we consider the diffusion barrier to prevent the increase of contact resistance between the interfaces of metals and semiconductors, and the increase of resistance and the reaction between the interfaces. In this paper we deposited tungsten boron carbon nitride (W-B-C-N) thin film on silicon substrate. The impurities of the $1000\;{\AA}-thick$ W-B-C-N thin films provide stuffing effect for preventing the inter-diffusion between metal thin films $(Cu-2000\;{\AA})$ and silicon during the high temperature $(700\~1000^{\circ}C)$ annealing process.
In this research, TiN films has been grown to the stainless steel substrate by ion beam assisted deposition. TiN film was grown to the nitrogen atmosphere of around $10^{-15}$ Torr with Arion bombardment. The chemical composition, color and adhesion of TiN films were examined as a variation of En(ion energy per atom). The N/Ti ratio increased linearly as the increase of En and saturated around 1.2 at high En. As a results, the bright golden color was obtained when En reached a certain value of Ecn. As a results, the N/Ti ratio is about 0.9.
Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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2018.06a
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pp.38-38
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2018
TiMoN 코팅층은 우수한 내마모 특성과 낮은 마찰계수를 보여 많은 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 음극아크 증착으로 질소 가스 유량, 아크 전류, 기판 전압 등 공정 변수를 제어하여 TiMoN 코팅층을 스테인리스와 초경 기판 위에 제조하고 색상, 미세구조, 경도 등 물리적 특성을 평가하였다. TiMo 타겟은 Mo가 약 8 at.% 함유되어 있으며 직경은 80 mm이었다. 색차계를 이용하여 TiMoN 코팅층의 색상을 분석한 결과, 질소 유량이 증가할수록 $a^*$와 $b^*$ 값이 증가하는 경향을 확인하였다. 질소 유량 90 sccm으로 제조한 TiMoN 코팅층은 TiN 코팅층과 유사한 색상을 보였다. TiMoN 코팅층의 조성을 에너지분산형 분광기(energy dispersive spectroscopy)로 분석한 결과, 타겟과 유사한 조성을 보였다. TiMoN 코팅층의 단면을 주사전자현미경으로 관찰한 결과, 주상정 형성이 확인되었으며 코팅층 표면에는 음극 아크 공정 시 발생하는 거대입자가 발견되었다. 질소 유량 50 sccm으로 제조한 TiMoN 코팅층은 약 3000 Hv의 경도 값을 보였다. X-선 분광기로 TiMoN 코팅층의 결정성을 분석한 결과, TiN과 유사한 합금상이 형성된 것을 확인할 수 있었다. TiMoN 코팅층은 TiN과 유사한 색상을 보였으며 경도는 TiN보다 높은 값을 보여 절삭공구, 금속 가공용 부품 등 고경도 코팅층으로 활용이 가능할 것으로 판단된다.
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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1999.11a
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pp.516-519
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1999
스위칭 전원에 사용되는 Mn-Zn 페라이트에 대항하는 고성능화의 요구에 부응하기 위해 그 중요한 요인이 되는 기수가 다른 Mn 산화물에 착목하여 그것들을 이용 제작한 Mn-Zn 페라이트의 자기특성 및 결정구조를 정밀하게 조사함과 동시에 그것들의 상관성을 검토하였다. Mn-Zn 페라이트의 소성 분위기의 변경방식은 소성개시에서 종료시까지 질소 분위기, 냉각시부터 질소분위기로 변경, 소성 개시에서 종료시까지 대기중 소성 세가지를 실험하였고, 소성 온도는 115$0^{\circ}C$, 120$0^{\circ}C$, 125$0^{\circ}C$ 130$0^{\circ}C$ 135$0^{\circ}C$ 및 140$0^{\circ}C$의 6종류의 시료를 제작하였다. 이 결과는 Mn-Zn 페라이트의 소성 분위기 및 온도 최적화는 승온 및 온도 유지 단계에서는 대기중으로, 냉각단계에서는 질소가스 분위기로 치환한 것과 소성 온도는 120$0^{\circ}C$ 이다. 이 분위기에서 Mn-Zn 페라이트를 가수를 다르게 하여 시료의 투자율 및 주파수 특성, 코아로스 주파수 의존성, 코아로스 주파수로 나눈값의 주파수 의존성, 스피넬 구조(311)의 면에서의 회절픽, 자화의 온도 의존성을 분석하였다. 이 결과는 Mn$_3$O$_4$를 출발원료로 사용한 Mn-Zn 페라이트가 투자율 및 한계 주파수 모두 뛰어난 특성을 나타내었다.
Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association
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v.8
no.3
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pp.81-88
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2000
Composting of N-rich wastes such as food waste and wastewater sludges can be associated loss of with substantial gaseous N, which means loss of an essential plant nutrient but may also lead to environmental pollution. We investigated the behavior of nitrogenous materials during the first high-rate phase in composting of food waste. Air dried food waste was mixed with shredded waste paper or wood chip and reacted in a bench scale composting reactor. Samples were analyzed for pH, ammonia, oxidized nitrogen and organic nitrogen. The volatilized ammonia nitrogen was also analyzed using sulfuric acid as an absorbent solution. Initial progress of composting reaction greatly influenced the ammonification of organic nitrogen. A well-balanced composting reaction with an addition of active compost as an inoculum resulted in the promoted mineralization of organic nitrogen and volatilization of ammonia. The prolongation of initial low pH period delayed the production of ammonia. It was also found that nitrogen loss was highly dependent on the air flow supplied. With an increase in input air flow, the loss of nitrogen as an ammonia also increased, resulted in substantial reduction of ammonia content in compost. The conversion ratio of initial nitrogen into ammonia was in the range of 28 to 38% and about 77~94% of the ammonia produced was escaped as a gas. Material balance on the nitrogenous materials was demonstrated to provide an information of importance on the behavior of nitrogen in composting reaction.
This study aimed to optimize total nitrogen (TN) content in the medium and the growth temperature to improve the shelf life of Pleurotus eryngii Keneutari No. 2. We investigated the growth characteristics and changes in the O2/CO2 content in polypropylene film and performed sensory evaluations during cold storage under 1.5%, 1.8%, 2.1%, and 2.4% TN and at temperatures of 9℃, 12℃, and 15℃. The diameter and weight of the fruit bodies tended to increase with increasing nitrogen content, regardless of the growth temperature, and the highest weight per bottle (149.5 g) was obtained at 12℃ and 2.4% TN. Regardless of the nitrogen content, leaf color deepened with decreasing temperature. The gas concentration in the film, which changes depending on storage time, was maintained for the longest period at 9℃ and 2.1% TN. The sensory evaluation revealed no difference between the different nitrogen conditions tested, and the odor, discoloration, and decay were similar at 15℃ and 9℃ until day 28 of storage.
저분자량의 가스와 물이 물리적 결합으로 이루어진 가스 하이드레이트는 상대적으로 많은 양의 가스가 포집될 수 있다는 특성을 이용하여 다양한 분야에서 활발한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 매립지에서 발생되는 매립가스를 하이드레이트의 원리를 이용하여 효율적으로 저장 및 수송하기위한 공정에 적용하기위해 필요한 매립지 가스 하이드레이트의 상평형에 대한 특성을 분석하고자한다. 일반적으로 매립지 가스에는 메탄이 약 50%, 이산화탄소가 약 35%, 질소가 약 6% 포함되어 있으며 그 밖에 산소, 수분, 암모니아 황화수소 메르캅탄 등 할로겐 계통을 포함한 탄화수소계화합물 수십여종이 포함되어 있다. 이러한 매립지가스를 하이드레이트화 하기위해서는 매립지가스에 포함된 다양한 성분들이 하이드레이트 형성에 미치는 영향을 알아볼 필요가 있다. 특히 황화수소의 경우 독성이 있으며, 실제 플랜트에서 장비의 부식등 악영향을 미치므로 이와 관련한 기초 연구가 필요하다. 따라서 본 연구에서는 메탄, 이산화탄소, 황화수소가 각각 49.9%, 50.05%, 500ppm의 조성으로 이루어진 혼합가스를 이용하여 하이드레이트 생성 및 해리 시 거동을 측정하고 그 상평형 영역을 기존데이터와 비교분석 하였다. 25bar, 36bar에서 측정한 상평형 데이터는 한국해양대학교 에서 측정한 결과와 마찬가지로 실제 상평형 영역이 CSMHYD 프로그램으로 예측한 것보다 하이드레이트의 안정영역이 약 2bar 정도 높게 형성되는 것을 확인하였으며, $CH_4+CO_2+H_2S$ 혼합가스 하이드레이트의 생성 시 mol consumption은 $CH_4+CO_2$ 혼합가스 하이드레이트와 유사하게 나타났다. 이 결과로 유추하건대, 황화수소의 첨가는 하이드레이트의 형성 압력을 높이지만, 하이드레이트 형성률에는 크게 영향을 미치지 않는다고 할 수 있다.
Coal is the most abundant energy source and deposited in every area of world. Combustion process with lower efficiency has been mainly used. Therefore, implementation of more efficient technologies, involving gasification, combined cycles and fuel cells, would be a key issue in the plans for more efficient power generation. In these technologies, gasification has been studied for decades. However, coal gasification to high value combustible gas such as hydrogen and carbon monoxide is focused again due to high oil price. The gaseous product, called syngas, can be effectively utilized in a variety of ways ranging from electricity production to chemical industry (as feedstock). In this study, coal gasification with ultra high temperature steam has been performed. The effect of steam/carbon ratio on the produced gas concentrations, gasification rate and additional products like tar, ammonia and cyan compounds has been determined.
Cellulosic organic solid wastes such as bark and sawdust, and filter papers as a pure cellulose were pyrolyzed at $300^{\circ}C$ under nitrogen current and mixed current of nitrogen and air. Amounts of condensates collected in air, water, and dry ice-acetone cooling traps, noncondensable gases, and carbonized residues were surveyed. The components of volatile liquids condensed in dry ice-acetone trap were separated by means of gas chromatograph and identified by retention times and syringe reactions. Pyrolysis under nitrogen current produced 13.4∼29.6${\%}$ of tar, 0.01∼0.12${\%}$ of aqueous liquids, 0.24∼1.43${\%}$ of volatile liquids, 9.84∼42.41${\%}$ of noncondensable gases, and 44.0∼65.81${\%}$ of carbonized residues. Pyrolysis under mixed current decreased tar and condensable liquids, but increased noncondensable gases.Volatile liquids collected under nitrogen current separated into the same 19 components by Porapak Q column regardless of the materials and only difference among materials was relative amounts of components. Volatile liquids collected under mixed current separated into six components and mainly lower molecular weight compounds such as methanol and formaldehyde were produced. According to the retention times and syringe reactions, methanol, formaldehyde, acetone, acetaldehyde, acetic acid, and three other compounds presumably containing hydroxyl group in the molecular structure were identified out of 19 compounds.
This study demonstrated the emission of combustion gases of medium density fibreboard (MDF)s coated with piperazinomethyl-bis-phosphonic acid (PIPEABP), methylpiperazinomethyl-bis-phosphonic acid (MPIPEABP), N,N-dimethylethylenediaminomethyl-bis-phosphonic acid (MDEDAP), or bis-(dimethylaminomethyl) phosphinic acid (DMDAP). Each MDFs were coated in three times with a brush with 15 wt% aqueous solution of the phosphorus-nitrogen acid additives. After the specimens were dried at room temperature, the emission of combustion gases was tested using a cone calorimeter (ISO 5660-1, 2). The peak smoke production rate ($SPR_{peak}$) of the specimens coated with phosphorus-nitrogen acids was 18.5 to 41.5%, which is lower than that of using the virgin plate. However, the production of peak carbon monoxide ($CO_{peak}$) was 6.7 to 24.2% higher than that of using the virgin plate. Also, the peak carbon dioxide ($CO_{2peak}$) was 4.2 to 24.4% lower than that of using virgin plate. While the peak oxygen depletion rate was much higher than the level of 15%, which can be fatal to humans and the resulting risk could thus be eliminated. Overall, the combustibility of coated specimens was partially suppressed, but showed a negative effect on the reduction of carbon monoxide.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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