• Title/Summary/Keyword: 진단계통

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반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발

  • Choe, Gyeong-Min;Song, Gyeong-Ho;Park, Sang-Hyeon;Gang, Min-Ho;Im, Seong-Gyu;Gang, Sang-U;Im, Jong-Yeon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.101.2-101.2
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    • 2015
  • 급속한 산업화로 인하여 에너지 부족 문제가 대두되고 있는 가운데 에너지 저감 기술의 개발이 요구되고 있다. 국내 반도체 공정의 배기계통에서 소비되는 에너지는 전체 공정에 소비되는 에너지중 상당량에 달하며 10%의 에너지 절감은 연간 1000억원 이상의 비용절감 효과를 기대할 수 있다. 반도체 공정 배기계통은 진공펌프의 특성, 챔버의 부피, 도관의 구조(직경, 길이, 형상), 진공재료의 기체방출 등 여러 가지 요소의 복합적인 영향으로 그 상태가 달라지므로 보다 효과적인 공정의 운용과 에너지 절감을 위해 반도체 공정의 복합 상태 진단기술 개발이 요구되고 있으며 그중 큰 비중을 차지하는 드라이펌프의 실시간 모니터링 기술의 개발이 시급하다. 본 연구에서는 반도체 공정의 복합 상태 진단기술 개발에 대한 기초 연구로서 반도체 공정 배기계통의 conductance 및 유량 변화에 대한 드라이펌프의 특성을 이론적 계산으로 얻어진 결과와 실험을 통하여 얻어진 결과를 비교, 분석하였다. 진공펌프의 기본 특성은 한국표준과학연구원에서 국제규격에 따라 도달진공도, 배기속도, 소비전력, gas load, 소음, 진동 등을 분석하였고, 나노종합기술원의 PECVD 장비(chamber A: amorphous silicon 및 loadlock chamber)에 챔버의 부피, 도관의 구조, 공정가스의 유량 등을 측정하여 simulation 하였으며, 실제 측정값은 LabVIEW 프로그래밍으로 자동화 된 MFC를 이용하여 실제 공정 상태를 모사하였다. 실험은 PECVD의 특성을 고려하여 질소분위기에서 CDG (Capacitance Diaphragm Gauge)를 사용하였다.

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정성적 시뮬레이션에 의한 화력발전소 보일러 프로세스의 고장진단

  • 김응석;오영일;변승현
    • Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.169-169
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    • 1999
  • 최근 산업 플랜트의 공정제어 시스템은 복잡하고 대규모화되어 고장 발생시 경제적 손실과 위험성이 증폭되어 규정된 안정서와 신뢰성 확보가 필수적이라 할 수 있다. 고장검출 및 진단기법은 시스템의 신뢰성을 높이기 위한 효과적인 방안을 연구하는 것으로 현대에 들어서 많은 학자들의 관심을 끌고 있으며 실제 계통에 점차적으로 응용되고 있다. 현재까지 개발된 고장검출 및 진단기법은 사용된 프로세스 모델의 형태, 고장검출 진단 알고리즘에 따라 다양하게 분류 될 수 있으며 일반적으로 사용된 모델에 따라 크게 1) 정량적 모델에 근거한 해석적 기법, 2) 정성적 모델에 근거한 기법, 3) 지식기반 진단 기법으로 구분 할 수 있다. 이중 정량적 모델 기법은 대상계통의 수학적 모델에 근거하여 운전 데이터를 분석함으로서 고장검출 진단을 수행하는 해석적 기법으로서 근본적으로 계통의 정확한 수학적 모델을 요구하므로 불확실성을 포함한 계통 및 비선형성이 강한 계통등에는 적용이 곤란하다. 정성적 모델 및 지식기반 기법은 정량적 진단 기법과는 달리 대상 프로세스에 대한 수학적 모델 대신에 운전자의 경험과 프로세스 변수간의 상호 작용 및 고장의 전파과정, 고장원인과 증상과의 직접적인 관계에 대한 구조적 지식에 근거한 것으로 고장원인에 대한 계통의 동작을 추론 할 수 있으며, 상황 변화에 따른 영향을 예측할 수 있다. 본 논문에서는 정성적 모델 및 지식기반 기법에 근거한 고장검출 및 진단 기술을 화력 발전소 보일로 프로세스에 적용하여 정성적 시뮬레이션에 의한 설비의 고장을 조기에 발견하여 고장 파급으로 인한 발전 정지 및 설비의 손상 확대를 방지하고 고장 발생시 신속한 원인 규명 및 후속 조치관련 정보들을 운전원에게 제공할 목적으로 현재 전력원에서 개발중인 지능형 경보시스템에 대하여 기술하고자 한다.음과 같이 설명하였다. 서로 상반되는 것들이 다음과 같이 설명하였다. 서로 상반되는 것들이 부딛힘이 없이 공존하고 일상의 논리가 무시된다. 부정, 의심이 없고 확실한 것이 없다. 한 대상에 가졌던 생각이 다른 대상에 옮겨간다(displacement). 한 대상이 여러 대상이 갖고 있는 의미를 함축하고 있다(condensation). 시각적인 순서가 무시된다. 마음속의 생각과 외부의 실제적인 일을 구분하지 못한다. 시간 상의 순서가 있다가 없다가 한다. 차례로 일어나야 할 일이 동시에 한꺼번에 일어난다. 대상들이 서로 비슷해지고 동시에 있을 수 없는 대상들이 함께 나타난다. 사고의 정상적인 구조가 와해된다. Matte-Blance는 무의식에서는 여러 독립된 대상들간의 구분을 없애며, 주체와 객체를 하나로 보려는 대칭화(symmetrization)의 경향이 있기 때문에 이런 변화가 생긴다고 하였다. 또 대칭화가 진행되면 무한대의 느낌을 갖게 되어, 전지(moniscience), 전능(omnipotence), 무력감(impotence), 이상화(idealization)가 나타난다. 그러나 무의식에 대칭화만 있는 것은 아니며, 의식의 사고양식인 비대칭도 어느 정도 나타나며, 대칭화의 정도에 따라, 대상들이 잘 구분되어 있는 단계, 의식수준의 감정단계, 집단 내에서의 대칭화 단계, 집단간에서의 대칭화 단계, 구분이 없어지는 단계로 구분하였다.systems. We believe that this taxonomy is a significant contribution because it adds clarity, completeness, and "global perspective" to workflow architectural discussions. The vocabulary suggested here

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Fault Diagnosis for High Pressure Turbine Valve using Fuzzy Logic (퍼지 논리를 이용한 원자력 발전소 고압터빈 밸브 고장진단)

  • Kim Yeon-Tae;Jeong Byeong-Uk;Baek Gyeong-Dong;Kim Seong-Sin
    • Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.79-82
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    • 2006
  • 본 논문은 원자력 발전소의 주요 제어계통 중에서 터빈 조속기 제어계통에 관련한 성능평가를 목적으로 한다. 터빈 조속기 계통은 고압의 유압계통으로 구성되어 있어 구동설비가 복잡하다. 복잡한 기계설비는 운전 중 많은 오동작에 의한 고장을 일으키고, 유지보수에 어려움이 있다. 이러한 복잡한 기계설비에 있어 운전원에 의한 기계성능 평가는 불리한 점이 많다. 예를 들어 서로 다른 시간에서 일어나는 같은 상황에 대해 다른 판단을 내릴 수 있다는 점이다. 터빈 조속기 계통의 기계설비에 있어서 터빈 밸브 유압공급 및 구동장치는 각 터빈벨브 자체에 부착되어 있어 터빈벨브를 동작시킨다. 터빈벨브들은 구동기 유압 서보실린더(Actuator Hydraulic Servo Cylinder)에 의해 열리고 압축된 스프링에 의해 닫힌다. 이러한 시스템을 진단하기 위해서 본 논문에서는 밸브의 내부 압력의 특징정보를 입력으로 하는 퍼지이론을 적용하여 터빈 밸브 구동설비의 성능을 판단하고자 한다. 퍼지이론에 적용하기위해 터빈 조속기 제어계통의 고압 터빈 조절 벨브와 고압 터빈 정지 밸브의 압력변화 데이터를 이용한다. 퍼지이론의 적용과정에서 퍼지 Rule은 실제 운전원이 압력변화 데이터에 대한 판단기준을 근거로 하여 정하기로 한다. 그리고 퍼지이론에 적용한 결과를 분석하고 실제 터빈 조속기 계통의 전문가가 판단 결과와 비교하였다.

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Improvement of Pressurizer PROV System through Micro-Computer and PRA (마이크로 컴퓨터와 확률론적 리스크 평가를 통한 가압기 보호계통의 설계 개선)

  • Jong Ho Lee;Soon Heung Chang
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • v.17 no.4
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    • pp.302-316
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    • 1985
  • Small break LOCA caused by a stuck-open PORV is one of the important contributors to nuclear power plant risk. This paper deals with the design of a pressurizer surveillance system using microcomputer to prevent the malfunction of system and has assessed the effect of this improvement through Probabilistic Risk Assessment (PRA) method. Micro-computer diagnoses the malfunction of system by a process checking method and performs automatically backup action related to each malfunction. Owing to this improvement, we can correctly diagnose “Spurious Opening”, “Fail to Reclose” and “Small break LOCA” which are difficult for operator to diagnose quickly and correctly and reduce the probability of a human error by an automatic backup action.

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A Study on the Expert System for the Fault Diagnosis in a Power System (전력계통의 고장진단 전문가 시스템에 관한 연구)

  • 박영문;이흥재
    • The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
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    • v.39 no.10
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    • pp.1021-1028
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    • 1990
  • This paper deals with the development of an expert system for the fault diagnosis in a power system. The expert system is designed to estimate the fault sections with explanation about the propagation of the faults through the identification of false operation of protective devices. The identification of black-out area is also considered to assist the restoration process. As for the inference scheme, backward chaining method is adopted and the search space is reduced for the better performance. The expert system was developed using PROLOG language. Its application to a sample power system showed satisfactory result.

The Development of IED for Power Equipment Diagnosis (전력텔레매트릭스 시스템 구성을 위한 변전설비 진단 IED 개발)

  • Choi, G.B.;Lee, D.Z.;Shim, J.T.;Eo, S.Y.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.07a
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    • pp.689-690
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    • 2007
  • 전력 텔레매트릭스 시스템은 전력계통의 사고에 신속하게 대처하고 계통설비의 합리적인 유지보수 및 운영을 통해 계통의 신뢰도를 높이고자 고안된 시스템이다. 이 시스템은 전력기반설비들에 다양한 센서 및 센서네트워크를 구성하여 전력설비를 통합적으로 감시하고 변전소 보호IED의 데이터들과 함께 전력계통의 유지보수 스케쥴링 및 설비건전성평가와 더불어 고장시에 신속한 고장복구를 위해 고장정보를 운영자에게 보여주는 구조를 가지고 있다. 본 논문에서는 이러한 전력 텔레매트릭스 시스템중에서 하부 센서및 센서네트워크의 데이터와 보호IED의 데이터를 중간처리하고 상위 시스템으로 전송하는 역할을 하는 진단IED의 개발에 관한 것이다.

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A case study on troubles analysis and diagnoses of passenger car's engine based on OBD (OBD에 기초한 승용차 엔진의 고장유형 분석과 진단 사례 연구)

  • Min, Jong-Sik;Seung, Sam-Sun
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.7 no.6
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    • pp.1004-1011
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    • 2006
  • In this study, we have performed a systematic case study on troubles and diagnoses of passenger car's engine based on OBD. We have acquired 1,242 data in order to analysis accurate troubles' causes and apposite diagnoses. 128 data of them are got using OBD apparatus, and the rest of them are collected on related website. As results, distribution on trouble cases shows bad idling(32%), poor acceleration(21%), stop in running(19%), faulty start(11%), inferior fuel economy(9%), and insufficient power(8%) in order of magnitude. And in the systematic cases, it is not difficult to detect troubles in a single part. But we know that special apparatus such as multichannel scanner is needed in complicated troubles. Furthermore we think that the survey is continued in various ways for more systematic case study on troubles and diagnoses.

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Consideration of the Cancer Claims in 1996 ('96년 '암'진단보험금 지급발생건에 대한 고찰)

  • Lee, Shin-Whi;Song, Hye-Kyoung
    • The Journal of the Korean life insurance medical association
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    • v.18
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    • pp.117-125
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    • 1999
  • 암에 의한 보험금 지급의 증가와 관련하여 1996년, 1년 동안 당사에서 암진단보험금 수혜자에 대한 고찰을 통해 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. '96년 암진단보험금 지급은 2,720건 발생하였고, 남자 777명(28.6%), 여자 1,943명(71.4%)였다. 2. 남녀별로 40대, 30대, 50대 순으로 암진단보험금이 지급되었으며, 남자에서는 각각 38.6%, 28.8%, 24.2%였고, 여자에서는 각각 31.8%, 30.3%, 26.6%였다. 3. 남자의 경우 위장계통 암이 323명(41.6%), 여자의 경우 생식기계통 암(유방암 포함)이 968명(52.4%)으로 가장 많았다. 4. 장기별 발생률은 남자는 위(27.5%), 간(22.0%), 폐(8.1%), 여자는 유방(21.2%), 위(14.9%), 자궁경부(13.2%)순으로 나타났다. 5. 경과기간별 암진단보험금 지급 양상은 가입 후 1년 이내 25.1%, 1년에서 2년 이하 18.9%, 1년 후 55.9% 발생하였다. 6. 6개월 이내 암진단보험금은 폐암(15.0%), 갑상선암(14.5%), 자궁경암(13.6%), 유방암(13.1%) 순으로 지급되었다. 7. '96년 암진단보험금 수혜자 중 사망은 '98년 10월 현재 805건(29.6%) 발생하였고, 암종류별 사망률은 간암(76.9%), 폐암(74.0%), 위암(36.3%) 순으로 높았다.

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A Comparison and Analysis on Relationship about Baby Respiratory System and Spectrum Analysis (스펙트럼 분석과 소아 호흡기 계통간의 연관성 비교 및 분석)

  • Kim, Bong-Hyun;Lee, Se-Hwan;Park, Sun-Ae;Ka, Min-Kyoung;Cho, Dong-Uk
    • Annual Conference of KIPS
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    • 2008.05a
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    • pp.127-130
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    • 2008
  • 환경적, 식품적 본질의 변화로 인해 소아의 호흡기 계통에 대한 질환은 모든 부모들의 집중적 관심분야가 되고 있다. 또한 저출산 등의 사회적 문제가 심각해지면서 소아 때부터의 건강 관리 및 유지는 사회적 이슈가 되고 있는 실정이다. 따라서 본 논문에서는 소아 호흡기 계통의 질환에 대한 종류와 그에 대한 특징을 파악하여 조기에 진단할 수 있는 방법을 제안하고자 한다. 특히 소아 호흡기 계통 관련의 질환 중에서도 현대사회에서 가장 많이 발생되는 질환들을 알아보고 음성학적 분석 요소들과의 연관성을 추출하기 위한 것을 연구의 목적으로 하였다. 소아 호흡기 계통의 질환은 대체로 저항력이 약할 때 발병하며 치료에 많은 시간과 노력이 소모되므로 이에 대한 진단학적 방법을 제안함으로써 기초 예방을 할 수 있을 것으로 생각된다.