• 제목/요약/키워드: 진공 장치

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ADC In-vacuum Undulator Upgrade

  • 홍만수;김세현;권혁채;한홍식;하태균;박종도
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.116.1-116.1
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    • 2013
  • 포항가속기연구소 저장링에는 Dipole Magnet, Wiggler, Undulator 등 다양한 방사광발생장치를 설치하여 각종 실험에 사용하고 있다. 그중 ADC사에서 제작한 In- vacuum Undulator (이하, ADC-IVU)는 고휘도의 X-선 빔을 생성하여 생체고분자(단백질, DNA 등) 단결정의 X-선 회절 데이터를 획득하는 실험을 수행한다. 현재, ADC-IVU의 Rf finger 등 일부장치의 성능개선을 위한 장치 해체, 교체 작업과 재조립 및 정렬작업, 구동시험을 거치고 최종 초고진공 진공 달성을 위한 탈가스처리, NEG 활성화작업등을 마무리 하였다. 본 발표에서는 ADC-IVU의 성능개선 작업에 대한 전반적인 사항과 진공작업 및 그 결과를 내용으로 한다.

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평판디스플레이용 패널의 진공도 측정 (Pressure Measurement in a Cavity for Flat panel Display)

  • 조영래;문제도;오재열;정효수
    • 한국진공학회지
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    • 제4권3호
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    • pp.247-252
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    • 1995
  • 진공측정용 센서의 크기보다 더 작은 미세소자 내부의 진공도를 계산에 의해 간접적으로 구하는 방법을 제시하였다. 평판디스플레이용 진공판넬의 설계에 본 연구의 결과를 적용하는 방법에 대해 연구하였으며, 패널의 진공도는 패널과 배기장치의 형상에 강하게 의존하였다.

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충남대학교 고고도 우주환경모사 진공실험 장치 (Vacuum Facility at the CNU for High Altitude Space Environment Test)

  • 신강창;이민재;정성철;김연호;김혜환;허환일
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2007년도 제28회 춘계학술대회논문집
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    • pp.49-52
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    • 2007
  • 마이크로 인공위성에 적용 가능한 마이크로 추력기를 개발하기 위해서는 우주환경을 모사할 수 있는 진공설비가 요구된다. 본 논문에서는 $10^{-5}$ torr의 진공도를 유지할 수 있는 진공설비를 구축하였고, 이 장비는 $100{\sim}120km$의 고도를 모사할 것으로 기대된다. 실제 장비운용에 앞서 사용할 펌프의 성능을 예측하고 저진공 펌프를 작동시켜 이론에 의한 예상 진공도와 실험을 통한 진공도를 비교 분석하였다.

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열진공챔버내 고진공 절연장치

  • 문귀원;조혁진;이상훈;서희준;최석원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
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    • pp.205.2-205.2
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    • 2009
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MOCVD 장치 개발

  • 석창길
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1996년도 제10회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.79-79
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    • 1996
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A study of scratched off dust from the vacuum vessel during the KSTAR operation by Gamma Spectrometry

  • 김희수;정연걸;이영석;김상태;박갑래;곽종구
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.425.2-425.2
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    • 2016
  • 토카막(TOKAMAK) 장치의 진공용기 및 용기내벽은 플라즈마(Plasma)에 의한 고열과 높은 에너지의 이온 입자들에 항상 노출되어 있는 환경이다. 토카막의 일종인 KSTAR장치의 진공용기는 스테인레스강(STS316)계열의 재질로 이루어져 있고, 플라즈마와 면하는 용기 벽면은 플라즈마에 대해 견딜 수 있도록 그라파이트 타일(graphite tile)로 구성되어 있다. 고에너지의 이온 입자들과 열플럭스(Heatflux)는 용기벽면과 용기를 침식시키고, 또한 이렇게 생겨난 분진(dust)들은 진공용기 내 여기저기를 떠다니게 되고, 플라즈마에 대해서 불순물로서 작용하게 된다. 본 연구에서는 감마분석법으로 플라즈마에 의해 진공용기 내에 집적된 분진들의 구성 성분을 분석하여 주요 출처를 규명할 수 있는 방법을 제시하고, KSTAR 플라즈마의 불순물 제어에 유용하게 활용 할 수 있는 데이터를 제공하여 향후 KSTAR의 고성능 플라즈마 기술개발에 일조할 수 있도록 하고자 한다.

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고고도 우주환경모사용 터보분자펌프 진공설비 구축 (Development of Turbo Molecular Pump Vacuum Facility for High Altitude Space Environment Test)

  • 허환일;김민재;김성수
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2011년도 제37회 추계학술대회논문집
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    • pp.827-829
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    • 2011
  • 인공위성이나 우주발사체를 개발하기 위해서는 지상에서 우주환경 성능 시험이 필요하며 이를 위해서 고고도 환경을 모사할 수 있는 진공설비가 요구된다. 본 연구에서는 터보 분자 펌프를 이용하여 목표 진공도 $1.0{\times}10-6$ torr를 유지함으로써 200 km의 고도를 모사하기 위한 진공설비를 구축하고 터보 분자 펌프 장치를 구축하여 예비 진공도 성능 실험을 수행하고 보고하였다.

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