• 제목/요약/키워드: 중국반도체

검색결과 38건 처리시간 0.024초

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

  • 정지현;강봉균;김민수;이종명;이규필;박진구
    • 한국재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국재료학회 2011년도 춘계학술발표대회
    • /
    • pp.66.1-66.1
    • /
    • 2011
  • 반도체를 비롯하여 LCD, OLED와 같은 디스플레이 (FPD: Flat Panel Display) 분야는 국가 선도 사업으로써 발전을 거듭해오고 있다. 하지만 기술의 성숙도가 높아짐에 따라 최근 중국과 대만 업체와의 경쟁이 심화되고 있으며, 더불어 환경문제가 큰 이슈로 떠오르고 있어 신기술 개발을 통한 생산 수율 향상 및 친환경 공정 개발의 중요성이 커지고 있다. 반도체, 디스플레이 공정에서 생산 수율 저하의 주요 원인으로써 공정 중 발생하는 미세 오염 입자를 들수 있다. 반도체 및 디스플레이 공정에서 세정 기술은 전체 기술의 30% 이상을 차지하며 생산 수율 및 제품의 품질에도 큰 영향을 주는 공정이다. 세정 공정은 일반적으로 습식 세정 공정이 낮은 공정비용을 바탕으로 널리 적용되어 왔으나, 기판의 대형화와 패턴의 미세화에 따라 정밀한 세정 스펙이 요구되며 더불어 막대한 양의 초순수와 화학액의 사용으로 인한 공정비용 증가와 환경 규제 강화에 따른 폐수 처리의 문제에 직면하고 있다. 이에 따라 폐수의 양을 줄이며 건조공정을 필요로 하지 않아 공정비용을 줄일 수 있는 건식 세정 공정에 대한 연구가 활발히 진행 되고 있다. $CO_2$ snow jet 세정 기술은 건식 공정으로써 $CO_2$ 가스를 특수하게 제작된 분사 노즐에서 고압으로 가스를 분사하여 이 때 발생되는 순간적인 감압에 의한 단열 팽창으로 생성된 $CO_2$ snow 입자가 기판 표면의 오염물과 물리적 충돌을 하어 세정이 이루어지는 기술이다. 특히 $CO_2$ 세정은 환경과 인체에 무해하며 공정 후 바로 승화하기 때문에 추가적인 폐수처리 공정 등이 필요하지 않고, 건식 공정으로써 수세(Rinse) 공정을 필요로 하지 않기 때문에, 공정비용을 크게 줄일 수 있으며 물반점 발생을 방지 할 수 있는 친환경 건식 공정으로써의 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 자체적으로 개발한 $CO_2$ snow jet을 바탕으로 하여 다양한 공정조건을 변화시켜 세정효율을 측정하는 한편, 최적화 하기 위한 연구를 진행하였으며 더불어 $CO_2$ snow의 세정력을 정량적으로 평가하기 위한 연구를 진행하였다. 실험을 통해 가장 효과적으로 $CO_2$ snow 입자를 배출 할 수 있는 공정 조건으로써 5 bar의 캐리어 가스 압력을 사용하여, 세정력에 가장 큰 영향을 줄 수 있는 분사 노즐과 기판 사이의 거리 및 분사 노즐의 각도 등을 변화시켜 각 조건에 따른 세정효율을 평가하였다. 세정 오염물은 Silica, PSL 표준 입자(Duke scientific, USA)를 정량적으로 웨이퍼에 오염 시킨 후, 파티클 스캐너(Surfscan 6500, KLA-Tencor, USA)를 이용하여 세정 전 후의 오염입자 개수 변화를 통해 정량적으로 세정효율을 평가하였다. 본 연구를 통하여 $CO_2$ snow jet를 이용한 친환경 고효율 건식 세정 공정 메커니즘을 분석하였으며, 노즐과 기판 사이의 간격 및 분사 노즐의 각도 등을 최적화 한 세정 공정을 얻을 수 있었다.

  • PDF

레이저산업의 부활 (II. 산업용 레이저)

  • 이민경
    • 광학세계
    • /
    • 통권153호
    • /
    • pp.47-62
    • /
    • 2014
  • ${\blacksquare}$ 목적 * 우리나라 주력산업분야(자동차, 조선, 항공, 기계, 로봇, 반도체 등)에 절단, 가공, 용접, 리소그라피, 마킹, 열처리, 합성, 표면처리 등의 방식으로 활용되고, 융 복합산업(의료, 에너지, 영상, 군수, 신소재, 센서)에 광원으로 응용되는 산업용 고출력 레이저의 산업 생태계 분석을 통하여 기존 산업의 고부가화와 신산업의 경쟁력을 견인 ${\blacksquare}$ 주요현황 * (시장현황) 2011년부터 2014년까지 고출력 레이저의 시장규모는 4,452백만불(5조 463억원)에서 5,255백만불(5조 9,565억원)으로 연평균 5.7% 성장 전망 * (제품기술동향) 3세대 레이저인 광섬유 레이저와 고출력 다이오드 레이저, DPSS 레이저 등이 기술혁신을 거듭하면서 1, 2세대 레이저를 대체해 가면서 높은 수준의 성장을 거듭할 것으로 전망. 산업용레이저의 주요선진국 대비 국내 기술수준은 전체적으로 44.5%정도로 취약 * (기업동향) Coherent, Trumpf, Cymer, IPG Photonics, Rofin-Sinar 5개사가 전체시장의 55%이상을 점유하고 있으며 대부분 수직계열화를 통해 경쟁력 확보. 최근 중국의 Han's 사가 자국정부의 지원을 통해 급 부상 ${\blacksquare}$ 시사점 * 산업용 레이저를 이용한 응용기술 부분 투자가 과거에는 단기 경제적 성취는 이로웠으나, 현재에 이르러 레이저 혹은 레이저 시스템이 필요할 때마다 외국에서 관련 핵심부품, 모듈 등을 수입해야하는 실정에 이르렀음. 향후 레이저 국산화를 위한 노력과 함께 후방 소재.부품의 전략적 투자를 통해 산업의 건강한 선순환생태 환경을 조성하여 산업 경쟁력을 갖추어야 함.

  • PDF

제철플랜트용 전기제품의 변천과 전망

  • 대한전기협회
    • 전기저널
    • /
    • 통권286호
    • /
    • pp.64-69
    • /
    • 2000
  • 20세기에 있어서의 비약하는 산업계의 주축으로서 철강시장은 급속히 확대되었고 그와 더불어 신기술의 개발과 도입에서도 선도적 역할을 다하여 왔다. 특히 이 4반세기는 반도체기술의 진보와 함께 컴퓨터, 플랜트 컨트롤러, 드라이브 시스템 등 전기제품은 비약적인 진화를 이루어 왔다. 현재는 중국$\cdot$아시아$\cdot$남미를 중심으로 철강제품의 수요가 증가하여 설비투자도 확대되고 있다. 그러나 북미$\cdot$유럽$\cdot$일본에서는 생산능력과 수요와의 사이에 수급공백이 있어 이전과 같은 시장만큼의 신장은 기대할 수 없는 실정이다. 이와 같은 상황하에서 철강유저의 투자목적을 합리화$\cdot$성력화$\cdot$제품품질의 향상에 두고 있어, 미쓰비시전기는 ''경쟁력 있는 제품을 만들기와 총투자코스트의 최소화''를 서포트하는 제철플랜트용 전기제품의 제공을 지향하여, 그림에 표시하는 것과 같은 4개의 어프로치로 이에 대응하고 있다. 고품질화와 자동화에 대하여는 종래의 품질제어를 능가하는 초안정화 시스템의 적용, 프로세스의 이상 검지와 자동복구에 의한 완전 노터치 오퍼레이션의 실현, 인텔리전트 센서에 의한 프로세스의 가시화로 오퍼레이터가 최종판단을 용이하고 정확하게 할 수 있는 환경을 제공한다. 고효율화$\cdot$에너지 사용합리화에 대하여는 고역률 전원을 추구하여 고효율 드라이브장치와 모터를 제공한다. 글로벌 스탠더드화에의 대응으로서는 네트워크의 오픈화에 의한 멀티벤더 환경, 범용 하드웨어에 의한 오픈 HMI(Human Machine Interface)을 제공하고 있다. 플랜트의 신속한 가동과 리모트 메인터넌스 환경을 실현하기 위하여 플랜트 시뮬레이션 시험의 실시로 공장출하 품질의 향상을 도모한다. 또한 연구센터로부터의 원격감시와 트러블해석 서포트를 쉽게 할 수가 있다. 나아가 최근에는 급격한 기세로 신장되어 온 멀티미디어 기술, 인터넷 기술, 인트라넷 기술, 모바일단말, 화상압축기술 등에 의하여 원격집중감시, 현장과 중앙 쌍방향 협조보수작업, 버추얼 리얼리티 응용시스템이 현실화 되고있는 실정이다. 이들 IT(Information Technology)솔류션은 금후의 제철플랜트의 시스템을 크게 바꾸어 나가는 것은 물론 사업 경쟁력 강화의 키 테크놀로지가 될 것이다. 앞으로 미쓰비시전기는 제철플랜트에 대하여 유저니즈를 IT 솔루션으로 전개, 제공해 나가고자 한다.

  • PDF

해외 M&A시 산업기술 유출 방지를 위한 법 개선 연구 (A study on the improvements of law for industrial technology outflow prevention : Focusing on international M&A)

  • 김성준;김우현;이영석
    • 시큐리티연구
    • /
    • 제29호
    • /
    • pp.7-34
    • /
    • 2011
  • 우리나라의 경우 IT관련 기술뿐 아니라 반도체, 휴대폰, LCD, 자동차, 조선 등 첨단 분야에서 최고 수준의 기술력을 확보하여 세계시장을 주도함으로서 기술유출 시도가 다각적으로 대폭 증가하고 있는 것이 현실이다. 최근에는 산업스파이에 의한 불법적 기술유출뿐만 아니라 기술이전, 공동연구, 인수합병 등 정상적 기업 활동 과정에서도 기술이 유출되고 있다. 우리나라의 쌍용자동차와 중국의 상하이자동차 간의 M&A(인수 합병) 시 실제로 기술유출 문제가 발생했다. 이처럼 국가핵심기술의 유출을 목적으로 한 국내기업의 해외 합병 등과 같이 합법적이지만 국가핵심기술의 유출이 우려되는 외국인 투자가 증가하고 있지만 규제를 다루는 법들은 다양한 법으로 산재되어 있어 효과적 규율이 어려운 상황이다. 그래서 본 논문은 해외기업이 국가핵심기술을 보유한 국내기업을 대상으로 기술유출을 목적으로 한 적대적 M&A를 통해 인수하거나 합작투자로 핵심기술을 유출하는 경우에 이를 효과적으로 규율할 수 있는지 관련 법령을 살펴보고, 개선안 등 보완점을 모색해 보고자 하는 것이다.

  • PDF

2019년 거시경제 전망

  • 한정민;민성환
    • 광학세계
    • /
    • 통권173호
    • /
    • pp.38-44
    • /
    • 2019
  • 올해 국내 실물경기는 수출 증가세가 점차 둔화되고, 내수도 소비의 둔화와 투자의 감소 전환 등의 영 향으로 완연한 하락세를 보였다. 내수는 설비투자와 건설투자가 크게 감소하면서 급속한 조정 양상을 보이고 있으며, 소비도 연 2%대 증가율로 떨어지면서 둔화세를 기록하고 있다. 수출은 물량의 증가세가 유지되고 있으나, 단가는 기저효과로 인한 유가상승 폭의 축소 등의 영향으로 상승률이 떨어지면서 증가세가 둔화되었다. 2019년 세계경제는 선진권의 경기둔화와 개도권의 성장률 정체가 예상되는 가운데 하방 리스크 요인으로 인해 제한적 성장이 예상된다. 선진권은 미국경제의 성장률 하락이 예상되는 한편, 일본과 유로권도 전년보다는 약간 낮은 성장률이, 중국은 연 6%대 초반까지 성장률 하락이 예상된다. 국제유가는 글로벌 경기 둔화에 따른 원유의 수요 감소와 미 달러화의 가치 상승 등 금융 요인이 하방 압력으로 작용하나, OPEC의 감산 지속과 지정학적 불안정성이 상승 요인으로 작용하면서 연평균 보합이 예상된다. 환율은 미 달러화의 강세기조가 2019년 상반기까지 이어질 것으로 예상되지만, 하반기에는 유럽 등지의 통화긴축 전환과 미국경기 둔화 등의 영향으로 달러화가 약세로 전환하면서 연평균 기준 소폭 상승할 것으로 기대된다. 2019년 국내경제는 수출과 투자가 글로벌 경기 둔화 등의 영향으로 소폭 증가에 그치고, 소비가 전년대비 둔화세를 보이면서 2018년보다 약간 낮은 2.6%의 성장률이 예상된다. 소비는 실질소득 감소와 고용 부진 등이 예상되고, 대외 불확실성으로 인한 체감경기 약화로 증가세가 둔화되나, 보건 복지 고용의 지출 확대, 유류세 인하 등 정부 정책은 실질구매력 제고에 긍정적 요인으로 작용할 전망이다. 설비투자는 대외 불확실성과 대내 구조적 취약성 등의 영향으로 인해 제한적인 증가세가 예상되며, 건설투자도 정부의 부동산시장 안정화 대책과 SOC예산 감축 등의 영향으로 감소세가 이어질 전망이다. 수출은 세계경기의 성장세 둔화로 인해 수출물량이 소폭 증가에 그치고, 반도체의 가격 하락과 국제유가의 횡보 전망 등으로 수출단가도 하락 압력이 커지면서 2018년 보다 낮은 3.7%의 증가율이 예상된다.

  • PDF

글로벌 과학난제 도전연구프로젝트 분석을 통한 우리나라 지질자원기술에의 바람직한 제언 (Desirable Suggestions for Korean Geo-technology R&D through Analysis of the Global Grand Challenges and Moonshot Projects)

  • 김성용;성창모
    • 자원환경지질
    • /
    • 제53권1호
    • /
    • pp.111-120
    • /
    • 2020
  • 괄목할만한 과학기술성과는 이종분야간 초융합 또는 융합의 융합에서 주로 나타나고 있으며, 기술경쟁국들은 고위험 고수익 연구생태계를 추진하고 있다. 구글은 실패를 두려워하지 않는 관점에서 수많은 새로운 도전을 수행하고 있고, 미국 고등연구계획국(DARPA)의 혁신적인 연구추진은 지금까지 인터넷, GPS, 반도체, 마우스, 자율주행차, 드론 등과 같은 획기적인 성과물을 만들었다. 중국은 달기지 개척, 세계 최대 규모의 핵융합 에너지와 초대형 입자가속기 프로젝트를 추진 중이며, 일본도 '문샷형 기술개발연구제도'를 착수하여 파괴적 혁신창출을 추진하려 한다. 우리나라도 글로벌 과학난제의 도전과 해결을 위해 신규 연구프로그램을 준비하고 있다. 따라서 지질자원기술 연구자가 중심이 되어 도전하고 해결하며 공감할 수 있는 과학난제의 주제 발굴과 이들 주제에 관한 사전연구 등이 필요하다. 이를 위해서는 신진연구자 중심의 장기 창의연구사업, 우수한 과제책임자 선정, 선행연구나 참고문헌도 없는 획기적 주제 도출, 과제제안절차 간소화, 아이디어 중점 선정시스템 혁신, 컨퍼런스 형태의 집단지성에 의한 결과평가 등이 필요하다고 사료된다.

특허 출원 현황조사를 통한 안티드론 기술의 국내외 특허 동향 분석 (Analysis of Domestic and International Patent Trends in Anti-drone Technology through Patent Application Status Survey)

  • 황재효;김기중
    • 한국전자통신학회논문지
    • /
    • 제18권6호
    • /
    • pp.1217-1228
    • /
    • 2023
  • 본 논문에서는 드론의 공격을 무력화시키는 기술인 안티드론에 대한 기술 및 특허 분석을 실시하였다. 안티드론의 기술 정의, 안티드론 시스템의 기술 요소 등 안티드론의 기술에 대한 조사를 진행하였다. 또한 2011년부터 10년간 국내외에서 출원된 드론 및 안티드론의 출원 특허에 대해 조사하였다. 최근 10년간 국내 특허 출원 건수 및 안티드론에 관한 국내 특허 출원 건수를 조사하였고, 국외 출원의 경우, 미국, 유럽, 일본, 중국, PCT에 최근 10년간 출원된 안티드론에 관한 출원실적을 조사하였다. 국내 안티드론에 관한 특허 내용에 대해 "안티드론"으로 검색된 무력화 기술 특허, 드론의 탐지 및 식별 기술에 관한 특허, 드론의 무력화 기술에 관한 특허 등을 조사하였다. 본 연구를 통해 드론 탐지 기술로 출원된 총 91건의 특허 중 공공기관의 출원은 5건으로 5.5%를 차지하였고, 드론 식별 기술로 출원된 총 174건의 특허 중 공공기관의 출원은 4건으로 2.3%를 차지하였다.

EU의 관세 및 비관세 장벽 이해를 통한 EU시장 개척 방안 (A Study on the Practical Approach of European Union's Market Access through the Understanding of Tariffs and Non-Tariff Barriers in European Union)

  • 정재우;이길남
    • 통상정보연구
    • /
    • 제16권4호
    • /
    • pp.191-225
    • /
    • 2014
  • 유럽연합(European Union)은 1952년 7월, 파리조약(Treaty of Paris)을 체결한 이후 1958년 1월 로마조약, 유럽공동체(EC 조약), 1993년 11월 마스트리히트 조약(Treaty of Maastricht), 1999년 5월 암스테르담 조약(Treaty of Amsterdam), 2002년 10월 니스 조약(Treaty of Nice), 2009년 12월 리스본 조약(Treaty of Lisbon) 조약을 체결하여 유럽의 정치 및 경제적 통합을 모색하여 왔다. 현재 EU는 28개 회원국을 두고 있으며 2012년 기준으로 총 5억 명 이상의 인구, 역내 GDP가 16조 6,090억 달러에 이르며 세계 GDP의 3분의 1을 차지하는 세계최대의 경제권이다. 우리나라와는 3위의 교역상대국이다. 지금까지 우리나라는 주로 EU에 자동차, 반도체, 휴대폰, 조선과 그 부품 등의 공산품을 수출하여 왔다. 그러나 EU가 최근 미국과 FTA를 적극 모색하고 러시아와도 경제 협력을 도모하며 중국 기업들도 EU로의 진출을 적극 추진하고 있어 우리 기업의 입지가 위축될 여지가 있는 실정이다. 또한 EU는 평균 수입관세율이 낮고 비교적 가장 개방된 거래 시장이지만 크고 작은 진입장벽은 상존하여 EU의 관세 및 비관세 장벽에 대한 이해가 필요하다. 이에 본 연구는 EU 시장 개척을 위한 가장 초보적이고 기초적인 연구로 EU의 관세 및 비관세 장벽(Non-Tariff Barriers)에 관해 검토하여 우리나라 기업에게 시사점을 제시하기 위해 연구되었다.

  • PDF