• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.94.2-94.2
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• 2015

주사전자현미경은 나노 크기의 재료 및 바이오 물질의 이미지를 관찰하는 가장 일반적인 분석 장비이다. 주사전자현미경을 이용한 시료 관찰은 주로 10-5 Torr 이하의 고진공에서 이루어진다. 부도체 재료는 전자빔에 의해 대전(charging)이 발생하여 이미지가 왜곡되며, 이를 방지하기 위해 금 등의 금속을 코팅한다. 한편 10-1 Torr 이상 압력의 저진공에서는 부도체 재료도 charging이 발생하지 않아 생물시료등의 부도체 표면을 코팅없이 관찰할 수 있다. 본 발표에서는 현재 개발중인 저진공 관찰 주사전자현미경의 차동배기구조를 보여준다. 또한 차동배기에 의해 가동 압력 10-1 Torr 이상의 시료실과 10-5 Torr이하의 전자총실의 진공 배기특성을 보고하며, 저진공에서의 주사전자현미경 이미지를 보여준다.

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 1998.05a
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• pp.30-31
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• 1998

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 1997.05a
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• pp.10-10
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• 1997

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 1997.05a
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• pp.13-13
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• 1997

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 2003.05a
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• pp.52-52
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• 2003

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 2000.05a
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• pp.37-39
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• 2000

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 2000.05a
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• pp.43-43
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• 2000

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 1998.05a
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• pp.66-66
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• 1998

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 1998.05a
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• pp.68-68
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• 1998

• Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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• 2011.05a
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• pp.535-536
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• 2011

주사전자현미경은 시편의 표면형상을 수 nm의 정밀도로 관찰할 수 있는 측정 장비로, 과학 기술 및 산업 분야에서 널리 사용되고 있다. 이러한 주사현미경은 30여종 이상의 변수조합에 의해 운영되며, 정상적인 영상을 관찰하기 위해서는 변수를 최적화하는 보정작업을 필요로 한다. 본 논문에서는 이러한 보정작업을 용이하게 하기 위한 메타 휴리스틱 기법을 소개한다.