• 제목/요약/키워드: 졸겔법

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레이저 코팅

  • 한국광학기기협회
    • 광학세계
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    • 통권102호
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    • pp.22-27
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    • 2006
  • 코팅에는 매우 많은 종류가 있다. 또한 박막(Thin Film)의 경우, 기상법, 액상법, 졸겔법 또는 도금법 등의 퇴적 방식으로 제작되는 것과 산화, 확산 또는 이온 주입 등의 기판 침입법으로 형성되는 것 등 매우 다양하다. 레이저용 코팅은 그 중 극히 일부에 지나지 않으며, 시장적으로도 틈새 분야이다. 그러나 레이저가 세상에 출현한 이래 40년의 시간이 지나는 동안 레이저 가공, 레이저 의료, 리소그래피 인쇄, 광 통신, 레이저 계측 등 광범위하게 레이저가 사용되었으며, 레이저용 코팅에 대한 수요가 증가되고 있는 것이 현실이다. 레이저용 코팅은 카메라나 안경으로 대표되는 광학 박막과 동일한 성격이지만, 레이저라는 일반적으로 에너지가 강한 광선에 사용되기 때문에, 레이저 손상을 고려하여 제작해야 한다.

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화학기상증착법을 이용한 알루미나 복합분리막의 제조 (Preparation of Alumina Composite Membrane by Chemical Vapor Deposition)

  • 안상욱;최두진;현상훈
    • 한국막학회:학술대회논문집
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    • 한국막학회 1994년도 춘계 총회 및 학술발표회
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    • pp.28-28
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    • 1994
  • 세라믹 분림가은 세라믹 고유의 열적, 기계적 특성으로 인해 유기질막이 사용되어질 수 없는 작업환경에서도 사용가능하다는 장점이 있다. 기존의 세라믹 분리막 제조방법으로는 졸겔법등이 있는데, 최근들어 새롭게 주목받고 있는 것이 화학기상중착법 (chemical vapor deposition)에 의한 제조이다. CVD 법은 막의 두께를 비교적 정확하게 조절할 수 있고, 균일한 두께의 막을 제조할 수 있다는 장점이 있다.

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합성한 Aluminum Sec-Butoxide로부터 알콕사이드졸겔법에 의한 알루미나 미분말의 제조 (Preparation of the Fine Alumina Powder from the Synthisized Aluminum-Sec-Butoxide by the Alkoxide Sol-Gel Process)

  • 김창은;이해욱;정형진;김구대;박노경
    • 한국세라믹학회지
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    • 제25권6호
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    • pp.585-592
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    • 1988
  • Aluminum sec-butoxide was synthesized from aluminum foil and alcohol. The characteristics of the alumina powder prepared from the synthesized alkoxide by the Yoldas method were studied. As a result of measuring the synthesized aluminum sec-butoxide by GC, the purity of the synthesized alkoxide was 98.7% on the basis of commercial alkoxide and the yield was 78.5%. A127-MASNMR analysis shows that powders dried at 9$0^{\circ}C$ and $\alpha$-Al2O3 have 6-cordinated structure and ${\gamma}$-Al2O3 has 4-coordinated structure. The characteristics of alumina powder prepared from the synthisized alkoxide showed the same characteristics with the alumina powder prepared from the commercial alkoxide.

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Sol-Gel법에 의한 $TiO_2$ 박막의 제작과 전기적 특성에 관한 연구 (A study on the fabrication and the electrical properties of TiO$_{2}$ thin films by Sol-Gel method)

  • 유도현;강대하;이능현;김진수;이덕출
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제7권4호
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    • pp.325-330
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    • 1994
  • In this paper, $TiO_2$ thin films were fabricated by Sol-Gel method and their electrical conductivity and humidity sensing properties have been investigated. The structure of Sol can be changed by controlling for hydrolysis condition. The uniform surface of thin films was confirmed by SEM. The electrical conductivity of thin films decreased with increasing heat treatment temperature. The humidity sensing properties of thin films were good in high humidity and low frequency regions.

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Sol-gel법과 급속 열처리에 의한 PZT 강유전 박막의 제작과 그 특성 (Fabrication and characteristics of PZT ferroelectric thin films by Sol-Gel processing and rapid thermal annealing)

  • 백동수;최형욱;김준한;신현용;김규수;박창엽
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제7권5호
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    • pp.369-375
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    • 1994
  • In this study, ferroelectric thin films of PZT with different Zr/Ti ratio were prepared by sol-get processing and annealed by rapid thermal annealing at >$500^{\circ}C$>$-700^{\circ}C$ for 10 sec. -1 min. Structures of the annealed films were examined by X-ray diffraction and SEM. Thin films of PZT with perovskite structure have been obtained by annealing at >$600^{\circ}C$ or above and for 20 seconds or longer. Maximum remnant polarization of 10.24.mu.C/cm$^{2}$ and minimum coercive field of 20.06 kV/cm were obtained from the 56/44 and 65/35 Zr/Ti composition films, respectively. Dielectric constant, .epsilon.$_{r}$ of 500-1300 and dielectric loss, tan .delta., of 0.01-0.035 were obtained from the films.s.

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졸-겔법에 의한$ Ta_2$$O_5$ 박막의 전기적 특성 (Electric properties of $ Ta_2$$O_5$ thin films by sol-gel method)

  • 유영각;이준웅
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제10권1호
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    • pp.61-67
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    • 1997
  • We have studied dielectric properties of sol-gel derived tantalum oxide thin films as the insulators. As the sample is annealed from 300.deg. C to 700.deg. C, it is found amorphous below 600.deg. C and crystalline over it. Dielectric constant is maximum(18.6) when Ta$_{2}$O$_{5}$ film was annealed at 400.deg. C. It is found that dielectric strength in Ta$_{2}$O$_{5}$ film annealed at 400.deg. C (1.5MV/cm) increases and then decreases over annealed at 500.deg. C. This phenomenon was attributed to pinhole effect and crystallization. The de conduction properties can be interpreted by Poole-Frenkel effect.ect.

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졸겔법에 의한 티탄산납 제조 및 유기산 흡착특성 (Preparation of Lead Titanate by Sol-Gel Method and Characteristic of Organic Acid Adsorption)

  • 김주호;송지훈;신보철;한상오;송근호;이광래
    • 산업기술연구
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    • 제21권B호
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    • pp.133-139
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    • 2001
  • Generally $PbTiO_3$ is manufactured in a form of thin films which is useful for the application of infrared sensors and non-volatile memory devices. Moreover $PbTiO_3$ has a characteristic of adsorption for organic acid as well as electronic property. Organic acid adsorption properties of $PbTiO_3$ powder prepared by sol-gel method was compared with the powder purchased from Aldrich Co. Crystallization and particle size of $PbTiO_3$ are influenced by process variables, such as dilution of sol solution, catalysis, calcination temperature, calcination time, etc. As the size of $PbTiO_3$ power decreased until several nanometers, adsorption of acetic acid and formic acid was increased 1.5-fold and 1.2-fold respectively.

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TiN-ZrCo 복합수소 분리막의 제조와 환경성 평가 (Evaluation of Environment Imapcts on TiN-ZrCo Composites Hydrogen Seperation by Material Life Cycle Assessment)

  • 김민겸;안중우;홍태환
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제28권6호
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    • pp.627-634
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    • 2017
  • In this study, Material life cycle evaluation was performed to analyze the environmental impact characteristics of TiN-ZrCo membrane manufacturting process. Gabi was used as software. The Eco-Indicator 99 methodology was used to evaluate the 11 impact categories and the 10 impact categories using the CML 2001 methodology. Precursor TiN was synthesized by sol-gel method and zirconium was coated by ball mill method. The metallurgical, physical and thermodynamic characteristics of the membranes were analyzed by using Scanning Electron Microscope (SEM), Energy Dispersive X-ray (EDS), X-ray Diffraction (XRD), Thermo Gravimetry/Differential Thermal Analysis (TG/DTA), Brunauer, Emmett, Teller (BET) and Gas Chromatograph System (GP). As a result of the characterization and normalization, the environmental impacts of each category of impacts were GWP 100 years with the highest environmental impact of 99.9%.

Electrochromic 막의 특성과 물질이동 방지막의 효과에 대한 연구

  • 황하룡;백지흠;허증수;이대식;이덕동;임정옥;장동식
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.66-66
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    • 2000
  • Electrochromism이란 기전력 방향에 의한 가역적으로 색이 변하는 현상을 말하며, 열린 회로 기억성을 가지며 소비전력이 적고, 우수한 착색 효율을 갖는 등 여러 가지 유용성 때문에 디스플레이 및 전기적 착색 유리창에의 기술적 적용 가능성을 보이고 있다. 본 연구에서는 가장 우수한 일렉트로크로믹 특성을 내는 것으로 알려진 WO3 박막과 대향 전극으로 V2O5 박막을 사용하였다. 이들 박막은 알칼리 이온 주입물질이며, coloration.bleaching상태에서 광학 밀도가 크고, 내구성이 좋으며, 작은 비용으로 재료를 사용할 수 있다. 그리고 더 우수한 장점으로 부각되는 대면적의 코팅의 매력적인 기술인 졸겔법으로 제조 가능한 특성을 가지고 있다. 졸겔법 및 진공증착법으로 박막을 제조하고, 박막산화 및 수명저하 등의 위험이 적은 리튬이온을 이용하여 소자를 제작한 후 일렉트로크로믹 특성을 조사하고, 우수한 소자의 제조조건을 얻고자 하였다. 측정결과 졸겔법으로 제조된 WO3 박막과 V2O5 박막을 수증기 분위기에서 50$0^{\circ}C$로 1시간 열처리한 경우 가장 우수한 투과 변화율을 나타내었다. 정상전압인 2 volt보다 높은 3 volt로 cyclic voltamogram을 측정하는 과정에서 정.역방향 동작을 거듭할수록 peak이 크게 감소하는 현상을 발견하였으며, 양이온의 흐름에 의해 물질의 이동이 발생할 것이라는 판단아래 Auger depth profile을 측정한 결과 WO3막의 텅스텐과 ITO막의 인듐이 상호 확산하는 것을 관찰할 수 있었다. 이를 방지하기 위해 수백 의 텅스텐 박막을 WO3 막 위에 증착한 후 cyclic voltamogram과 Auger depth profile을 측정한 결과, cyclic voltamogram의 peak의 감소량이 1/10이하로 감호하였으며, 리튬이온의 흐름에 의한 인듐과 텅스텐의 이동을 효과적으로 방지할 수 있었다. 따라서 텅스텐 확산방지막의 삽입이 소자의 수명을 향상시킬 수 있는 효과적인 방법이라고 사료된다.

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