위상측정 간섭계를 이용한 수십 ${\AA}$ 급 및 sub ${\AA}$ 급 반사경 기판 조도 평가
(Evaluation of surface roughness using phase-measuring interferometer for a few ten ${\AA}$ and sub ${\AA}$ -rough substrates)
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- 한국광학회지
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- 제10권4호
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- pp.283-288
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- 1999