• 대한용접접합학회:학술대회논문집
• /
• 대한용접접합학회 2002년도 춘계학술발표대회 개요집
• /
• pp.276-277
• /
• 2002

• 대한용접접합학회:학술대회논문집
• /
• 대한용접접합학회 2002년도 춘계학술발표대회 개요집
• /
• pp.282-284
• /
• 2002

• 대한용접접합학회:학술대회논문집
• /
• 대한용접접합학회 2003년도 춘계학술발표대회 개요집
• /
• pp.222-223
• /
• 2003

• 한국세라믹학회지
• /
• 제36권11호
• /
• pp.1169-1177
• /
• 1999

• 한국재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 춘계학술발표회
• /
• pp.85-85
• /
• 1997

• 대한기계학회논문집
• /
• 제15권5호
• /
• pp.1538-1550
• /
• 1991

본 연구에서는 접합된 두 층이 유한한 두께를 가지고, 또한 균열은 임의의 각 도로 기울어져 있는 경우의 문제를 해석하여 층의 두께 등이 응력강도계수에 미치는 영향을 살펴보았다.

• 대한용접접합학회:학술대회논문집
• /
• 대한용접접합학회 2006년도 춘계 학술대회 개요집
• /
• pp.212-214
• /
• 2006

• 대한용접접합학회:학술대회논문집
• /
• 대한용접접합학회 2006년도 춘계 학술대회 개요집
• /
• pp.203-205
• /
• 2006

• 대한용접접합학회:학술대회논문집
• /
• 대한용접접합학회 1992년도 특별강연 및 추계학술발표 개요집
• /
• pp.122-124
• /
• 1992

• 센서학회지
• /
• 제12권6호
• /
• pp.265-272
• /
• 2003

본 논문은 파이렉스 #7740 유리 박막을 이용한 MEMS용 MLCA (Multi Layer Ceramic Actuator)와 Si기판의 양극접합 특성에 관한 것이다. 최적의 RF 마그네트론 스피터링 조건 (Ar 100%, input power $1\;W/cm^2$)하에서 MLCA기판위에 파이렉스 #7740 유리의 특성을 갖는 박막을 증착하였다. $450^{\circ}C$에서 1시간 열처리한 다음, -760 mmHg, 600V 그리고 $400^{\circ}C$에서 1시간동안 양극접합했다. 그 다음에 Si 다이어프램을 제조한 후, MLCA/Si 접합계면과 MLCA 구동을 통한 Si 다이어프램 변위특성을 분석 및 평가하였다. 다이어프램 형상에 따라 정밀한 변위 세어가 가능했으며 0.05-0.08 %FS의 우수한 선형성을 나타내었다. 또한, 측정동안 접합계면 균열이나 계면분리가 일어나지 않았다. 따라서, MLCA/Si기판 양각접합기술은 고성능 압전 MEMS 소자 제작공정에 유용하게 사용가능할 것이다.