• 전기산업
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• v.14 no.12
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• pp.24-37
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• 2003

• The Safety technology
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• no.175
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• pp.48-51
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• 2012

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.351-352
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• 2007

부분방전이 고체절연시스템에서 대부분의 절연고장과 관련된 징후를 알 수 있으므로 부분방전시험은 고전압회전기 고정자권선의 절연특성을 효과적으로 진단할 수 있다. 부분방전시험은 다른 고전적인 절연시험법과는 다르게 고전압회전기가 운전중(On-line)인 상태와 정지중(Off-line)인 상태에서 모두 측정이 가능한 장점이 있다. 정지중 부분방전시험은 고정자권선 절연상태를 평가할 수 있는 잘 알려진 시험법이다. 최근에는 운전중 부분방전시험이 권선의 절연상태를 모니터링하는데 효과적인 방법으로 운영자에게 고장징후를 알려주고, 예측보전이 가능하도록 도움을 주고있다. 이 논문에서는 수력발전기에 설치되어 운영중인 운전중 진단시스템의 각 상별 부분방전데이터를 바탕으로 정지상태에서 운전중 및 정지중 진단시스템을 이용하여 부분방전을 측정하고 시험결과를 분석하였으며, 운전중 시험과 정지중 시험의 유사성과 차이점을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.324-325
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• 2012

반도체 소자의 미세화가 진행됨에 따라 고품질의 절연막, 즉 낮은 두께에서 높은 밀도와 낮은 누설 전류를 필요로 하게 되었다. 이를 위해 기존의 화학 기상 증착법을 이용한 절연막 증착의 공정 압력을 낮추어 1 Pa 이하의 공정 압력에서 절연막 증착 공정이 필요로 하게 되었다. 본 연구에서는 화학 기상 증착법을 이용하여 최저 0.1 mtorr의 극 저압에서 SiO2 절연막증착 공정을 구현하였고, 증착된 박막의 특성을 평가하였다. Fig. 1은 공정 압력의 변화에 따른 화학 기상 증착 장비의 플라즈마 상태를 나타낸 결과이다. 1.5 mtorr의 공정 압력 까지는 플라즈마의 상태가 균일하게 나타나지만, 그 이하의 압력에서는 플라즈마 균일도가 떨어지는 결과가 나타났다. 이는 기존의 플라즈마 공정을 이용하여 절연막 증착 공정이 어려움을 제시하는 결과이며, 이의 해결을 위해 새로운 형태의 플라즈마 장치가 필요함을 시사한다. Fig. 2는 각각의 공정 압력에 다른 $SiO_2$ 박막의 증착 결과를 AFM을 이용하여 측정한 결과이다. 박막의 표면 거칠기 값은 0.9 mTorr까지는 3 nm 수준이며, 0.1 mTorr에서는 0.4 nm로 측정되었다. 플라즈마 상태가 균일하지 않은 0.1 mTorr에서도 비교적 균일한 박막을 얻을 수 있었으나, 높은 공정 업력에 비해 전체적인 균일도도 낮은 결과이며, 이는 플라즈마 상태를 보완함으로서 해결 가능하다. 측정된 박막의 밀도는 2.311~2.59 g/$cm^3$의 수준으로 벌크 상태의 밀도 값에 근접한 결과를 얻었으며 이는 저압에서 증착한 $SiO_2$ 박막의 품질이 높음을 시사한다. 절연막의 증요한 특성 중 하나인 누설 전류 값은 MIM 구조를 이용하여 측정하였다. 측정된 누설 전류 값은 10~12 A 수준으로 기존 반도체 소자 공정에 적용 가능한 수준이다. 고 품질의 절연체 박막 증착을 위해서는 플라즈마 구조를 보완할 필요가 있으며, 이를 이용하면 반도체 소자 제작에 요구되어 지는 절연막 증착이 가능할 것으로 예상된다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.15 no.3
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• pp.47-52
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• 2008

This investigation was performed in order to study the properties of deposition and layers by Silicon Dioxide, SiO2, as dielectric onto Via and Trench which have high Aspect Ratio (AR). Thus, in order to confirm these properties, three types of CVD, which were PECVD, PETEOS, and ALD, were selected. On the experiment each of the property sections was estimated that step overage of PECVD: <30%, PETEOS: 45%, ALD: 75% and the RSM of PECVD: 27.8 nm, PETEOS: 2.1 nm, ALD: <2.0 nm. As a result of this experiment for the property of electric film, ALD was valuated to be the most favorable outcome. However, ALD was valuated to have the least quality for the deposition rate. ALD deposition rate, $10\;\AA/min$ by $1\;\AA$/1cycle, was prominently lower than PETEOS, which had the deposition rate of $5000\;\AA$/min. Since electric film requires at least $1000\;\AA$ thicknesses, ALD was not suitable for the deposition rate. which is the most important component in a practical use. Therefore, in this particular study, PETEOS was evaluated to be the most suitable recipe.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.07c
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• pp.1906-1908
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• 2004

본 논문은 옥외용 고분자 절연물로 널리 사용되고 있는 실리콘 고무의 장기 자외선 가속열화에 따른 특성변화를 조사하였다. 이를 위해 전기적인 평가 방법 이외에 각종 화학적 분석기기를 사용하여 보다 정확히 재료의 열화를 판정하고자 하였다. 연구결과, 실리콘 고무는 내후성이 우수하지만, 가속열화가 진행되면서 표면의 전기적 저항률이 높아지고, 전하축적이 용이해지는 표면구조로 변하는 것을 확인하였다. 또한, 재료 내에서 발수성 회복역할을 하는 저분자량 성분이 감소하였고, 열적특성이 변화되는 것을 확인하였다. 이를 통하여, 최근 확산되고 있는 옥외용 고분자 절연물의 성능평가 및 수명예측에 도움이 되고자 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1597-1598
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• 2011

현재 $SF_6$ 가스를 사용하는 각국 정부 및 환경단체, 전기, 화학 그리고 타 산업분야에서 $SF_6$ 가스의 환경영향에 관심을 표명하고 있으며, 그 중에서도 전력산업분야는 $SF_6$의 가스 대체 물질을 찾는데 많은 연구를 하고 있다. 이에 건조공기, $N_2$ 가스 및 혼합가스($N_2:O_2$)에 대하여 많은 연구로 $SF_6$를 사용하는 전력설비를 친환경절연재인 건조공기로 대체하여 배전급에 운용되고 있다. 따라서 본 논문에서는 현재 배전급에 친환경절연재로 사용되고 있는 Dry-Air에 대하여$SF_6$와의 연면 방전 특성 비교하여 고체절연물의 절연성 평가를 하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.11a
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• pp.296-297
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• 2008

층상실리케이트 나노입자가 충진된 에폭시수지를 분산정도 향상을 위해 즉, 층상실리케이트 층간간경의 삽입과 박를 향상시키기 위해 분산제를 첨가하였고, 초음파 적용으로 분산시켰다. 그 결과 분산제 종류에따라 분산정도인 X-RD 특성이 서로다른 결과를 얻었다. 절연성능을 평가하기위해 단시간 절연파괴강도와 장시간 절연파괴특성인 트리시스템을 이용하여 절연파괴시간 및 측정하였다. 이와같은 결과에대한 통계적인 분석으로 Weibull plots를 이용하였고 그 결과 분산제가 첨가된 나노콤포지트의 기울기 파라미터인 $\beta$값의 결과로부터 나노콤포지트 우수성을 확인 할수있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2015.07a
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• pp.1487-1487
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• 2015

전력수요의 증가 및 친환경 규제 강화에 대응할 수 있는 고내열, 비가교 특징을 가진 폴리프로필렌 절연 케이블을 개발하여 열화특성을 파악하기 위해 열열화 시험을 수행하고 물성적, 전기적 특성을 분석하였다. 온도별로 열화된 폴리프로필렌과 가교폴리에틸렌 절연체를 비교평가하였으며 이 결과는 향후 폴리프로필렌 절연 케이블의 표준규격 및 운전기준을 수립하는데 활용될 것으로 기대된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1997.07e
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• pp.1743-1745
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• 1997

본 논문은 전력케이블의 열화진단을 위한 기초연구로서 6.6kV XLPE 케이블에 직류전압을 인가한 후에 절연 저항, 직류 누설 전류, 잔류 전압 비율, 킥 현상, 성극 지수 등을 각각 측정하였다. 본 논문은 전력케이블의 열화 현상을 파악하고, 예방진단을 위한 기초적인 Data를 얻기 위하여 직류 누설 전류의 특성을 파악하였다. Virgin케이블에 있어서 절연성능은 절연 저항의 특성은 거의 $\infty$를 나타내지만 잔류 전압의 특성은 케이블의 길이와 인가되는 전압에 따라서 큰 변화를 나타내고 있다. 이같은 잔류 전압의 특성은 케이블내의 공간전하의 형성과 크기에 따라서 의존되는 것으로 판단되며, 반면에 측정의 분위기에 많은 영향을 받는다. 이와같은 측정결과를 기초로 하여 계속적으로 Virgin케이블을 흡습시키면서 각 절연특성의 변화를 평가할 계획에 있다.