A study on the ion sensing properties of B and Cs coimplanted $Si_3N_4$ thin films
(B 및 Cs 가 이중이온주입된 $Si_3N_4$ 박막의 전해질 용액 중 이온감지특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2004.07c
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- pp.1691-1693
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- 2004