Effect of Surface Pretreatment on Film Properties Deposited by Electro-/Electroless Deposition in Cu Interconnection (반도체 구리 배선공정에서 표면 전처리가 이후 구리 전해/무전해 전착 박막에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Electrochemical Society
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- v.20 no.1
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- pp.1-6
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- 2017