• Title/Summary/Keyword: 전착

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Effect of Surface Pretreatment on Film Properties Deposited by Electro-/Electroless Deposition in Cu Interconnection (반도체 구리 배선공정에서 표면 전처리가 이후 구리 전해/무전해 전착 박막에 미치는 영향)

  • Lim, Taeho;Kim, Jae Jeong
    • Journal of the Korean Electrochemical Society
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    • v.20 no.1
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    • pp.1-6
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    • 2017
  • This study investigated the effect of surface pretreatment, which removes native Cu oxides on Cu seed layer, on subsequent Cu electro-/electroless deposition in Cu interconnection. The native Cu oxides were removed by using citric acid-based solution frequently used in Cu chemical mechanical polishing process and the selective Cu oxide removal was successfully achieved by controlling the solution composition. The characterization of electro-/electrolessly deposited Cu films after the oxide removal was then performed in terms of film resistivity, surface roughness, etc. It was observed that the lowest film resistivity and surface roughness were obtained from the substrate whose native Cu oxides were selectively removed.

The Effect of Impurities on Copper Deposition in Copper Electrorefining (동 전해정련시 불순물 성분이 전기동 전착에 미치는 영향)

  • Kim, Do-Hyeong;Kim, Yong-Hwan;Kim, Gwang-Ho;Jeong, Won-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.121-121
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    • 2009
  • 구리 전해정련 과정에서 전해액 중의 Arsenic과 같은 불순물 성분이 전기동의 전착에 미치는 영향을 확인하고, 전해액 중의 최대 허용 농도를 도출하고자 하였다. 전해정련 과정에서 분순물 성분이 전기동 전착에 미치는 영향을 주사전자현미경(SEM), X-선 회절(X-ray diffraction) 및 전기화학적 분석을 통해 수행하였다.

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용융염 전해방법에 의한 핵연료 Sludge처리

  • 강영호;양영석;국일현
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • v.29 no.6
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    • pp.60-64
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    • 1997
  • 핵연료의 가공공정에서 발생하는 스러지를 건식처리공정으로 회수 정제할 수 있는 건식처리 방법에 대하여 논의하고자 하였다. 건식처리방법은 수용액을 전혀 사용하지 알기 때문에 폐기물의 발생량이 습식처리방법에 비해 훨씬 줄어든다. 산화우라늄은 고온의 용융염중에서 염소개스에 의해 염소화반응을 통하여 우라늄염화물을 생성되게 되어 이들은 전기적으로 이동이 가능한 형태로 바뀌므로 전극에 선택적으로 전착될 수 있기 때문에 다른 금속이온과 분리할 수 있다. 본 보고서에서는 산화우라늄의 염소화공정, 전착공정에 대하여 기술하였고 전착된 산화물의 물리적 특성에 대하여 요약하였다.

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Influences of Polymer Additives in Electrophoretic Deposited Superconductor Film (전기영동전착 초전도후막의 폴리머 첨가물 영향)

  • 소대화;전용우
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2004.05b
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    • pp.303-306
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    • 2004
  • 전기영동법을 이용한 초전도 후막의 제작공정은 그 특성상 외부의 물리적 방법으로 입자의 밀도를 향상시킬 수 없는 특징을 가지고 있으며 전착과정에서 수소가스가 발생됨으로 미세기공의 발생원인이되고다. 또한 건조 열처리과정에서 미세크랙의 발생이 되기도 한다. 따라서 공정과정에서 특성저하요인을 근본적으로 차단하고 밀도를 향상시킬 수 있는 공정에 대하여 연구하였으며 전착조건과 첨가제인 폴리머의 상관관계에 의한 최적화 방법에 대하여 연구하였다.

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Superconducting Thick Film by Lateral Field Assisted EPD (측면보조전계 인가 형 전기영동전착 초전도후막)

  • 소대화;박성범;전용우
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2003.05a
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    • pp.378-381
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    • 2003
  • 제작 장치와 공정이 간단하고, 두께제어 및 다양한 종류와 형태의 후막제작이 가능하며, 경제적 효율성과 기술적 장점을 가지고 있는 전기영동전착방식으로 산화물계 고온 초전도 후막을 제작하였다. 전착특성을 개선하기 위하여 측면보조전계 인가 방식을 설계, 적용하였다. 측면보조전계 인가 방식의 전기영동전착법을 적용함으로써, 기존의 단독 전착전계 인가방식에 비하여 전기영동전착 후막의 표면 균일성을 확보할 수 있음으로 임계전류 밀도를 향상시킬 수 있었다. 그러므로 측면보조전계 인가방식은 전기전자, 의료, 기계 분야의 핵심 산업 및 첨단 소재의 응용분야에 이르기까지 매우 폭넓은 범위에서 효과적으로 적용될 수 있을 것으로 사료된다. 특히 후막제작이 어려운 세라믹계열에의 적용이 가능하며, CRT 튜브의 전자총 히터코일과 같은 특수 제작조건을 비롯하여 균일하고 치밀한 막의 제작이 요구되는 기술공정상의 목적이 유사한 경우의 여러 가지의 응용 대상에도 적용함으로써, 그 특성과 성능을 향상시킬 수 있을 것으로 판단된다.

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Effect of Temperature on the Formation Control of Eco-Friendly Calcium Carbonate Films by Electro-deposition Process (전착 프로세스에 의한 친환경 탄산칼슘 막의 형성-제어에 미치는 온도의 영향)

  • Lee, Seung-Hyo;Mun, Gyeong-Man;Yun, Yong-Seop;Lee, Myeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2012.11a
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    • pp.93-94
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    • 2012
  • $NaHCO_3$, $CaCl_2$ 용액 중 전착프로세스에 의해 환경친화적인 탄산칼슘 막을 형성시킴은 물론 이와 같은 용액 중 염화마그네슘의 첨가를 통해 $Mg^{2+}$의 농도를 조절함으로써 탄산칼슘 전착막의 결정구조를 제어할 수 있었다. 여기서는 특히 상기 용액 조건 중 합성 온도의 변화가 탄산칼슘 막의 석출속도, 석출량 및 결정구조 등에 어떤 영향을 미치는지 검토함으로써 이들 막에 대한 전착 설계에 유효한 지침을 제시하였다.

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Characteristic of Electro Deposition Coating for the magnesium alloy after PEO process (마그네슘 합금의 플라즈마 전해 산화 공정 조건에 따른 전착도장 특성)

  • Nam, Seok-Hyeon;Song, Tae-Seung;Seong, Mu-Chang;Park, Min-Ho
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2014.11a
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    • pp.227-228
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    • 2014
  • 마그네슘은 금속 재료중 화학적 활성이 높아 내식성 향상을 위해 표면처리 공정이 반드시 필요하다. 플라즈마 전해 산화를 통한 산화 피막 생성 후 좀더 높은 내식성 향상을 위해 전착 도장법을 사용할 수 있다. 본 논문에서는 전원 인가 방식에 따라 pulse 전원을 on/off 비율에 따른 피막 두께 변화를 측정 하였고 전착 도장을 시행 하여 cross cut test를 통한 부착성 시험을 진행해 on/off 비율 1:4 조건에 250V 전압을 인가 하였을 때 부착성이 가장 우수함을 확인 하였다. 또한 플라즈마 전해 산화 후 탕세 공정을 통해 전착 도장의 내열탕 시험 후 표면 blister의 개선 효과를 얻을 수 있었다.

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Electrodeposition onto the Surface of Carbon Fiber and its Application to Composites(I) - Electrodeposition of MVEMA and EMA (탄소섬유 표면에의 고분자 전착과 복합재료 물성(I) - MVEMA와 EMA의 전착 -)

  • Kim, Minyoung;Kim, Jihong;Kim, Wonho;Kim, Booung;Hwang, Byungsun;Choi, Youngsun
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.9 no.6
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    • pp.894-900
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    • 1998
  • An interphase between carbon fiber and epoxy matrix was introduced to increase impact strength of carbon fiber reinforced composites (CFRC) without sacrificing the interlaminar shear strength. Flexible polymers, I. e., MVEMA (poly(methyl vinyl ether-co-maleic anhydride)) and EMA(poly(ethylene-co-maleic anhydride)), which have reactive functional groups were considered as interphase materials. Weight hain of MVEMA and EMA onto the surface of carbon fibers was evaluated by changing the parameters of electrodeposition process. Electrodeposition mechanism of polymers which have anhydride functional group was identified by IR spectroscopy, that is, the generation of $RCOO^-$ functional group by the attack of hydroxide anion in the basic solution was observed. The weight gain was increased by increasing concentration of polymers, current density, and electrodeposition time. However the excess generation of oxygen gas decreased the weight gain by removing the deposited polymers. Washing in the running water easily removed the deposited polymers which are on the fiber surface without bonding, as a results, only 0.5 wt% of deposited polymers are remained.

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