• Title/Summary/Keyword: 전자 현미경

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Application of band-pass filtering techniques for improvement on 3D tomogram (3D Tomogram 향상을 위한 Band-pass Filtering 기술의 활용)

  • Ryu, Keun-Yong;Kim, Soo-Jin;Jung, Hyun-Suk;Kweon, Hee-Seok
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2011.04a
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    • pp.382-383
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    • 2011
  • 초고전압 투과전자현미경으로부터 생산된 2D 이미지들에는 고전압(1250 kV)의 사용으로 인한 다양한 노이즈가 발생한다. 따라서 2D 이미지로부터 3D tomogram으로 재구성시 선명도 향상을 위하여 2D 이미지의 노이즈 제거 과정은 필수적이다. 본 연구에서는 band-pass filtering 기법을 활용하여 노이즈를 상당 부분 제거하였고, 필터링된 이미지로부터 3D tomogram으로 재구성한 경우 band-pass filtering의 효과가 2D 이미지에서 뿐만아니라 3D tomogram으로 재구성 했을 경우에 어떤 대역의 filter radius를 적용해야 더욱 효과가 크다는 사실을 확인하였다.

저진공 주사전자현미경의 개발

  • Seol, In-Ho;Park, In-Yong;An, Sang-Jeong;Kim, Gwang-Il;Gang, Geun-Won;Jo, Bok-Rae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.94.2-94.2
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    • 2015
  • 주사전자현미경은 나노 크기의 재료 및 바이오 물질의 이미지를 관찰하는 가장 일반적인 분석 장비이다. 주사전자현미경을 이용한 시료 관찰은 주로 10-5 Torr 이하의 고진공에서 이루어진다. 부도체 재료는 전자빔에 의해 대전(charging)이 발생하여 이미지가 왜곡되며, 이를 방지하기 위해 금 등의 금속을 코팅한다. 한편 10-1 Torr 이상 압력의 저진공에서는 부도체 재료도 charging이 발생하지 않아 생물시료등의 부도체 표면을 코팅없이 관찰할 수 있다. 본 발표에서는 현재 개발중인 저진공 관찰 주사전자현미경의 차동배기구조를 보여준다. 또한 차동배기에 의해 가동 압력 10-1 Torr 이상의 시료실과 10-5 Torr이하의 전자총실의 진공 배기특성을 보고하며, 저진공에서의 주사전자현미경 이미지를 보여준다.

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InAlAs 에피층의 상분리 및 규칙 현상에 관한 투과전자현미경 연구

  • Jo, Hyeong-Gyun;Lee, Jeong-Yong
    • 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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    • 1998.05a
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    • pp.48-52
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    • 1998
  • 본 연구에서는 저온에서 InP 기판 위에 성장한 InAlAs 에피층에 존재하는 상분리와 규칙 현상을 투과전자현미경 관찰을 통해 관찰하였다. 저온에서 성장한 에피층에서 상분리의 거동이 크게 나타났으나 규칙 현상은 특정한 온도에서 최대를 나타낸다. $800^{\circ}C$ 이상에서 3분간의 열처리로 규칙 현상이 사라졌으나 상분리 현상은 변화를 보이지 않는다. 그러나 Zn가 포함된 장시간, 저온에서 열처리로 상분리 현상이 완전히 사라졌다.

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