• Title/Summary/Keyword: 전자기 유도 가열

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Evaluation of silicon powder waste quality by electromagnetic induction melting and resistance test (단결정 잉곳의 표면 그라인딩에서 발생하는 고순도 실리콘 분말 폐기물의 용해 및 품질 평가)

  • Moon, Byung Moon;Kim, Gangjune;Koo, Hyun Jin;Shin, Je Sik
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.05a
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    • pp.187.2-187.2
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    • 2011
  • 태양광산업의 value chain중 up-stream쪽인 고순도 실리콘산업은 셀, 모듈, 시스템 쪽에 비하여 영업 이익률이나 부가가치 측면에서 매우 높은 성장성을 현재 보여주고 있으며 최근 원자력산업의 안전성 문제가 대두됨으로 인하여 태양광수요가 전 세계적으로 증대되는 경향을 나타내어 태양광용 실리콘의 수요가 확대됨과 아울러 spot시장에서의 가격 또한 상승하고 있다. 이런 관점에서 잉곳 및 웨이퍼 가공 중에 발생하는 고순도 실리콘 폐기물의 재활용 이 다시 주목받고 있다. 태양전지 웨이퍼(wafer)용 소재는 6N급 이상의 결정질 실리콘 잉곳(ingot)이 주를 이루며, 고효율의 셀을 제조하기 위해서 단결정 실리콘 잉곳이 많이 사용된다. 실리콘 단결정을 육성하는 방법에는 Floating zone 법, Czochralski 법, Bridgeman 법, CVD 등 매우 다양하다. 이 중 Czochralski 법은 전체 생산량의 대부분을 차지하고 있는 방법으로, 용융액에서 결정을 인상하여 ingot을 제작하는 방법이다. 그러나 대량의 전기에너지를 소비하여 제작되는 고순도의 실리콘 단결정 잉곳은 후 가공공정에서 그 절반 이상이 분말(powder) 및 슬러지(sludge)로 폐기되므로, 자원의 재활용 및 환경오염 측면에서 주요과제가 되고 있다. Czochralski 법으로 제작된 ingot의 경우 그 표면이 매끄럽지 못하여, 웨이퍼 단위의 가공 시 형태가 진원이 될 수 있도록 표면을 미리 연마(grinding)하는데, 이때에도 미세 분말이 다량 발생하게 된다. 본 연구에서는 이러한 고순도 단결정 실리콘 ingot의 연마 가공공정에서 발생한 미세 분말을 용해하여 보았다. 진공 챔버(chamber) 내부에 유도가열 코일과 냉도가니로 구성된 장비를 통해 전자기유도가열을 이용하여 실리콘 분말 폐기물을 용해하고, 그 시편을 ICP-MS 및 비저항 측정을 통해 분말 의 특성을 조사하여 재활용 가능성을 검토해 보았다.

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The Present Status of Development of Inductively Coupled Plasma Simulator based on Fluid Model (유체 모델을 기반으로 하는 유도 결합 플라즈마 시뮬레이터 개발 현황)

  • Kwon, D.C.;Yoon, N.S.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.18 no.3
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    • pp.151-163
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    • 2009
  • The domestic development status of Inductively Coupled Plasma (ICP) simulator which is based on fluid model is explained. As each part which composes the unified simulator, electron heating module, charged and neutral particle transport module, surface reaction module including a sheath model, and GUI (Graphic User Interface) with pre- and post-processors are described in order. Also, we present data base status of chemical reaction and physical collision, which has been applied to the recently developed simulator until now. Lastly, some future plans of development are suggested.

유연성과 확장성이 뛰어난 신개념 IGBT 모듈

  • Martin Freyberg
    • KIPE Magazine
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    • v.9 no.3
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    • pp.36-40
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    • 2004
  • 모터드라이브, 무정전 전원장치(UPS), 용접기, 유도 가열시스템 등에 쓰이는 컨버터를 효율적으로 개발하는데 있어 신뢰성 높고 강인한 IGBT의 선택은 매우 중요한 역할을 한다. IGBT에는 다음과 같은 사항들이 핵심적으로 요구된다. 최신의 칩 기술의 이용으로 전력 손실(온 상태 손실 및 스위칭 손실)이 최적화되어야 한다. 컨버터 사이즈가 컴팩트해질 수 있도록 모듈 사이즈가 컴팩트해야 한다. 모듈 케이스 높이가 낮아 내부 분포 인덕턴스(stray inductance)가 작아야 한다. DC및 AC터미널들이 사용이 편리하여 인덕턴스가 낮게 DC링크 단을 배치 설계할 수 있어야 한다. 하프 브리지/쵸퍼/6팩 등과 같이 다양한 토폴로지(topology)의 모듈들이 갖추어져 있어야 한다. 모듈 상부에 간단하면서도 유연성 있는 드라이버 인터페이스가 갖추어져 있어야 한다. 기본적인 보호 기능을 위해 온도 센서가 내장되어 있어야 한다. 큰 출력 용량의 컨버터 설계를 위해 모듈의 병렬연결이 쉬워야 한다. (중략)

Study on Characteristics of Cold-pressed Sesame Oil and Virgin Sesame Oil (냉 압착 참기름과 볶음 압착 참기름의 품질 특성)

  • Kim, Bum-Keun;Lim, Jeong-Ho;Cho, Young-Sim;Park, Kee-Jai;Kim, Jong-Chan;Jeon, Jin-Woong;Jeong, Seong-Weon
    • Journal of the East Asian Society of Dietary Life
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    • v.18 no.5
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    • pp.812-821
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    • 2008
  • The characteristics of cold-pressed sesame oil (CPSO), virgin sesame oil (VSO), commercial heat-press extracted sesame oil (CHPESO) and commercial supercritical fluid extracted sesame oil (CSFESO) were investigated. The total phenolics of CPSO, VSO, CHPESO and CSFESO were 31.27, 68.33, 60.65 and 31.44 mg/100 g, respectively. Their $\gamma$-tocopherol contents were 32.82, 31.66, 29.26 and 26.87 mg/100g, respectively. The sesamol, sesamin, and sesamolin contents of VSO were the highest. The oxidation induction period (4.53 hr) of CPSO was lower than that of VSO, CHPESO and CSFESO (19.90, 16.50, and 12.23 hr, respectively). CPSO was rapidly oxidized during storage at $60^{\circ}C$ in the dark, and its peroxide value (POV) was increased about 14 times. Although there were few differences in electron-donating abilities at low concentrations (below 100 mg%), VSO showed the highest electron-donating abilities at higher concentrations (77.76% at 10,000 mg%). Contents of linolenic acid and oleic acid were $40.35{\sim}43.98$ and $31.59{\sim}33.46\;g$/100 g, respectively. CPSO contained the highest amount of oleic and linoleic acid among the variously extracted sesame oil.

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열전식 열펌프의 원리와 응용

  • 주해호
    • Journal of the KSME
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    • v.25 no.5
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    • pp.400-405
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    • 1985
  • 펠티어효과가 10여년 전에 발견되었으나 이것을 공학분야에 응용되기 시작한 것은 반도체 재료가 개발되기 시작한 1950년경부터 실용화되기 시작하였다. 이러한 열전식 열펌프를 이용하여 냉 각시스템을 만들 경우 재래식인 기계식 냉동시스템과 비교해 볼 때 여러 가지 장점이 있다. 열전식 냉동방법은 전자가 한 반도체에서 다른 반도체로 이동하면서 그 주위의 열과 함께 이동 하는 원리를 이용한 것이기 때문에 기계식 냉동시스템의 중요한 구성품인 압축기, 증발기, 응 축기, 용매제와 같은 부품이 전혀 필요가 없다. 움직이는 부품이 없기 때문에 소음이 없고 신 뢰성이 높다. 100W 보다 적은 열출력에 대해서는 무게가 적고 부피가 적은 장점이 있다. 또한 습도 제어가 정확하고 전류의 방향만 바꾸워 주면 쉽게 냉동에서 가열로 전환이 된다. 작동습 도범위는 제품에 따라 다르지만 대개 +100.deg.C~ -125.deg. C까지 가능하다. 이러한 장점 때 문에 가장 많이 응용되고 있는 분야는 군사무기인 관성항법유도무기의 전자부품실을 냉각시켜 주는 데 사용되고 그 외에 용도는 다양하다. 본 고에서는 열전식 열펌프의 원리와 그 응용에 대해서 가능한 상세히 설명하여 앞으로 이 분야에 대한 연구에 보템이 되고저 한다.

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Development of Heater Driven by Motor by Using Eddy Current (와전류 발열장치를 응용한 모터 구동형 히터 개발)

  • Chai, Yong-Yoong;Yoon, Kwang-Yeol
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.14 no.5
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    • pp.935-942
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    • 2019
  • This paper descries the operation of a heater which was designed to control a motor that generates an eddy current. As the motor drives the rotor of an eddy current heater, magnetic fields are provided within the air gap between an eddy current heater's rotor and stator. Throughout the research, a rotor composed of 8 and 16 pieces of magnets was used to analyze which are the factors that affect the efficiency of this equipment. Test results showed that the magnetic fields are influenced by variable functions including the velocity of a motor and the quantity of magnets composing a rotor.

A Study on the Formation of Polycrystalline Silicon Film by Lamp-Scanning Annealing and Fabrication of Thin Film Transistors (램프 스캐닝 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성 및 TFT 제작에 관한 연구)

  • Kim, Tae-Kyung;Kim, Gi-Bum;Lee, Byung-Il;Joo, Seung-Ki
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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    • v.36D no.1
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    • pp.57-62
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    • 1999
  • Polycrystaline thin film transistors are fabricated on the transparent glass substrate by a lamp-scan annealing. The line-shaped lamp scanning method, which is profitable for large area process, effectively radiated silicon film on glass substrate. Amorphous silion film absorbs the light which is emitted from halogen-lamp and it transformed into crystalline silicon by metal-induced lateral crystallization. In order to enhance the annealing effect, capping layer was deposited on the whole substrate. When the scan speed was 1-2mm/sec, lateral crystallization of amorphous silicon under capping layer was 18~27${\mu}m/scan$. The thin film transistor fabricated by this method shows high electron mobility over 130$cm^2/V{\cdot}sec$

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Current Regulated Delta Modulator for Series Resonant Inverter with Transformer-Coupled Load (변압기-결합형 직렬공진 인버터의 델타변조 전류제어)

  • 안희욱;김학성
    • The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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    • v.4 no.3
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    • pp.231-239
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    • 1999
  • An improved version of current-regulated delta modulator (CRDM) is investigated for the output cunent control of v voltage-source inverters that have transformer-coupled series resonant load and are operated at the resonant frequency. Conventional CRDM has not only CUlTent offset problem but also transformer flux saturation problem when i it is applied to induction heating systems that have transformel-coupled loads. To cope with these problems, the effect of flux saturation is analysed, and simple method to av이d the problem is proposed. And integral type of CRDM is a adopted to remove the cunent offset. The boundaries of integrator gain for stable operation is calculated using the c concept of sliding mode controL The validity of proposed strategy is vel퍼ed through simulations and prototype e experiments.

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플라즈마 공정 모니터링용 사중극자 질량 분석기의 필라멘트 파손분석

  • Ha, Seong-Yong;Kim, Dong-Hun;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.93.2-93.2
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    • 2015
  • 플라즈마를 포함한 반응성 가스 공정 분석용 사중극자 질량분석기의 필라멘트의 파손양상을 조사하였다. 또한 유전체 증착층이 이온원 성능에 미치는 영향을 분석하기 위하여 이온원의 일반적인 가동 전압 조건에서 Poisson방정식을 이용하여 전위를 수치 해석으로 구하였다. 사용중 파손된 필라멘트의 파단면을 주사전자현미경으로 관찰결과, 수직으로 절단되는 양상과 직경이 점차 작아지면서 erosion되는 두가지 양상을 보였다. 또한 파단면은 표면균열과 패시팅(faceting) 현상을 보였다. 필라멘트 사용시 가장 큰 문제는 패시팅(faceting)이다. 대부분의 결정에서는 다른 결정면보다 에너지 준위가 낮은 결정면이 존재한다. W 원자는 고온에서 확산 또는 증발하여 표면에서 다시 응축할 때 표면 에너지를 최소화하기 위한 독특한 평형 형상이 만들어 지는데 이것이 패시팅의 구동력이다. 이때 국부적으로 단면적이 감소하는 곳이 생기는데, 이 지점이 집중적으로 가열되고 증발이 가속화하여 파손된다. 파단면을 EDS 분석결과, 산화물을 포함한 F, Fe 및 C이 검출되었다. 이 F과 C는 공정중 사용된 CF4의 분해에 의한 것으로 생각되며, 파손된 필라멘트를 Ar 유도결합 플라즈마로 처리한 결과 이 F, Fe 및 C의 양이 감소하였다.

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An Optimal Frequency Condition for An Induction Hardening for An Axle Shaft using Thermal-Electromagnetic Coupled Analysis (열-전자기 연성해석을 이용한 차축에 대한 최적의 고주파 열처리 주파수 조건에 대한 연구)

  • Choi, Jin Kyu;Nam, Kwang Sik;Kim, Jae Ki;Choi, Ho Min;Lee, Seok Soon
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.40 no.2
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    • pp.207-212
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    • 2016
  • High-frequency induction hardening (HFIH) is used in many industries and has a number of advantages, including reliability and repeatability. It is a non-contact method of providing energy-efficient heat in the minimum amount of time without using a flame. Recently, HFIH has been actively studied using the finite-element method (FEM), however, these studies only focused on the accuracy of the analysis. In this paper, we analyzed HFIH by using a variable frequency based on the conditions of the same shape and input power then comparing the analysis results to experimental results. The analysis and experimental results indicate that the hardening depths are approximately the same using the optimal frequency of 3kHz.