• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2014.11a
• /
• pp.168-168
• /
• 2014

전기화학적으로 몇 가지 기능수를 제조하여 화학적, 전기화학적 특성을 확인하고 그 중 전해 환원수를 주요 타겟으로 하여 이를 금속 표면에 적용해 부식에 대한 영향을 실험적으로 확인하였다.

• Journal of the Korean Institute of Gas
• /
• v.12 no.4
• /
• pp.52-57
• /
• 2008

This paper studies on the wear corrosion behavior of induction hardening high strength cast iron in the acidic environments. In a variety of pH solutions, wear corrosion behavior of GC 300 with a variety of contact pressures was investigated, and corrosion wear behavior after immersion test was considered. Also, electrochemical polarization test for GC 300 was carried out in various pH solutions. The main results are as following: In the strong acidic environment, wear corrosion rate of GC 300 appears highly and in the neutral environment is stable. Also, graphitic corrosion in the strong acidic environment occurs. The corrosion current density of GC 300 becomes high in a order of pH 1 > pH 2 > pH 4 > pH 6.5.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
• /
• 2011.05a
• /
• pp.33.2-33.2
• /
• 2011

CMP (Chemical-Mechanical Planarization) 공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 CMP 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 CMP 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. CMP 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리, 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. CMP 공정에서, 폴리우레탄 패드는 많은 기공들을 포함한 그루브(groove)를 형성하고 있어 웨이퍼와 직접적으로 접촉을 하며 공정 중 유입된 슬러리가 효과적으로 연마를 할 수 있도록 도와주는 역할을 한다. 하지만, 공정이 진행 될수록 그루브는 손상이 되어 제 역할을 하지 못하게 된다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 CMP 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 CMP 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 scratch 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 연마 잔여물 흡착을 억제하고, 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 소수성 자기조립 단분자막(SAM: Self-assembled monolayer)을 증착하여 특성을 평가하였다. SAM은 2가지 전구체(FOTS, Dodecanethiol를 사용하여 Vapor SAM 방법으로 증착하였고, 접촉각 측정을 통하여 단분자막의 증착 여부를 평가하였다. 또한 표면부식 특성은 Potentiodynamic polarization와 Electrochemical Impedance Spectroscopy (EIS) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. SAM 표면은 정접촉각 측정기(Phoenix 300, SEO)를 사용하여 $90^{\circ}$ 이상의 소수성 접촉각으로써 증착여부를 확인하였다. 또한, 표면에너지 감소로 인하여 슬러리 내의 연마입자 및 연마잔여물 흡착이 감소하는 것을 확인 하였다. Potentiodynamic polarization과 EIS의 결과 분석으로부터 SAM이 증착된 표면의 부식전위와 부식전류밀도가 감소하며, 임피던스 값이 증가하는 것을 확인하였다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 SAM을 증착 하였고, CMP 공정 중 발생하는 오염물의 흡착을 감소시킴으로써 CMP 연마 효율을 증가하는 동시에 컨디셔너 금속표면의 부식을 방지함으로써 내구성이 증가될 수 있음을 확인 하였다.

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 2003.10a
• /
• pp.33-33
• /
• 2003

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
• /
• v.29 no.1
• /
• pp.88-94
• /
• 2012

In this study, the current-voltage curves for metals were measured using cyclic voltammetry. The relationship between the electrochemical properties and surface states of metals were investigated by Scanning Electron Microscope (SEM). In cyclic voltammetry, we used a 3-electrode system for the electrochemical measurements. The measurement was conducted at the condition that consists of the first reduction from the initial potential to -1350 mV, continuous oxidation to 1650 mV, and last reduction to the initial potential. The scan rates were 50, 100, 150 and 250 mV/s. The results show the C-V characteristics of metals to be for an irreversible process, which was caused by the oxidation current from cyclic voltammogram, when monoethanolamine (MEA) was used as a corrosion inhibitor. When we used MEA as a corrosion inhibitor, the diffusion coefficient was decreased as the concentration of electrolyte was increased. In the SEM images of copper, we observed an increase of surface corrosion at the increased electrolyte concentration. Addition of $1.0{\times}10^{-3}M$ corrosion inhibitor MEA reduced the effect of corrosion prevention due to the relatively large diffusion coefficient at the electrolyte concentration of 0.1N.

• Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
• /
• v.27 no.1
• /
• pp.187-192
• /
• 2021

In this study, Inconel 625 was used as a thermal spray material to prevent dew point corrosion damage to the economizer tube, and sealing treatment was performed after applying the arc thermal spray coating technology. Various electrochemical experiments were conducted in the 0.5 wt% sulfuric acid solution to analyze the corrosion resistance of the thermal spray coating (TSC) layer. After the anodic polarization experiment, the degree of corrosion damage was determined through a scanning electron microscope and EDS component analysis. When measuring the open circuit potential, the effect of the sealing treatment was confirmed through stable potential formation of the TSC+sealing treatment (TSC+Sealing). As a result of the anodic polarization experiment, the passivation region was confirmed in TSC and TSC+Sealing, and corrosion resistance was improved as no corrosion damage was observed. In addition, the corrosion resistance of TSC+Sealing was the best when analyzing the corrosion potential and corrosion current density calculated by Tafel analysis.

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
• /
• 2009.11a
• /
• pp.211-212
• /
• 2009

• Journal of the Korean Electrochemical Society
• /
• v.3 no.1
• /
• pp.5-10
• /
• 2000

In the present work, corrosion rate W and corrosion potential tow were simultaneously measured as a function of relative humidity RH employing the electrochemical wet and dry method as an accelelated atmospheric corrosion method. The W versus (vs.) RH curve is classified into .three regions, namely, the first W plateau region, the second region of the linear relationship between logarithmic W and RH, finally, followed by an abrupt decay region. Based upon the atmospheric corrosion mechanism of mild steel, we introduced another diagram of $\varepsilon_{corr}$ vs. RH which is divided into three regions. In the first region, the corrosion scales are composed of single lepidocrocite-phase $(\gamma-FeOOH)$; in the second region, $\gamma-FeOOH$-phase coexists with magnetite-phase $(Fe_3O_4)$ in the scales and finally the oxide scales change into a single Fe304-phase in the third region. The three distinct regions of both representations share almost each other, which is validated by FT-IR (Fourier transform infra-red) analysis and surface observation. Both representations prove to be convenient and complementary for surveying the spectrum of the atmospheric corrosion of mild steel.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 1998.05a
• /
• pp.95-95
• /
• 1998

현장에서 부식속도를 측정하는 방법의 하나인 전기저항 프로브(Electric Resistance Probe, ER probe)는 시편이 부식되는 양에 비례하여 저항이 증가하는 원리를 이용한 것으로 부식기구에 무관하게 직접적인 부식속도의 측정이 가능하다. 그러나, 와이어나 판형으로 기계 가공된 프로브로 제작되어 미량의 부식에는 저항변화폭이 작아 긴 측 정시간이 필요하고, 특히 국부 부식의 경우 부식이 상당히 진행되더라도 전체 저항변 화가 크지 않은 문제점이 있다. 박막형 전기저항프로브는 미량의 부식에서도 저항변화폭이 크게 나타나도록하기 위 하여 금속 박막을 스퍼터링으로 증착하여 동일 부식량에서 저항 변화율을 크게 향상 시킨 프로브이다. 이 프로브는 좁은 선폭(O.25-1mm)의 세선을 복수개 포함한 형상으로 프로브를 설계하여 핏팅이 발생하면 하나의 세선이 끊어지도록 하여 국부적인 부식이 일어날 경우에도 저항변화가 크게 나타나도록 고안되었다. 탄소강의 경우 일반적인 환경에서는 부식속도가 결정립의 크기, 가공경화의 정도등 에 민감하게 변화되지 않는 것으로 알려져 있으나, 박막으로 증착되었을 경우에는 별 크재료와는 전혀 다른 미세구조를 가지므로 벌크의 부식거동과는 다른 거동을 보일 수 있다. 이 연구에서는 증착조건을 달리하여 증착된 철 박막의 결정성, 비저항, 표면 상태, 조성등을 4 point 프로브, SEM, Auger spectroscopy등을 이용하여 조사하고 각각의 전위, 부식속도등과의 상관관계를 조사하였다. 증착된 박막의 비저항은 증착중 혼입된 산소의 양에 따라 매우 민감하게 변화하였다. 산소가 l0at%이상 함유된 철은 강의 알려진 비저항보다 수십배 높은 비저항을 보이며, 부식전위가 높아지고 실제 부식속도 또한 매우 낮게 나타났다. 박막의 부식거동은 미량 불순물에 의해서도 크게 변화하였는데 동일한 수준의 비저 항을 갖는 철 박막에서도 99.9% 순도의 철을 타켓으로 하여 증착된 막은 일반 저탄소 강을 타켓으로 하여 증착된 막보다 훨씬 낮은 부식속도를 보였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 1999.07d
• /
• pp.1941-1946
• /
• 1999

본 연구는 우리 나라 물공급의 60% 이상을 담당하고 있는 한국 수자원 공사의 수자원 관리 설비의 방식에 관한 연구이다. 특히 수자원 관리 시설의 대부분이 철구조물로 외부에 노출되어 있거나, 해수와 담수에 동시에 접해있기도 하며 끊임없이 화학약품에 영향을 받고 있기도 하다 이러한 매우 열악한 환경 하에 있는 대부분의 설비 및 철구조물들은 부식이 쉽게 되어 부식으로 인한 시설관리 및 경제적 피해가 발생하게 된다. 수자원 공사는 여러 해 동안 설비 보전을 위해 부식에 관한 많은 연구들을 수행하고 있으며 그 중 도장을 통한 설비의 방식을 주로 시행하고 있으나 이런 도장 방식이 체계적으로 정리되어 있지 않고 또한 도장 방식의 수명이 길지 못하므로 주기적으로 재시공하여야 한다는 단점이 있다. 알루미늄 코팅 방식은 알루미늄이 철 보다 부식 전위가 낮아 부식이 잘 진행되어 철 구조물의 부식을 방지하는 희생 양극 특성이 있다. 그러나 알루미늄 도장의 경우 시공 단가가 비싼 단점이 있어 시공비를 줄이기 위하여 알루미늄 도장전에 철 구조물의 표면을 전처리하는 공정을 개선하여 총 시공비의 80%를 점하는 전처리 비용을 절감하여 경제적인 도장 방법을 조사하고자 하였다.