• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2008.11a
• /
• pp.145-146
• /
• 2008

RF 마그네트론 스퍼터링의 파워 ($50{\sim}150W$) 및 분압 ($2{\sim}10\;mTorr$)등의 증착 조건과 두께 ($50{\sim}1200nm$)에 따르는 Si 박막의 미세구조 변화와 그에 따르는 전기화학적 특성에 대하여 연구하였다. 파워와 분압이 증가할수록 미세구조가 거칠어지며 그에 따라 초기용량은 증가하였으며 두께가 증가함에 따라 사이클 특성은 감소하는 경향을 보였다.

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 2002.10a
• /
• pp.36-36
• /
• 2002

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 2002.10a
• /
• pp.20-20
• /
• 2002

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 2002.10a
• /
• pp.19-19
• /
• 2002

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 2002.07a
• /
• pp.171-174
• /
• 2002

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 1998.10a
• /
• pp.14-14
• /
• 1998

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 1998.10a
• /
• pp.86-86
• /
• 1998

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 1998.10a
• /
• pp.73-73
• /
• 1998

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 2004.04a
• /
• pp.76-76
• /
• 2004

• 한국전기화학회:학술대회논문집
• /
• 2001.04a
• /
• pp.36-36
• /
• 2001