• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.06a
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• pp.88-88
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• 2007

Chemical mechanical polishing (CMP) 공정은 그 어원에서 알 수 있듯이 슬러리의 화학적인 요소와 웨이퍼에 가해지는 기계적 압력에 의해 결정되는 평탄화 기술이다. 최근, 금속배선공정에서 높은 전도율과 재료의 값이 싸다는 이유로 Cu률 사용하였으나, 디바이스의 구조적 특성을 유지하기 위해 높은 압력으로 인한 새로운 다공성 막(low-k)의 파괴와, 디싱과 에로젼 현상으로 인한 문제점이 발생하게 되었다. 이러한 문제점을 해결하고자, 본 논문에서는 Cu 표면에 Passivation layer를 형성 및 제거하는 개념으로 공정시 연마제를 사용하지 않으며, 낮은 압력조건에서 공정을 수행하기 위해, 전해질의 농도 변화에 따른 선형추의전압전류법과 순환전압전류법을 사용하여 전압활성화에 의한 전기화학적 반응이 어떤 영향을 미치는지 연구하였다.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.39 no.5
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• pp.356-363
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• 1995

The chemical behavior of the transition metal (Nb4+ and Mo4+) complexes with organoligand (dichloro-bis(η-cyclopentadienyl) has been investigated by the UV/vis-spectrophotometric, magnetic, and electrochemical method. The two or three energy absorption bands are observed by the spectra of these complexes. The magnitude of crystal field splitting energy, the spin pairing energy and bond strength was obtained from the spectra of the complexes. These are found to be delocalization, low-spin state, and strong bonding strength. The magnetic dipolemoment are found to be paramagnetic and diamagnetic complexes. The redox reaction processes of complexes were investigated by cyclic voltammetry in aprotic media. As a result the redox reaction proceses of Nb-C complex was couple-single reaction with diffusion and reaction current one electron process, and also Mo-C complex was couple-single reaction with reaction current of one electron process.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.39 no.11
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• pp.842-847
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• 1995

The electrochemical reduction reactions of N '-aryl-N-alkyl-N-nitrosourea derivatives with a glassy carbon electrode were diffusion controlled and irreversible. The exchange kinetic constant ko values for reduction reaction of the N '-aryl-N-alkyl-N-nitrosoureas were at the range of $1.48{\times}10^{-6}{\sim}5.32{\times}10^{-7}\;cm/sec.$ The $k_0$ values for phenyl substituted on the aryl position were about 1.3∼2.8 times higher than that of other substituents. The same substituent for aryl groups on the both of N '-aryl-N-alkyl-N-nitrosourea and N '-aryl-N-(2-chloroethyl)-N-nitrosourea exhibited same value. The $E_p$ value was shifted to the negative direction as pH increased. The number of protons participated to the reduction was 4∼5, respectively. The substituent effect of aryl group on the reduction potential was not observed in this case.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.25 no.5
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• pp.325-330
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• 1981

The electrochemical behavior of cadmium electrode for the nickel-cadmium battery system has been studied by cyclic voltammetry, controlled potential electrolysis and X-ray diffraction method. Cathodic polarization curve for cadmium hydroxide electrode prepared by electrochemical pretreatment of metallic cadmium showed two peaks. It has been found that cadmium hydroxide was reduced to cadmium metal at the first peak potential, whereas very activated metal of cadmium which was strongly oriented (002) rather than (101) was formed at the second peak potential. It was also found that the cadmium formed at the second peak potential reacted rapidly with oxygen. Therefore, it could be presumed that the cadmium recombination reaction with the oxygen was chemical, and could be represented as $2Cd + O_2 + 2H_2O\;{\longrightarrow}\;2Cd(OH)_2$.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.10a
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• pp.30.2-30.2
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• 2011

나노 채널 구조는 반응 물질의 빠른 확산 경로를 제공하고, 넓은 반응 활성화 면적을 가지므로, 센서, 촉매, 전지 등의 다양한 기능성 전기 화학 소자용 고효율 전극 구조로서 관심을 받고 있다. 최근 양극 산화법을 이용하여, 자가 배열된 나노 채널 구조의 주석 산화물을 형성시키는 연구가 진행되고 있다. 그러나, 기재위에 도금된 주석 박막이 양극 산화에 의해 산화물로 변화하는 과정에서 내부 균열 및 표면 기공의 막힘 현상이 관찰되고, 기재 위 주석의 산화가 완료되는 시점에서는 기재의 산화 및 산소 발생에 의한 기계적 충격 등으로 인해 산화물이 기재로부터 탈리되는 문제가 발생하여, 그 응용 연구가 크게 제한되어 있는 실정이다. 본 연구에서는 다공성 주석 산화물 합성 시의 구조적 결함이 나타나는 이유에 대해 체계적으로 분석하고, 이를 바탕으로 결함이 없는 나노 채널 주석 산화물을 제조하는 방법을 제시하였다. 또한, 주석 산화물 박막을 기능성 전기화학 소자용 전극 활물질, 특히 리튬 전지용 음극재료로 사용하기 위한 효과적인 전극 제조 방법에 대해 논의하고, 그에 따라 제조된 전극의 충방전 용량, 사이클링 안정성 등을 제시하였다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2009.06a
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• pp.399-402
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• 2009

폴리올프로세스에서 PVP(Poly Vinyl Pyrrolidone) 안정제와 $NaNO_3$ 첨가제를 통해 환원속도를 조절하여 6.8 nm의 나노 큐보옥타해드론을 합성하였다. 투과전자현미경을 통해 백금 나노입자의 격자구조를 관찰하였다. 전기화학적 측정방법을 통해 백금 큐보옥타해드론 촉매가 구형의 촉매보다 우수한 촉매 성능을 나타냄을 확인하였다. 순환전류법을 통해 백금 촉매의 역방향 픽과 순방향 픽의 비율이 더 높은 것을 관찰하였다. 이것은 백금 큐보옥타해드론 촉매가 반응중 생성되는 촉매독에 강하다는 것을 의미한다. 백금 큐보옥타해드론 촉매의 표면은 {111}면과 {100}면이 혼재하며 모서리가 많이 드러나 메탄올 산화반응에 더 우수한 촉매성능을 나타내는 것으로 사료된다. 백금 촉매의 모양을 조절함으로서 백금 촉매의 표면 구조를 조절하였으며 이를 통해 높은 전류밀도를 나타내는 우수한 촉매를 합성할 수 있었다. 또한 0 ~ 0.6 V(NHE) 영역에서 촉매의 안정성을 평가한 결과 더 높은 안정성을 나타냄을 확인하였다.

• Prospectives of Industrial Chemistry
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• v.23 no.2
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• pp.12-22
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• 2020

전기변색 물질은 전압을 인가하였을 때 산화-환원 반응을 통해 흡수도나 투과도 같은 광학적 물성 변화를 보인다. 이러한 전기변색 물질에 기반한 전기변색 소자는 높은 투과도 변화, 낮은 구동 전압, 간단한 소자 구조 등 다양한 장점을 가지고 있어 차세대 투명 디스플레이로 각광받고 있다. 최근에는 이러한 전기변색 소자에 변색 특성 이외에 유연성 및 에너지 저장성 등 다양한 기능을 추가하는 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 본 기고문에서는 전기변색 소자의 기본적인 구동 원리 및 다기능 개발 동향 등에 대해 알아보고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.411.2-411.2
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• 2016

직접 메탄올 연료전지 (DMFCs)는 친환경적이고 낮은 작동 온도로 인한 빠른 구동, 높은 에너지 밀도 등 다양한 장점을 가지고 있어 차세대 에너지 변환소자로 많은 관심을 받고 있다. 직접 메탄올 연료전지는 메탄올을 연료로 사용하며, 메탄올이 보유하고 있는 화학적 에너지를 전기 에너지로 변환하는 장치로써 음극에서는 백금 촉매로 인한 메탄올 산화반응, 양극에서는 환원 반응이 일어나며 전기화학적 구동을 하게 된다. 하지만 일산화탄소 피독으로 인한 촉매 활성 저하, 메탄올의 cross over, 백금 촉매 사용으로 인한 고비용 등의 문제점을 가지고 있다. 따라서 많은 연구자들이 백금 사용량을 줄이고 백금 촉매를 고르게 분포하기 위해 값이 저렴하고 넓은 비표면적을 갖는 탄소계 (graphite, graphene, carbon nanotube, carbon nanofiber 등) 지지체 재료를 도입하고 있다. 이 중 탄소나노섬유 (carbon nanofibers, CNFs)는 우수한 전기전도도와 열적/화학적 안정성을 가지고 있으며, 특히 넓은 비표면적을 가지고 있어 백금 촉매의 지지체로서 많은 연구가 진행되고 있다[1]. 따라서 우리는 전기방사법을 활용하여 넓은 비표면적을 보유하는 다공성 탄소나노섬유를 성공적으로 합성하였다. 또한, 이를 백금 촉매의 지지체로 도입하여 직접 메탄올 연료전지를 위한 다공성 탄소나노섬유에 담지된 고분산성 백금 촉매를 제조하였다. 제조한 다공성 탄소나노섬유의 형상 및 구조 분석은 주사전자 현미경 (field-emission scanning electron microscopy)와 투과전자 현미경 (transmission electron microscopy)를 이용하여 분석하였고, 결정구조와 화학적 결합상태는 X-선 회절분석 (X-ray diffraction) 및 X-선 광전자 분광법 (X-ray photoelectron spectroscopy)를 이용하여 규명하였다. 전기화학적 특성은 순환 전압 전류법 (cyclic voltammetry)를 이용하였다. 이러한 실험 결과들을 바탕으로 다공성 탄소나노섬유에 담지된 고분산성 백금 촉매의 자세한 특성을 본 학회에서 다루도록 하겠다.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.35 no.6
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• pp.673-679
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• 1991

The electrochemical reduction of N-tert-butylbenzothiazole-2-sulfenamide (TBBS; vulcanization accelerator) was investigated by direct current, differential pulse polarography, cyclic voltammetry and controlled potential coulometry. The electrode reduction of TBBS proceeded E-C-E-C reaction mechanism by four electrons transfer at irreversible one wave (-2.31 volts vs. Ag/0.1M AgN$O_3$ in AN). As the results of controlled potential electrolysis, mercaptobenzothiazole (MBT), benzothiazole disulfide (MBT dimer) and extricated sulfur were products which followed by cleavage of the sulfenamide (-S-N=) bond. Upon the basis of products analysis and polarogram interpretation with pH variable, electrochemical reaction mechanism was suggested.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.35 no.6
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• pp.680-688
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• 1991

The electrochemical reduction of N-oxyldiethylenebenzothiazole-2-sulfenamide (ODBS; vulcanization accelerator) was investigated by direct current polarography, differential pulse polarography, cyclic voltammetry and controlled potential coulometry. The irreversible electrode reduction of ODBS proceeded E-C-E-C reaction mechanism by three electrons transfer with irreversible one wave (-1.86 volts vs. Ag/0.1 M AgN$O_3$ in AN). As the results of controlled potential electrolysis, mercaptobenzothiazole (MBT), benzothiazole disulfide (MBT dimer) and extricated sulfur were products which followed by cleavage of the sulfenamide (-S-N=) bond. Upo the basis of products analysis and polarogram interpretation witli pH variable, electrochemical reaction mechanism was suggested.