• Title/Summary/Keyword: 전계 방출

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Transfer Mold 법에 의한 전계 에미터 어레이 제작 및 특성

  • 조경제;이상윤;강승열
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1998.02a
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    • pp.90-90
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    • 1998

  • 전계 에미터 어레이(FEA)는 진공에서 전계률 인가하여 전극으로부터 전자률 방출시키는 전자원으로서, 마이크로파 소자 및 명판 디스플레이, 센서 둥에 이용된다 .. Transfer Mold 법 은 뾰족한 에미터 립과 게이트 절연막 및 게이트 전극 충올 형성한 후 유리와 같은 기판에 이전 시키는 방법으로, 이러한 방법은 Mold 형태 위에 코탱 충의 두께 조절과, 게이트와 립 높이 조절이 가능하며, 그리고 유리 기판 위에 접착하여 대면적의 평판 디스플레이를 제작 할 수 었다는 장점이 있다[1,2]. 본 연구에서는 일반적으로 사용되는 실리콘 기판올 습식 식 각하여 Mold률 제작하는 방법 대선에, 측벽 스페이스 구조률 이용한 새로운 방법의 Mold 형태률 이용하여 게이트률 가진 에마터 립올 제작하였다. 먼저 실리콘 기판 위에 산화막올 증착하고 그 위에 게이트 전극파 게이트 절연막을 LPCVD 방법으로 증착하여 구명 형태로 패터닝 한 후, BPSG(Boro Phospher Silicate Glass) 박막올 증착하여 고온에서 훌러 내려 뾰족한 형태의 주형(Mold)률 제작한 후 TiN율 증착하여 정전 접합(an여ic bon벼ng)이나 레 진(resine)둥으로 유리률 접합한 후 KOH 용액으로 실리콘 기판옵 뒷면부터 식각해 낸다. 그 다옴, 립과 게이트 위에 있는 절연막올 제거한 후 뾰족한 전계 에미터 어레이륭 제조하 였다. 자세한 제조 공정 및 제작된 에미터 립의 특성은 학회에서 발표될 예정이다.

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Computer Simulation for Development of Micro-Focus X-ray Generator (미소초점엑스선원 개발을 위한 전산모사)

  • Kim, Sung-Soo;Lee, Youn-Seoung;Kim, Do-Yun;Ko, Dong-Seob
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.20 no.6
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    • pp.403-408
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    • 2011

  • To develop the MFX (Micro-Focus X-ray) tube, the trajectories of electrons emitted from the field emission cathode was simulated using SIMION program. Regardless of starting position of the electron in emitter, we found out the fact that there is the optimum extractor voltage Ve, which can focus the electron beam on one place. Extractor voltage Ve varies depending on the source voltage Vs, but the ratio of two voltages (Ve/Vs) is always constant, its value was 99.4%. When the ratio of two voltages (Ve/Vs) was 99.4%, the beam diameter in the cross-over point was $1.2{\mu}m$. Because the focal spot size in MFXG (Micro-Focus X-ray Generator) can not be less than the cross-over diameter within MFX tube, it is important to find out the conditions that can make a smaller beam diameter. Therefore, the above results is considered to be a very important ones in the development of the MFXG.

  • https://doi.org/10.5757/JKVS.2011.20.6.403 인용 PDF KSCI