저 유전상수 폴리머와 SiO$_2$ 기판위에 형성된 Al/Ti박막의 우선방위 비교
(Comparative Study of Texture of Al/Ti Thin Films Deposited on Low Dielectric Polymer and SiO$_2$ Substrates)
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- 마이크로전자및패키징학회지
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- 제7권2호
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- pp.37-42
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- 2000