• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.217.1-217.1
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• 2014

반도체 및 디스플레이 산업은 많은 공정들에서 저온 플라즈마 반응을 이용한다. 특히 소자 제작을 위한 실리콘 박막의 증착은 저온 플라즈마 공정의 주요 공정이다. 하지만 실리콘 박막을 합성하는데 있어서 저온 플라즈마에서 형성되는 실리콘 나노 입자는, 오염입자로써 박막의 특성을 악화시켜 소자생산 수율을 악화시키는 주요 원인이 되고 있다. 따라서 플라즈마에서 입자 형성의 원인이 되는 화학반응 및 입자들의 성장 매커니즘에 대한 연구는, 1980년대 플라즈마 공정에서 입자 합성이 보고된 이래 공정의 최적화를 위해 꾸준히 연구되어왔다. 이러한 매커니즘의 연구들은, 플라즈마 화학반응에 의해 실리콘 입자 핵을 만들어 내는 과정과 입자들이 충돌에 의해 성장해가는 과정으로 나눠진다. 플라즈마 화학 반응 과정은 아레니우스 방정식에 의해 정의된 반응계수를 이용하여 플라즈마 내 전자와 이온, 중성 화학종들이 전자 온도와 전자 밀도, 챔버 온도 등에 의해 결정되는 현상을 모사한다. 또한 이 과정에서 실리콘을 포함하는 화학종들의 반응에 의해 핵이 생성 되가는 양상을 모사한다. 생성된 핵은 충돌에 의해 입자가 성장해 가는 과정의 가장 작은 입자로써 이용된다. 입자들이 성장해가는 과정은 입자들이 서로 충돌하면서 다양한 입경의 입자로 분화되어가는 현상을 모사한다. 이 과정에 의해 다양한 입경분포로 분화된 입자들은 플라즈마 내 전자에 의해 하전되며, 이러한 하전 양상은 입경에 따라 다른 분포를 보인다. 본 연구에서는 입자의 하전 분포를 고려하여, 입자들의 성장의 주요 원인인 입자간의 충돌을 대표하는 충돌주파수를 수정하는 방식을 채택하여 보다 정밀한 입자 성장 양상을 모델링하였다. Inductively coupled plasma (ICP) 타입의 저온 플라즈마 반응기에서 합성된 입자들을 Particle Beam Mass Spectrometer (PBMS)와 Scanning Electron Microscope (SEM)를 이용하여 입경분포를 측정한 데이터와 모델링에 의해 계산된 결과를 비교하여 본 모델의 유효성을 검증하였다. 검증을 위해 100~300 mtorr의 챔버 압력 조건과 100~350 W의 입력 전력 조건들을 달리하며 측정한 결과와 계산한 데이터를 조건별로 비교하였다.

• Journal of Sericultural and Entomological Science
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• v.18 no.2
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• pp.1-60
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• 1976

In present study, radioautography and electron-microscopy were applied by the author to the elucidation of the mechanism of diapause in Bombyx mori L. (1). Patterns of nucleic acid and protein syntheses during embryonic development of silkworms, incubated at high and at low temperatures, were demonstrated by means of radioautography with labelled precursors of nucleic acid and protein. On the third day after blastokinesis the embryo incubated at high temperature generally incorporated much of the $^3$H-glycine into the brain and the suboesophageal ganglion, and some into other regions. When incubated at low temperature, no difference in the pattern between the brain, the suboesophageal ganglion and other parts was observed. Radioautography with $^3$H-thymidine revealed no significant difference in DNA synthesis in embryos incubated at high and low temperatures. In diapausing eggs twenty days after deposition, only a few cells of the mesoderm incorporated the labelled material into their nuclei, but in the hibernated eggs all the nuclei of the mesoderm had thymidine incorporation. After blastokinesis only the anterior portion of the embryo around the brain and the suboesophageal ganglion had thymidine incorporation; this was not observed in the posterior portion.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.40 no.10
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• pp.656-662
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• 1996

Using low temperature and atmospheric pressure method, we synthesized Na, TPA-ZSM-5 with Si/Al ratio of about 100. We employed 27Al and 29Si MAS NMR spectroscopy and FT-IR to investigate the crystallization process as a function of time. The chemical shift depends on the initial composition of reactants and changes during the course of synthesis different from those reported by others earlier. However, the chemical shift of our final product showed in the range of typical ZSM-5. And the defect site was removed by the calcine. From XRD and SEM data, the formation of ZSM-5 was also confirmed.

• Tribology and Lubricants
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• v.5 no.2
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• pp.7-20
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• 1989

합성윤활유(synthetic lubricant)라 함은 현재까지도 계속되고 있는 광유(mineral oil) 전성시대의 광유에 대응되는 말로써 광유계 윤활유로 부터 얻기 어려운 높은 점도지수, 우수한 저온 유동성 등의 특성을 얻기 위해 유기합성방법에 의해 인위적으로 제조한 윤활유의 총칭이며 작용기의 종류, 합성방법, 등에 따라 다양하게 분류된다. 합성윤활유의 종류에는 합성방법에 따라 폴리머형(P형), 비폴리머형(N형)으로 대별되는데, 폴리머형 합성유에는 poly-butene, poly-$\alpha$-olefin, Polyalky lenglycol, Silicon oil, Chlorofluorocarbon, Perfiuoroalkylpolyether 등이 있으며, 비폴리머형 합성유에는 Alkylbenzene, Dibasicacidester, Polyolester, Silicate-ester Polyphenylether, Complex ester 등이 포함된다. 전자의 경우에는 중합반응 조건을 조절하므로써 여러점도 등급의 합성유들을 얻을 수 있는 반면 후자의 경우에는 분자량이 크지 않으므로 저점도의 것만 얻어지는 것이 특징이다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2007.11a
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• pp.31-32
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• 2007

저온 공정이 가능한 대향타겟식 스퍼터 (Facing Target Sputtering, FTS) 를 이용하여 Flexible display에 적용 가능한 polymer 기판위에 산소 가스 유량비 변화에 따라 ITO를 합성하였다. 산소의 유량이 2.8 sccm 일 때 가시광 영역에서 85%이상의 투과도와 2.26 ${\sim}$ 10$^{-4}$ ${\Omega}$ cm의 가장 낮은 전기적 특성을 나타내었다.

• Journal of Energy Engineering
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• v.9 no.2
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• pp.102-108
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• 2000

난류상태로 유동중인 고분자 수용액은 순수 용매만의 경우에 비교할 때 동일유량에서 초기에 높은 마찰 저항감소효과를 보이며, 이러한 마찰저항감소효과는 펌프의 펌핑능력 증대로 큰 경제적 이익을 가져다준다. 그러나, 고분자 수용액은 그 극적인 마찰저항감소효과에도 불구하고 유동중에 가해지는 기계적 에너지, 열에너지 등에 의해서 초기의 높은 마찰저항감소효과를 점차적으로 상실하게 되기 때문에, 고분자 수용액의 퇴화를 완화시키기위한 연구가 필요하다. 따라서 본 연구에서는 기계적 퇴화특성이 비교적 강한 합성고분자와 계면활성제의 농도합계를 100wpm 으로 고정하고 비율을 11가지로 세분화하여 , 1$0^{\circ}C$의 온도에서 유속 1.5m/sec , 3.0m/sec 및 4.5m/sec 에 대한 퇴화경향을 알아보는 실험을 수행하였으며, 각 조건에서 합성고분자와 계면활성제의 적정비율을 관찰하였다. 실험 결과, 각 속도에서 시간에 따른 퇴화경향은 고속에서 기계적 에너지에 대한 퇴화를 볼 수 있었고, 계면활성제와 합성고분자를 혼합하여 첨가했을 경우 저온에서도 퇴화완화효과가 있음을 확인하였다.

• Information Display
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• v.13 no.1
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• pp.31-36
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• 2012

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.49 no.6
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• pp.781-785
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• 2011

In this work, a nano-sized samaria-doped ceria(SDC) was prepared by a urea-based hydrothermal method and characterized by XRD, FESEM and TEM. It was observed that the increase in synthesis time and temperature gave rise to crystallity and particles size. Moreover, the synthesised powders had a excellent ion-conductivity(0.1 S/cm at 600~$800^{\circ}C$) which is suitable for electrolyte of intermediate temperature-solid oxide fuel cell(IT-SOFC). Subsequently for use as electrolyte for anode-supported IT-SOFC, we tried to deposit the SDC powder on a porous NiO-SDC substrate by electrophoretic deposition(EPD) method. From the FESEM observation, a compact

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.19 no.5
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• pp.497-503
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• 2008

A variety of techniques has been employed in order to reduce problems caused by the crystallization of paraffin and saturated fatty acid esters in diesel fuel containing biodiesels. Methacrylate copolymers are known as additives which reduce the pour point and cold filtering plugging point (CFPP) of diesel fuels. This paper describes the synthesis, characterization and low temperature properties, having as an initial step the synthesis of the alkyl methacrylate monomers by esterification of methacrylic acid with C12, C18, and C22 fatty alcohols. The copolymerization of these monomers with styrene was then performed, with molar ratios of 30:70, 50:50 and 70:30 for styrene:alkyl methacrylate. All copolymers were characterized by $^1H-NMR$, FT-IR, and gel permeation chromatography (GPC). The poly(styrene-co-alkyl methacrylate)s (PStmSMAn) leads to a large reduction in the pour point and CFPP of poly(styrene-co-alkyl methacrylate) in ultra low sulfur diesel (ULSD) and BD5 with treated 100~5000 ppm of poly(styrene-co-alkyl methacrylate). BD5 fuel containing 5000 ppm of the copolymer (PSt82SMA18) showed a $25^{\circ}C$ and $9^{\circ}C$ reduction in their pour points and CFPP, respectively.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.47 no.1
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• pp.59-66
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• 2003

The comb-type grafted polymer hydrogels, which composed of N-isopropylacrylamide monomer and oligo(N-isopropylacrylamide-co-tert-butylacrylamide) [oligo(NIPAAm-co-t-BAM)], were synthesized by redox polymerization in 5~10% methanol aqueous solution using ammonium peroxodisulfate (APS) at 4 oC for 24h. The lower critical solution temperatures (LCSTs) of the comb-type grafted hydrogels were decreased with increase of t-BAM content in the grafted copolymer. We observed the effect of crosslinker and concentration of oligo(NIPAAm-co-t-BAM) on the shrinking/swelling ratio of hydrogels. Changes of shrinking/swelling ratio were decreased with increase of concentration of crosslinker. The increase of grafted oligo(NIPAAm-co-t-BAM) in the hydrogel shows an fast changes of shrinking/ swelling rate. The comb-type grafted hydrogels are expected to be valuable for the sensing materials of time-temperature labels(TTLs).