• 한국시뮬레이션학회논문지
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• 제24권3호
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• pp.17-26
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• 2015

생산성과 웨이퍼의 품질을 향상하기 위해 다양한 공정에서 사용되는 클러스터 장비는 단순한 구성에도 불구하고 병렬 공정모듈, 중간버퍼의 부재, 시간 제약 때문에 스케줄이 쉽지 않다. 그래서 스케줄링에 대한 많은 연구가 진행되었지만 대부분 시간이 변동되지 않는다는 가정 하에서 주기별로 동일한 스케줄이 반복되는 안정 상태를 연구하였다. 본 연구에서는 시간 제약을 만족시키면서도 원하는 안정 상태의 스케줄로 안착할 수 있는 스케줄 전략을 제시한다. 제안된 스케줄 전략은 작업시간이 지속적으로 변동되는 상황에서도 강건하다. 마지막으로 이 전략들이 실제로 강건하고, 원하는 안정 상태로 갈 수 있다는 것을 보여주기 위하여 시뮬레이션을 수행한다.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2005년도 추계종합학술대회
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• pp.1091-1094
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• 2005

저가의 개인용 컴퓨터를 고속 네트워크 장비와 시스템 독립적인 통신 라이브러리를 이용하여 연결함으로서 병렬처리 프로그램을 수행할 수 있는 클러스터 시스템을 구축할 수 있다. 클러스터 시스템은 이를 쉽게 구성하는 개별 시스템의 교체 및 추가로 인해서 이기종화 된다. 본 논문에서는 이기종 시스템으로 구성된 클러스터 시스템의 성능 향상을 위해서 MPI Work Packet Manager (WPM) 라이브러리를 제안한다. 실험 결과에 의하면 이기종 시스템으로 구성된 클러스터 시스템에서 WPM 라이브러리를 적용한 병렬처리 프로그램이 이기종 클러스터 시스템의 성능을 적절히 활용하고 있음을 알 수 있다.

• 한국정보과학회:학술대회논문집
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• 한국정보과학회 2003년도 가을 학술발표논문집 Vol.30 No.2 (3)
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• pp.346-348
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• 2003

본 논문에서는 TCP/IP프로토콜을 사용하는 LAN환경에서 PC들을 사용한 PC클러스터에 관해 연구하였다. LAN환경의 PC들은 안정된 사용환경을 확보할 수 있고, 특정한 사용 시간에 따라 작업을 배치할 수 있는 특징을 갖는다. 또한 별도의 전용의 클러스터를 설치하기 위한 하드웨어가 필요로 하지 않는 장점도 갖는다. 특히 PC실험 실습실의 PC들은 주로 주간 시간대(오전9시~오후6시)에만 실험실습 수업에 사용이 되고, 야간 시간대(오후6시~익일 오전9시)에는 사용되지 않는 유휴 시간을 갖는다. 이러한 사용되지 않는 유휴 시간대의 PC들을 CPU지향적인 복잡한 작업들을 연산하기 위해 사용할 수 있으며, 별도의 클러스터 시스템을 구성하기 위한 하드웨어(클러스터를 위한 컴퓨터들, 스위치장비, 케이블링 등)를 구입할 필요가 없기 때문에 저가격의 고성능을 요구하는 PC클러스터를 쉽게 구성할 수 있다. 공동실험실습실의 PC들마다 유휴기간을 Time table에 예약하고 이에 따라 작업을 배치하고 연산결과를 수집한다. 장기간의 연산작업이 필요로 하는 대규모 연산에 사용함으로써 상당한 경제적 효과를 얻을 수 있다. 또한 동일 실습실의 PC들은 대개 동일한 성능의 동일한 하드웨어와 운영체제를 사용하는 PC들로 구성되기 때문에 Homogeneous node로 구성된 PC 클러스터를 구축하기가 용이하다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제17권7호
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• pp.165-174
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• 2016

본 연구는 거대연구장비(LSRF) 기반 혁신클러스터 조성의 가능성과 한계점을 확인하고, 국제과학비즈니스벨트에 대한 시사점을 제공하고자 하였다. 우선 기존 문헌을 분석하여 혁신클러스터의 성공요인을 도출하였으며, 이들을 지식 및 기술, 거래비용 및 집적경제 등의 주요소, 소프트웨어 하드웨어적 인프라와 정부정책 및 전략 등 보조요소로 구분하였다. 그리고 이를 분석의 틀로 활용하여 CERN과 SPring-8등의 LSRF에 대한 사례연구를 수행하였다. 연구결과, 우선 지식 및 기술 측면에서 CERN과 SPring-8 공히 다양한 혁신 과정이 존재하여 혁신클러스터화에 유리한 점이 존재하였다. 지식과 기술이 LSRF를 활용한 연구로부터는 물론, 해당 설비의 건설, 운영, 관리 과정에서도 개발되고 파급되었다. 그러나 SPring-8의 경우 장비의 특성으로 인해, 거래비용 및 집적경제 측면에서 기업들에게 불리한 곳에 위치하는 문제점이 있었다. 또한 SPring-8은 경우 소프트웨어 하드웨어적 인프라의 미흡으로 인한 한계도 존재하였다. 정부 정책 및 전략과 관련하여, CERN은 다국적 기관이라는 특성상 정책적으로 특정지역의 클러스터화를 추진하지 않았으며, SPring-8은 다른 요소의 불리함에도 불구하고 정부의 지원에 따라 어느 정도나마 클러스터 구축이 촉진될 수 있었다. 종합하면, LSRF는 기술 및 지식 차원에서 다양한 기회 제공이 가능하였으나, 장비의 특성상 거래비용 및 집적경제 측면의 불리함이 존재하였다. 소프트웨어 하드웨어적 인프라와 정부 정책 및 전략은 주요인의 장점과 단점을 보완하는 요소로 작용하였다. 이러한 결과를 반영하여 본 연구는 과학벨트를 위한 시사점으로 전주기 관점에서의 참여자 그룹 발굴, 산업 인프라 및 정주환경 관점에서의 인센티브, 인근지역의 산업적 특징을 고려한 입주유치 전략 마련, 지식 인센티브 강화 전략 등을 제시한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.39-39
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• 2011

반도체 생산의 주요 공정 중 하나인 세정 공정은 공정 중 발생하는 여러 가지 부산물에 의한오염을 효과적으로 제거하여 수율 향상에 큰 영향을 미친다. 현재 주로 쓰이는 세정 공정은 습식 세정 공정으로 화학 약품을 이용하지만 패턴 손상 및 웨이퍼 대구경화에 따른 문제 등이 대두되어 이를 대체할 세정 공정의 도입이 요구되고 있다. 이에 따라 건식 세정에 대한 관심이 증가하고 있으며 에어로졸 세정이 대표적 공정으로 개발 되었으나 마이크로 단위의 발생 에어로졸 입경으로 인해 패턴 손상 문제를 해결하지 못하였다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 응축에 의해 형성되는 입자 크기를 줄이는 것에 관한 연구가 진행되어 왔고, 대응 방안으로 개발된 것이 가스 클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동 기체의 분자가 수십, 수백 개 뭉쳐있는 형태 (cluster)를 뜻하며 이 때 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 가진다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 즉, 입자로 성장할 수 있는 시간과 환경을 형성하지 않음으로써 작은 크기의 클러스터에 의해 패턴 사이의 오염물질을 물리적으로 제거하고 다시 기체상 물질로 환원되어 부산물을 남기지 않는 공정이다. 이러한 작동 환경을 조성하기 위해서는 진공도와 노즐 출구 속도에 대한 설계 단계부터의 이론적 연구를 통한 입자 크기 예측과 세정 조건에 따라서 발생하는 클러스터의 크기 분포 특성을 측정하는 것이 필수적이다. 따라서 본 연구에서는 실시간 저압 환경에서의 측정이 가능하며, 다양한 크기의 입자를 실시간으로 측정할 수 있는 particle beam mass spectrometer (PBMS)를 이용하여 세정 공정 중 발생하는 클러스터의 크기 분포를 측정하는 연구를 수행하였다. 클러스터의 측정은 노즐에 유입되는 유량과 냉매 온도를 변수로 하여 수행하였다. 각각의 조건에 따라서 최빈값은 오차범위 내에서 일정한 것을 확인하였으며, 50 nm 이하의 값으로 가스 클러스터 공정이 패턴 손상 없이 오염입자를 제거할 수 있음을 실험적으로 확인할 수 있었다. 또한 유량의 증가에 따라 세정에 사용되는 클러스터의 입경이 증가하며, 냉매 온도가 낮아질수록 클러스터 입경이 증가하는 경향을 확인할 수 있었다. 클러스터 크기는 오염 입자와의 충돌에 의해 작용하는 힘으로 오염입자를 제거하는 메커니즘을 사용하는 가스 클러스터 세정 장치에 있어 중요성이 크다 할 수 있으며 추후 지속적 연구에 의한 세정 기술의 최적화가 기대된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1992년도 제3회 학술발표회 논문개요집
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• pp.83-83
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• 1992

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.482-482
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• 2013

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 본 연구에서는 가스클러스터 장치를 이용한 세정 특성 평가에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상을 최소화 하고 상대적으로 높은 효율로 오염입자를 제거하게 된다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 평가하기 위하여 이러한 변수에 따라서 오염 입자의 종류, 크기에 따른 PRE (particle removal efficiency)를 평가하고 다양한 선폭의 패턴을 이용하여 손상 실험을 수행하였다. 제거 효율에 사용된 입자는 $CeO_2$와 $SiO_2$이며, 각각 30, 50, 100, 300 nm 크기를 정량적으로 오염시킨 쿠폰 웨이퍼를 제조하여 세정 효율을 평가하였다. 정량적 오염에는 SMPS (scanning mobility particle sizer)를 이용한 크기 분류와 정전기적 입자 부착 시스템이 사용되었다. 또한 패턴 붕괴 평가에는 35~180 nm 선폭을 가지는 Poly-Si 패턴을 이용하였다. 실험 결과 클러스터 형성 조건에 따라 상대적으로 낮은 패턴 붕괴에서 95% 이상의 높은 오염입자 제거효율을 전반적으로 보이는 것을 확인할 수 있었다. 따라서 이론적 계산에 기반하여 세정에 요구되는 클러스터 크기를 가정하고, 이를 통하여 세정에 적용할 경우 높은 기존 세정 방법의 단점을 보완하면서 높은 세정 효율을 가지는 대체 세정 방안으로 이용할 수 있음을 확인하였다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제13권8호
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• pp.3477-3485
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• 2012

본 논문은 혁신클러스터 추진의 전략방향 설정을 위해서 클러스터 현황을 클러스터분석을 통하여 살펴보았다. 클러스터 분석은 클러스터 내에서 일어나는 다양한 형태의 협력을 파악하고 정책적인 대안의 도출을 위해 활용되는 실제적인 분석도구이다. 이에 본 논문에서는 광교테크노밸리의 발전단계에 따른 협력현황 분석을 위하여 산학연협력체계 분석과 진단을 위한 클러스터분석(Cluster Analysis)을 실시하였다. 클러스터 분석결과 광교테크노밸리내 입주기업의 산학연 협력경험은 67.3%로 매우 높은 것으로 나타났다. 대학과 기업과는 연구개발, 연구기관과는 장비활용 중심으로 협력하고 있었다. 또한, 산학연 협력의 지원정책수요는 협력기관 현황제공, 기술별 정보취득 지원 등 다양한 부문에서 협력의 수요가 존재하고 있었다. 이러한 분석결과를 토대로 혁신클러스터 구성단계를 넘어서 확장단계로 발전하기 위해서는 첫째, 혁신클러스터 발전을 위한 새로운 비전을 조속히 제시하고 단지인근에서 입주기업의 산학연협력의 활성화를 위한 지원을 추진해야 한다. 둘째, 혁신클러스터 단계별 발전을 위한 통합적인 지원역량 강화가 필요하다. 마지막으로 인근의 타 혁신거점과 정책적 네트워크 구축을 통해서 타 혁신클러스터의 자원과 역량을 활용할 수 있는 지원망 구축이 필요하다.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2003년도 추계학술발표논문집 (상)
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• pp.181-184
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• 2003

가격대 성능 비를 고려할 때 저가격으로 병렬시스템을 제작할 수 있다는 특징으로, 시작된 클러스터시스템이 구성 장비의 특수화 및 전체 시스템의 대규모화로 인하여 더 이상 보조적인 소규모 시스템이 아닌, 슈퍼컴퓨터의 한 종류를 이루는 비중있는 시스템으로 자리매김하고있다. 이처럼 클러스터시스템 개발의 전반적인 방향이 대규모화를 지향하는 점을 고려할 때, 각 구성 요소의 무결성, 즉 안정성 점검은 시스템의 정상적인 운영을 위해서 중요한 부분이다. 본 논문에서는 클러스터시스템을 구성하는 각 계산노드의 메모리의 이상 유무을 관리 서버 측면에서 종합적으로 진단하기 위한 관리 도구의 개발을 다루고 있다.

• 한국산학기술학회:학술대회논문집
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• 한국산학기술학회 2004년도 추계학술대회
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• pp.111-113
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• 2004

최근 반도체 제조공정의 많은 부분이 트랙(Track)장비 형태로 구성되어져있다. 이러한 복합제조 장비들은 각 모듈간의 상호 작용이 복잡하고 체제 가능시간도 엄격히 제안되고 있어 각각의 모듈들을 효율적으로 운용하기 위해서 반드시 스케줄러가 필요 되어 진다. 하지만 우리나라에서 대표적 트랙장비로 달수 있는 Wet Station에 대한 스케줄링 분야에 대한 연구는 미약한 편이며 앞으로 많은 연구와 개발이 필요한 시점이다. 본 논문은 Wet Station 장비의 운용 효율성을 극대화할 수 있는 Wet Station 장비 운용방법을 제안하고 평가하는데 그 목적이 있다. 관련 소프트웨어기술은 향후 핵심적인 기술로 대두 대고 있을 뿐만 아니라 다른 LCD공정의 트랙장비, 인라인(In-Line) 장비, 클러스터 툴(Cluster Tool) 효율적 운용면에서 큰 도움이 될 것으로 기대 된다.