• Journal of the Korea Society for Simulation
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• v.24 no.3
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• pp.17-26
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• 2015

A cluster tool used in many kinds of semiconductor processes for improving the performance and the quality of wafers has a simple configuration, but its schedule is not easy because of its parallel processing module, a lack of intermediate buffers, and time constraints. While there have been many studies on its schedule, most of them have focused on full cycles in which identical work cycles are repeated under constant task times. In this research, we suggest strategies of start-up transient scheduling which satisfies time constraints and converges into a desirable steady schedule for full work cycle. The proposed schedules are expected robust under the stationary stochastic task times. Finally, we show that the strategies make schedules enters the desirable steady schedule and robust using the simulation.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2005.11a
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• pp.1091-1094
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• 2005

저가의 개인용 컴퓨터를 고속 네트워크 장비와 시스템 독립적인 통신 라이브러리를 이용하여 연결함으로서 병렬처리 프로그램을 수행할 수 있는 클러스터 시스템을 구축할 수 있다. 클러스터 시스템은 이를 쉽게 구성하는 개별 시스템의 교체 및 추가로 인해서 이기종화 된다. 본 논문에서는 이기종 시스템으로 구성된 클러스터 시스템의 성능 향상을 위해서 MPI Work Packet Manager (WPM) 라이브러리를 제안한다. 실험 결과에 의하면 이기종 시스템으로 구성된 클러스터 시스템에서 WPM 라이브러리를 적용한 병렬처리 프로그램이 이기종 클러스터 시스템의 성능을 적절히 활용하고 있음을 알 수 있다.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 2003.10c
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• pp.346-348
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• 2003

본 논문에서는 TCP/IP프로토콜을 사용하는 LAN환경에서 PC들을 사용한 PC클러스터에 관해 연구하였다. LAN환경의 PC들은 안정된 사용환경을 확보할 수 있고, 특정한 사용 시간에 따라 작업을 배치할 수 있는 특징을 갖는다. 또한 별도의 전용의 클러스터를 설치하기 위한 하드웨어가 필요로 하지 않는 장점도 갖는다. 특히 PC실험 실습실의 PC들은 주로 주간 시간대(오전9시~오후6시)에만 실험실습 수업에 사용이 되고, 야간 시간대(오후6시~익일 오전9시)에는 사용되지 않는 유휴 시간을 갖는다. 이러한 사용되지 않는 유휴 시간대의 PC들을 CPU지향적인 복잡한 작업들을 연산하기 위해 사용할 수 있으며, 별도의 클러스터 시스템을 구성하기 위한 하드웨어(클러스터를 위한 컴퓨터들, 스위치장비, 케이블링 등)를 구입할 필요가 없기 때문에 저가격의 고성능을 요구하는 PC클러스터를 쉽게 구성할 수 있다. 공동실험실습실의 PC들마다 유휴기간을 Time table에 예약하고 이에 따라 작업을 배치하고 연산결과를 수집한다. 장기간의 연산작업이 필요로 하는 대규모 연산에 사용함으로써 상당한 경제적 효과를 얻을 수 있다. 또한 동일 실습실의 PC들은 대개 동일한 성능의 동일한 하드웨어와 운영체제를 사용하는 PC들로 구성되기 때문에 Homogeneous node로 구성된 PC 클러스터를 구축하기가 용이하다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.17 no.7
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• pp.165-174
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• 2016

This paper examined opportunities and limitations of building an innovation cluster based on large scale research facilities (LSRF). For this purpose, success factors of innovation clusters were drawn from the literature, and categorized into knowledge & technology, transaction cost & agglomeration economies, hardware & software infrastructure, and government policy & strategy. Utilizing the categorization as an analytic framework, case studies of CERN and SPring-8 were performed. The results showed that there were various innovation processes for both cases, creating opportunities for developing innovation clusters in terms of knowledge and technology. On the other hand, in the case of SPring-8, there were disadvantages in the transaction cost and agglomeration economies, being located in a remote area due to the nature of the facility. Software & hardware infrastructure of SPring-8 limited its potential for innovation clusters. Regarding government policy and strategy, CERN, as a multinational institution, did not consider an innovation cluster in a specific region despite some advantages. An innovation cluster around SPring-8 was promoted by government policy despite some disadvantages. In other words, the advantages and disadvantages were enhanced or complemented by software & hardware infrastructure and government policy & strategy. Based on the results, this paper provides the implications for the Korean International Science-Business Belt.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.39-39
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• 2011

반도체 생산의 주요 공정 중 하나인 세정 공정은 공정 중 발생하는 여러 가지 부산물에 의한오염을 효과적으로 제거하여 수율 향상에 큰 영향을 미친다. 현재 주로 쓰이는 세정 공정은 습식 세정 공정으로 화학 약품을 이용하지만 패턴 손상 및 웨이퍼 대구경화에 따른 문제 등이 대두되어 이를 대체할 세정 공정의 도입이 요구되고 있다. 이에 따라 건식 세정에 대한 관심이 증가하고 있으며 에어로졸 세정이 대표적 공정으로 개발 되었으나 마이크로 단위의 발생 에어로졸 입경으로 인해 패턴 손상 문제를 해결하지 못하였다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 응축에 의해 형성되는 입자 크기를 줄이는 것에 관한 연구가 진행되어 왔고, 대응 방안으로 개발된 것이 가스 클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동 기체의 분자가 수십, 수백 개 뭉쳐있는 형태 (cluster)를 뜻하며 이 때 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 가진다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 즉, 입자로 성장할 수 있는 시간과 환경을 형성하지 않음으로써 작은 크기의 클러스터에 의해 패턴 사이의 오염물질을 물리적으로 제거하고 다시 기체상 물질로 환원되어 부산물을 남기지 않는 공정이다. 이러한 작동 환경을 조성하기 위해서는 진공도와 노즐 출구 속도에 대한 설계 단계부터의 이론적 연구를 통한 입자 크기 예측과 세정 조건에 따라서 발생하는 클러스터의 크기 분포 특성을 측정하는 것이 필수적이다. 따라서 본 연구에서는 실시간 저압 환경에서의 측정이 가능하며, 다양한 크기의 입자를 실시간으로 측정할 수 있는 particle beam mass spectrometer (PBMS)를 이용하여 세정 공정 중 발생하는 클러스터의 크기 분포를 측정하는 연구를 수행하였다. 클러스터의 측정은 노즐에 유입되는 유량과 냉매 온도를 변수로 하여 수행하였다. 각각의 조건에 따라서 최빈값은 오차범위 내에서 일정한 것을 확인하였으며, 50 nm 이하의 값으로 가스 클러스터 공정이 패턴 손상 없이 오염입자를 제거할 수 있음을 실험적으로 확인할 수 있었다. 또한 유량의 증가에 따라 세정에 사용되는 클러스터의 입경이 증가하며, 냉매 온도가 낮아질수록 클러스터 입경이 증가하는 경향을 확인할 수 있었다. 클러스터 크기는 오염 입자와의 충돌에 의해 작용하는 힘으로 오염입자를 제거하는 메커니즘을 사용하는 가스 클러스터 세정 장치에 있어 중요성이 크다 할 수 있으며 추후 지속적 연구에 의한 세정 기술의 최적화가 기대된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1992.07a
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• pp.83-83
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• 1992

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.482-482
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• 2013

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 본 연구에서는 가스클러스터 장치를 이용한 세정 특성 평가에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상을 최소화 하고 상대적으로 높은 효율로 오염입자를 제거하게 된다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 평가하기 위하여 이러한 변수에 따라서 오염 입자의 종류, 크기에 따른 PRE (particle removal efficiency)를 평가하고 다양한 선폭의 패턴을 이용하여 손상 실험을 수행하였다. 제거 효율에 사용된 입자는 $CeO_2$와 $SiO_2$이며, 각각 30, 50, 100, 300 nm 크기를 정량적으로 오염시킨 쿠폰 웨이퍼를 제조하여 세정 효율을 평가하였다. 정량적 오염에는 SMPS (scanning mobility particle sizer)를 이용한 크기 분류와 정전기적 입자 부착 시스템이 사용되었다. 또한 패턴 붕괴 평가에는 35~180 nm 선폭을 가지는 Poly-Si 패턴을 이용하였다. 실험 결과 클러스터 형성 조건에 따라 상대적으로 낮은 패턴 붕괴에서 95% 이상의 높은 오염입자 제거효율을 전반적으로 보이는 것을 확인할 수 있었다. 따라서 이론적 계산에 기반하여 세정에 요구되는 클러스터 크기를 가정하고, 이를 통하여 세정에 적용할 경우 높은 기존 세정 방법의 단점을 보완하면서 높은 세정 효율을 가지는 대체 세정 방안으로 이용할 수 있음을 확인하였다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.13 no.8
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• pp.3477-3485
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• 2012

This research focused on the cluster analysis for the vitalization of the innovation cluster, Gwanggyo Technovalley. The study was performed based on both theoretical study and quantitative and qualitative study approaches. Particularly, questionnaire survey was performed for the cluster analysis of the innovation cluster. The major determinants for vitalization of the innovation cluster, Gwanggyo Technovalley can be summarized as follows; the strategy formulation for the development of the innovation cluster, the enhancement of the host institution capability and gradual enlargement of the role of the host institution. In terms of the needs of times, this study regarding the cluster analysis for the vitalization of the innovation cluster, Gwanggyo Technovalley is anticipated to be a good reference for the R&D organizations and technology cluster participants in coming years.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2003.11a
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• pp.181-184
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• 2003

가격대 성능 비를 고려할 때 저가격으로 병렬시스템을 제작할 수 있다는 특징으로, 시작된 클러스터시스템이 구성 장비의 특수화 및 전체 시스템의 대규모화로 인하여 더 이상 보조적인 소규모 시스템이 아닌, 슈퍼컴퓨터의 한 종류를 이루는 비중있는 시스템으로 자리매김하고있다. 이처럼 클러스터시스템 개발의 전반적인 방향이 대규모화를 지향하는 점을 고려할 때, 각 구성 요소의 무결성, 즉 안정성 점검은 시스템의 정상적인 운영을 위해서 중요한 부분이다. 본 논문에서는 클러스터시스템을 구성하는 각 계산노드의 메모리의 이상 유무을 관리 서버 측면에서 종합적으로 진단하기 위한 관리 도구의 개발을 다루고 있다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2004.11a
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• pp.111-113
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• 2004

최근 반도체 제조공정의 많은 부분이 트랙(Track)장비 형태로 구성되어져있다. 이러한 복합제조 장비들은 각 모듈간의 상호 작용이 복잡하고 체제 가능시간도 엄격히 제안되고 있어 각각의 모듈들을 효율적으로 운용하기 위해서 반드시 스케줄러가 필요 되어 진다. 하지만 우리나라에서 대표적 트랙장비로 달수 있는 Wet Station에 대한 스케줄링 분야에 대한 연구는 미약한 편이며 앞으로 많은 연구와 개발이 필요한 시점이다. 본 논문은 Wet Station 장비의 운용 효율성을 극대화할 수 있는 Wet Station 장비 운용방법을 제안하고 평가하는데 그 목적이 있다. 관련 소프트웨어기술은 향후 핵심적인 기술로 대두 대고 있을 뿐만 아니라 다른 LCD공정의 트랙장비, 인라인(In-Line) 장비, 클러스터 툴(Cluster Tool) 효율적 운용면에서 큰 도움이 될 것으로 기대 된다.