• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2006년도 하계학술발표회 논문집
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• pp.449-450
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• 2006

• 한국광학회지
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• 제4권2호
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• pp.157-161
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• 1993

PSD(Position Sensitive Detector)를 위치센서로 사용하여 광학적 자동촛점 장치를 구성하여 그 특성을 조사하였다. 본 연구는 광 리소그라피 장비인 KrF 엑사이머 레이저 스템퍼를 모델로 개발 하였다. 광원으로 780nm인 반도체 레이저를 사용하였으며, 시준기, 반사경, 렌즈 등을 사용한 광학계를 구성하여 위치신호(position error signal)를 측정 하였으며, 분해능은 $0.03{\mu}m$이었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.573-576
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• 2005

A compact linear and angular displacement measurement device was developed by combining a Michelson interferometer and an autocollimator to characterize the movement of a precision stage. A Michelson interferometer and an autocollimator are typical devices for measuring linear and angular displacement, respectively. By controlling the polarization of reflected beam from the target mirror of the interferometer, some part of light was retro-reflected to the light source and the reflected beam was used for angle measurement. The interferometer and the autocollimator use the same optic axis and the target mirror can be easily and precisely aligned orthogonal to the optic axis by monitoring the autocollimator s signal. The autocollimator was designed for angular resolution of 0.1 arcsec and dynamic range of 60 arcsec. The nonlinearity error of interferometer was minimized by trimming the gain and offset of the photodiode signals. Through the experiments, we evaluate the performance of measurement device and discuss its applications.

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제23권4호
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• pp.279-284
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• 2012

X선은 방사선 진단과 치료 분야에 있어서 다양하고 광범위하게 이용되고 있으며, 최근에는 방사선 치료용 초소형 X선관이 개발되었다. 초소형 X선관은 조사 목적 부위에 직접 삽입하여 사용되므로 제작 시준기에 따라 다양한 각도로 X선 조사가 가능하고, 검사 목적 외의 환자 피폭선량을 최소화한다. 이러한 초소형 X선관의 장점을 이용해서 X선 영상을 획득하는데 적용한다면 X선 진단 분야의 새로운 장을 열 것으로 기대된다. 하지만 초소형 X선관은 본래 치료용으로 설계되었기 때문에 진단용 장비에 적합한 시준기, 필터(added filter) 등이 필요하다. 따라서 자체 제작한 시준기와 필터를 적용하여 초소형 X선관의 빔 특성이 진단용에 적합한지 평가 하였고, 이를 위해서 다이오드 검출기를 이용하여 반가층을 측정하고 측정의 가능성을 평가하였다. 본 연구에서는 Si PIN Photodiode type인 Piranha 검출기(Piranha, RTI, Sweden)를 사용하여 필터 적용 유무에 따른 초소형 X선관의 반가층을 측정하고, 알루미늄 필터를 사용한 측정을 통하여 Piranha 검출기의 반가층 측정의 정확성을 평가하였다. 측정 결과에 따르면 초소형 X선관의 반가층은 필터의 장착에 따라 약 1.9배 증가하여 진단용 방사선 발생 장치의 적합성을 확인하였다. Piranha 검출기의 반가층 자동 측정값은 필터를 미장착한 경우에 실제 반가층 측정값에 비해 50% 높게 측정되어 적용이 불가능하나, 필터를 장착한 경우에는 실제 반가층 측정값과 약 15%의 차이로 감소되었다. 따라서 진단용 필터를 적용했을 경우는 Piranha 검출기의 반가층 자동측정이 가능하여 kV-X선 특성평가를 수월하게 수행할 것으로 기대된다.