• Title/Summary/Keyword: 자기장 분포

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A Study on the Magnetic Fields Measurement of Radio-Frequency Induction Coupled Plasma (고주파 유도 결합 플라즈마의 자기장 계측에 관한 연구)

  • 하장호;전용우;전재일;김기채;박원주;이광식;이동인
    • Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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    • 1997.10a
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    • pp.52-54
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    • 1997
  • 고주파 유도결합 플라즈마(RFICP)에서 루우프법에 의해 자기장특성을 계측하였다. 자기장 계측은 플라즈마의 거시적 변화를 시간적으로 접근하며, 반도체 프로세스의 관건인 균일하고, 고집적인 분포를 얼마나 교란, 응집하는가를 검증하고, 밀도와의 관계를 비교, 분석하여 방적의 최적화를 규명할 수 있을 것이다. 작은 루우프 안테나($\Phi$:외경 7.5mm)는 RF 자기장의 크기와 방향을 결정하기 위해 방전속에 삽입된다. 자기장의 세기는 전형적으로 입력파워 50 - 500 [W]에 대해 0.1에서 2.5 G 사이로 변화하였다. 사용가스는 아르곤가스(99.9% 고순도)를 사용하였으며, 동작압력은 20 [mTorr] 에서 15 [sccm]까지하였다. 반경방향의 공간분포에서는 아스펙트비(aspect ratio : R/L)를 2로 하여 자기장 분포를 계측하였다. 자기장은 입력파워의존성에 대해서 200 [W]까지 상승하고, 300[W]에서 안정성을 지속한다. 압력에 대한 의존성은 300[W]에서 60 [mTorr]이상 일 때는 플라즈마의 균질한 압력상태를 벗어남을 보인다. 아르곤 가스유량에 대해서는 무거운 중성기체입자가 자기장의 영향을 거의 받지 않기 때문에 일정한 경향이 나타났다. 반경방향의 공간분포 측정에서는 자기장은 RFICP의 대구경 특성에 맞게 전체적으로 일정한 분포를 이루고 있음을 확인하였다. 이러한 결과로부터 고주파유도결합 플라즈마에서의 동작생성, 유지기구등의 파악에 도움이 될 것이다.

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Design of Large 2-Axis Magnetic Fields Driving Apparatus for In Vivo Experiments (생체실험용 대형 2축 자기장 발생장치의 설계)

  • 성기연;김윤명
    • Proceedings of the Korea Electromagnetic Engineering Society Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.277-281
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    • 2000
  • 본 논문에서 생체실험용 대형 2축 자기장 발생장치를 설계하였다. 생체실험 대상이 유동적이지 않고 홀더(holder)내에 고정될 경우 이는 방향성(orientation)의 논란이 불가피하며 이 영향을 줄이기 위해 각 축에 4개씩 총 8개의 코일을 사용하여 2축 4중코일 구조로 장치를 설계하였다. 원하는 특정 자기장에 대한 권선수 및 전류치를 결정하기 위해 정육면체 구조의 자기장 발생장치를 원통형으로 근사화시켜 간소하게 수식을 유도하였으며 각 코일의 최적위치 및 최적 권선비는 별도의 최적화 시뮬레이션을 통하여 수치를 추출하였다. 이렇게 얻어진 수치들을 MATLAB으로 제작한 시뮬레이터에 적용하여 설계 조건과 동일하게 모델링한 발생장치 주변에서의 자기장 분포를 시뮬레이션 해보았으며, 각 축에서의 균일도를 평가하여 균인 자기장 분포영역 또는 사용가능영역을 도출하였다. 장치해석 결과, 임의의 기준 자기장에 대해 약 5%의 오차범위를 인정할 경우, 최소 60% 이상의 사용가능영역을 확보할 수 있었으며, 이 영역 내에서는 고도의 균일 자기장이 분포함을 확인할 수 있었다.

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Design and Construction of Cylindrical Multi-Loop Z-gradient Coil for Linearity Improvement in MRI (핵자기공명영상에서 선형성의 증강을 위한 원통형 Multi-Loop Z-경사자기장 코일의 설계와 제작)

  • 이동훈;백승태;김송희
    • Journal of Biomedical Engineering Research
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    • v.21 no.6
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    • pp.583-589
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    • 2000
  • 본 논문에서는 핵자기공명영상의 고해상도를 이루고, 영상의 신뢰성을 높이기 위해서 선형성이 증가된 경사자기장 코일의 설계와 제작에 목적을 두었다. Maxwell pair를 이용하여 Z-경사자계의 선형성을 증강시키기 위해 코일의 기하학적인 형태의 이론적인 계산과 몇 가지 형태의 코일로부터 예상되는 자기장 및 경사자기장의 분포를 구현했다. 즉, 코일 축 방향의 자기장을 구면좌표계에서 전개하는 방법으로 Maxwell pair의 크기와 위치를 계산하고, 유한요소법을 이용하여 자기장 및 경사자기장의 2차원 분포를 그렸다. 더불어 이론적인 계산 결과와 함께 자기장의 2차원 분포를 토대로 실제 경사자기장 코일을 제작하였고 이를 0.15 Τ 핵자기공명영상기에 적용하여, 영상을 획득하였다. 기존의 방법에 따른 Maxwell pair 형태를 이용한 경우에 코일지름의 40% DSV(diameter spherical volume)내에서 DSV의 5% 이내의 뒤틀림(distortion)을 갖는 선형성이 유지되었고, 새롭게 시도된 방법에 의한 경사자기장 코일의 경우는 코일지름의 70% DSV 내에서 DSV의 5% 이내의 뒤틀림을 갖는 선형성을 유지하였으며, 설계 제작된 경사자기장 코일과 RF-코일을 이용하여 이를 확인하였다. 본 연구에서 제작된 경사자기장 코일의 선형성은 Maxwell pair 코일보다 향상된 결과를 보았으며, 본 논문에서 제시하는 방법은 자기공명영상의 해상도 향상에 기여할 것으로 판단된다.

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The Effect of an Alternative Experiment for the Formation of Student's Conceptions about the Magnetic Fields of a Permanent Magnet by Cognitive Styles (초등학교 학생들의 자기장 개념 분석과 인지양식의 차이에 따른 대안실험의 효과)

  • Oh, Kwang-Tek;Youn, Suk Joo
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.26 no.5
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    • pp.159-167
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    • 2016
  • We have examined the perceptions of 6th grade elementary school students' conceptions on the magnetic fields of a permanent magnet by cognitive style. Students' conceptions on the magnetic fields of permanent magnet after the iron powder experiment are grouped into four models; Partial Distribution Model (PDM), Pole Separation Model (PSM), Homogeneous Distribution Model (HDM), and Field Model (FM). After the experiment to observe the magnetic field of the permanent magnet with compass, the students' conceptions are grouped into three models; Pole Separation Model (PSM), Complex Homogeneous Distribution Model (CHDM), and Field Model (FM). And after the application of the alternative experimental method to observe the magnetic field with only one compass, students' conceptions on magnetic field has been enhanced in both field-dependent and general-cognitive groups of students.

A Study of Realtime monitoring Hardware Construction in Magnetic Inductance Tomography System (실시간 측정이 가능한 Magnetic Inductance Tomography System의 하드웨어 구축에 관한 연구)

  • SEO Kang;PARK Eun-Sik;PARK Gwan soo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • summer
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    • pp.983-985
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    • 2004
  • Magnetic Inductance Tomography(MIDT) System은 외부에서 자기장을 인가하여 자기장이 인가된 공간에 일정값의 투자율을 가지는 대상 물체가 존재할 경우 자기장의 분포가 변화하게 되고 이러한 자기장의 변화량으로 대상 물체의 투자율과 크기, 위치, 형태 등을 파악할 수 있다. MIDT System은 비접촉식이고, MRI에 비해 아주 작은 자기장으로도 측정이 가능하다는 이점이 있다. 이러한 MIDT System 에서 실시간으로 대상 물체의 크기와 위치에 따라 자기장의 변화량과 분포를 측정할 수 있는 하드웨어를 구축하였다.

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Analysis of current density distribution and in vitro exposure system for ELF exposed cell experiments (ELF 전자파 피폭 세포실험을 위한 배양기의 전류밀도 분포해석 및 Invitro 노출장치 설계)

  • 김대근;정재승;안재목
    • Proceedings of the Korea Electromagnetic Engineering Society Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.297-301
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    • 2000
  • ELF 전자파의 생물학적인 영향 평가를 위한 in vitro 세포 실험에서 노출장치의 설계는 코일내피 유도기전력(E)과 전류밀도(J) 해석과 함께 이루어져야 한다. 균일 자기장 속에서 세포를 배양할 경우애도 배양기내의 전도성 매질로 인해 균일한 E와 J가 분포하지 않는다. 따라서 균일한 ELF 자기장 노출장치로부터 발생되는 샘플 매질 내에서의 E나 J를 정확히 예측하는 것은 in vitro 세포실험의 성공여부를 가늠 할 정도로 매우 중요한 정보가 된다. 이에 본 논문에서는 in vitro 실험에 적합한 ELF in vitro 노출 장치를 설계하고 노출 장치에 대한 전자기학적 평가를 수행하였다. 코일 내에서 샘플 매질의 유무와 샘플 내에서도 세포가 놓여질 임의의 위치에 따라 E와 J를 예측하고 검증을 위한 측정과 시뮬레이션을 시도하였다. 노출장치는 헬름 홀쯔 코일로 제작되었고 자기장의 세기는 1-2OG 범위 내에서 가변이 가능하다. 또한 코일내의 자기장의 분포가 균일(uniform), 비균일(nonuniform)만 두 가지모드를 각각 제작하여 보았다.

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Precise Measurement of Magnetic Field Using CW-NMR Technique (CW-NMR 기법을 이용한 자기장 정밀측정)

  • 이정한;이대행;김민철;이순칠;홍계원;이호준
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.5 no.1
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    • pp.79-85
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    • 1995
  • A precise magnetic field probe was designed to measure the field distribution inside a superconducting magnet. The operation principle of the developed equipment is based on cw-NMR. The range of field is from 2.8 T to 5.8 T, and the resolution is better than 0.3 ppm NMR samples were water and heavy water contained in a tube of 4 mm diameter and 4mm height. This equipment can be manufactured very inexpensively compared with the currently available commertial ones.

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Improvement of the Pumping Force in the Magnetic Fluid Linear Pump by AC Pulse current (AC Pulse에 의한 Magnetic Fluid Linear Pump의 펌핑력 향상에 관한 연구)

  • SEO Kang;PARK Gwan soo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • summer
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    • pp.986-988
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    • 2004
  • 이 전에 DC Pulse 전류로 구동하는 Magnetic Fluid Linear Pump(MFLP)를 개발하였다. 개발된 MFLP는 DC Pulse 전류에 의하여 발생하는 자기장의 분포 변화가 불연속적이게 되고, 펌핑력 또한 불연속성을 가지게 된다. 불연속적 자기장의 변화와 펌핑력의 불균일성을 저감하였다. 펌핑력을 증가시키기 위하여 AC 전류를 이용하였으며, 이에 따른 펌프의 운전 특성을 파악하기 위하여 자기장의 분포와 자성유체의 형상을 해석하였다.

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원형 이온빔 소스의 방전 이미지 분석을 통한 중성입자 밀도의 공간분포 측정

  • Im, Yu-Bong;Kim, Ho-Rak;Park, Ju-Yeong;Kim, Jong-Guk;Lee, Seung-Hun;Seon, Jong-Ho;Lee, Hae-Jun;Choe, Won-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.245.1-245.1
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    • 2014
  • 교차하는 전기장과 자기장으로 플라즈마를 방전하고, 이온 빔을 효과적으로 가속하는 원형 이온 빔 소스를 개발하였다. 방위각 방향으로 비대칭적인 중성 가스와 전자 빔의 공급으로 이온 빔 소스에서 불안정하고 불균일한 플라즈마가 방전되어, 이온 소스의 효율을 저하시킨다. 본 연구에서는 플라즈마 이미지를 이용하여 이온 소스 내부에서의 중성입자 밀도 분포를 측정하는 방법을 개발하였다. 자기장의 방향이 서로 다른 방전조건에서 얻어지는 한 쌍의 플라즈마 이미지로부터 티코노프 정형화 기법을 이용하여 방위각에 대한 중성입자의 밀도 분포를 재구성한다. 본 재구성 기법을 이용하여 얻어진 밀도 분포는 유체흐름 등가회로 모델을 바탕으로 한 수치해석을 이용하여 분석하였다. 중성입자 밀도의 공간분포는 인가 전압, 자기장의 세기 및 유량과 같은 방전조건의 변화에 크게 영향을 받지 않고, 가스 공급부의 내부 구조에 의해 결정되는 것을 확인하였다. 또한, 등가회로 모델을 이용하여 균일한 공간분포를 얻기 위한 공급부 설계를 수행하였다.

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Development of the EGS4 Control Code to Calculate the Dose Distributions in a Strong Magnetic Field (자기장이 인가된 물팬텀 속의 전자선 선량분포 계산을 위한 EGS4 제어코드의 개발과 응용)

  • 정동혁;오영기;신교철;김진기;김기환;김정기;이강규;문성록;김성규
    • Progress in Medical Physics
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    • v.14 no.1
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    • pp.1-7
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    • 2003
  • In this work we developed a EGS4 control code to calculate the dose distributions for high energy electron beams in water phantom applied longitudinal magnetic field. We reviewed the electron's motion in magnetic field and delivered equations for direction changs of the electron by the external magnetic field. The mathematical results are inserted into the EGS4 code system to account for the presence of external magnetic fields in phantom. The electron pencil beam paths of 6 MeV in water phantom are calculated for magnetic fields of 1-3 T and the dose distributions for a field of 1.0 cm in diameter are calculated for magnetic fields of 0.6-1 T using the code. From the results of path calculations we found that the lateral ranges of the electrons are reduced in the magnetic field of 3 T. For a field of 1 cm diameter and a magnetic field of 1 T, the small dose enhancement near the range of the electrons on the depth dose and the penumbra reduction of 0.15 cm on the beam profile are observed. We discussed and evaluated the results from the theoretical concepts.

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