• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.04a
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• pp.158-159
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• 2000

내기중의 입자 (aerosol)는 크게 직경이 0.01-0.1 $\mu\textrm{m}$ 대의 Aitken mode와 0.1-1 $\mu\textrm{m}$ 부근의 accumulation mode, 그리고 1 $\mu\textrm{m}$ 이상의 coarse mode로 분류할 수 있으며 대기 중에서 부유하여 서로응집(coagulation) 과 응축(condensation)풍의 과정을 겪으며 변화한다. 일반적으로 Aitken mode 의 입자들은 nucleation 둥에 의해 발생된 입자이며, accumulation mode는 Aitken mode입자간의 응집, 인위적인 배출 둥에 의하여 생성된 입자이다. Coarse mode는 주로 자연적으로 생성된 입자이며 주로 침적에 의해 제거된다. (중략)

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.198-198
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• 2011

단분산 결정질 실리콘 나노입자 (<10 nm)는 양자점 효과로 인한 선택적 파장 흡수가 가능하므로 태양전지 분야에 응용 가능성이 크다. 특히 입경의 크기가 작아지면 부피대비 표면적이 넓어지기 때문에 태양빛 흡수 면적이 증가한다. 따라서 입자의 크기는 태양전지에서 효율을 결정하는 중요한 요소 중 하나이다. 이러한 이유에서 plasma arc synthesis, laser ablation, pyrolysis 그리고 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등이 실리콘 나노입자를 합성하는데 연구되어 왔으며, 특히 PECVD는 입자 생성과 동시에 균일한 증착이 이루어질 수 있기 때문에 태양전지 제작 시 공정 효율을 높일 수 있다. PECVD를 이용한 나노입자 합성에서 입경을 제어하는데 중요한 전구물질은 Ar과 SiH4가스이다. Ar 가스는 ICP (Inductively Coupled Plasma) 챔버 내부에 가해준 전력을 통해 가속됨으로써 분해되어 Ar plasma가 생성된다. 이는 공급되는 SiH4가스를 분해시켜 핵생성을 유도하고, 그 주위로 성장시킴으로써 실리콘 나노입자가 합성된다. 이때 중요한 변수 중 하나는 핵생성과 입자성장시간의 조절을 통한 입경제어 이다. 또한 공급되는 가스의 유량은 입자가 생성될 때 필요한 화학적 구성비를 결정하므로 입경에 중요한 요소가 된다. 마지막으로 공정압력은 챔버내부의 plasma 구성 요소들의 평균 자유 행로를 결정하여 SiH4가 분해되어 입자가 생성되는 속도와 양을 제어한다. PECVD를 이용한 실리콘 나노입자 형성의 주요 변수는 RF pulse, 가스(Ar, SiH4, H2)의 유량, Plasma power, 공정압력 등이 있다. 본 연구에서는 RF (Radio Frequency) PECVD방법을 이용하여 실리콘 나노입자를 만드는데 필요한 여러 변수들을 제어함으로써 이에 따른 입경분포 차이를 연구하였다. 또한 SEM (Scanning Electron Microscopy)과 SMPS (Scanning Mobility Particle Sizer)를 이용하여 각 변수에 따라 생성된 나노입자의 입경과 농도를 분석하였다. 이 중 plasma power에 따른 입경분포 측정 결과 600W에서 합성된 실리콘 나노입자가 상당히 단분산 된 형태로 나타남을 확인할 수 있었고 향후 다른 변수의 제어, 특히 DC bias 전압과 열을 가함으로써 나노입자의 결정성을 확인하는 추가 연구를 통해 태양전지 제작에 응용 할 수 있을 것으로 예상된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.482-482
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• 2013

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 본 연구에서는 가스클러스터 장치를 이용한 세정 특성 평가에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상을 최소화 하고 상대적으로 높은 효율로 오염입자를 제거하게 된다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 평가하기 위하여 이러한 변수에 따라서 오염 입자의 종류, 크기에 따른 PRE (particle removal efficiency)를 평가하고 다양한 선폭의 패턴을 이용하여 손상 실험을 수행하였다. 제거 효율에 사용된 입자는 $CeO_2$와 $SiO_2$이며, 각각 30, 50, 100, 300 nm 크기를 정량적으로 오염시킨 쿠폰 웨이퍼를 제조하여 세정 효율을 평가하였다. 정량적 오염에는 SMPS (scanning mobility particle sizer)를 이용한 크기 분류와 정전기적 입자 부착 시스템이 사용되었다. 또한 패턴 붕괴 평가에는 35~180 nm 선폭을 가지는 Poly-Si 패턴을 이용하였다. 실험 결과 클러스터 형성 조건에 따라 상대적으로 낮은 패턴 붕괴에서 95% 이상의 높은 오염입자 제거효율을 전반적으로 보이는 것을 확인할 수 있었다. 따라서 이론적 계산에 기반하여 세정에 요구되는 클러스터 크기를 가정하고, 이를 통하여 세정에 적용할 경우 높은 기존 세정 방법의 단점을 보완하면서 높은 세정 효율을 가지는 대체 세정 방안으로 이용할 수 있음을 확인하였다.

• International Journal of Highway Engineering
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• v.11 no.3
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• pp.141-149
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• 2009

Objective of this study was to characterize the particle size distribution(PSD) and quantify the pollutant concentration in highway runoff. Runoff samples during two rainfall events at four road sites in Gyunggi-Do were collected and PSD and associated pollutant distribution was quantified. Also, rainfall amount, flow rate, and other pollutants in samples were analyzed. PSDs in each sample were analyzed and compared with temporal trends of other pollutants. High partial event mean concentrations(PEMC) of particulates were observed at the beginning of runoff and rapid decrease thereafter. Other pollution parameters such as turbidity, TSS, BOD, TN, and TP also have similar temporal runoff trend with the PEMC. Especially PEMC was well correlated with total suspended solids(TSS) and turbidity. Cu, Pb, Zn had high concentration both runoff and sediment. Heavy metals in sediment were strongly bound to fine particles that have the large surface area-to-volume ratios.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.38 no.3
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• pp.267-273
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• 2001

Bayer process는 보오크사이트로부터 수산화알루미늄을 추출시키는 가장 일반적인 방법으로서 공정 조건에 따라 수산화알루미늄의 1차입자경, 입도분포도 및 생산효율 등이 달라지게 된다. 이러한 수산화알루미늄의 특성에 영향을 미치는 석출인자로는 석출시간, 석출온도차($\Delta$T), 종자 첨가시 함께 투입되는 공정순환액(spent liquor) 및 종자크기 등이 있다. 본 실험에서는 이러한 각각의 인자들이 수산화알루미늄 석출시 입자성장에 미치는 영향을 연구하였다. 그 결과 석출시간이 길수록, 정온석출 보다는 냉각석출의 경우가, 또한 공정순환액이 첨가되지 않을수록 석출율은 증가하나 입자크기에는 영향을 주지 않았으며 입자성장에 가장 큰 영향력을 미치는 인자는 투입 종자크기로 나타났다.

• Magazine of the Korean Society of Agricultural Engineers
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• v.26 no.3
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• pp.100-107
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• 1984

농축산 배설물을 호기성 환기처리하여 토양에 환원이용을 목적으로 컴포스트(Compost)화 할 때에 공극률(Pore space)에 미치는 물리적인 자 성설의 상화관계를 공명하고져 실험을 수행하였다. 본 연구는 여러가지 수준의 압축력에 따른 첨가 재료의 공극률 변화 과정 측정하고 이와 동시에 서로 다른 5종류의 재료별 입자 크기에 대하여 영수률, 용적 중량, 용적 밀도 및 입자 대소가 공극률에 미치는 영향을 조사분석 하였으며 그 결과는 아래와 같다. 1. 세립자 재료의 용적 밀도는 세립자보다 더욱 크게 나타났다. 2. 염수률과 용적 중량이 증가하면 용적밀도는 커지나 공극률은 감소하였다. 3. 공극률은 영수률과 용적 중량보다 첨가재료의 입자크기와 대소분포에 더욱 커다란 영향을 받고 있었다. 4. 영수률이 55~65%이고, 용적중량이 0.25~0.38g/cm2이며 입자크기가 1.5~5cm인 범위내의 효율적인 콤포스트화에 있어서 공극률은 65~80%의 범위를 형성하고 있음을 알 수 있다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.25 no.5
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• pp.526-530
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• 2014

Polystyrene-poly(etheramic acid) core-shell particles were prepared by dispersion polymerization of styrene using poly(etheramic acid) obtained by the reaction of 2,2'-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl]propane dianhydride and 3,5-diamniobenzoic acid as a stabilizer. 4-Vinylbenzyltrimethylammonium chloride was used as a comonomer to increase the binding efficiency of poly(etheramic acid). When the ethanol-water mixture (7 : 3) was used as a reaction medium, particles were stabilized well and the size distribution of particles was fairly narrow. The particle size increased with the amount of styrene. The particles polymerized in the dimethylformamide-water mixture had a broad size range. Polystyrene-poly(etheramic acid) core-shell particles were transformed to polystyrene-polyetherimide core-shell particles by the chemical imidization of shells.

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2001.11a
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• pp.35-37
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• 2001

입자상 물질에 대한 건성침적속도를 구하는 두 가지 모형 중 Slinn의 모수화로 구축된 건성침적모형이 ADOM 건성침적모형에 비해 좀 더 신뢰성있는 결과를 산출하였고 부산광역시에서의 입자상 물질에 대한 건성침적속도 수치모의 결과도 전반적으로 거칠기 길이가 큰 산림지역에서 높은 값이 나타남을 보여주었다. 입자상 물질의 건성침적속도 계산에 있어 가장 중요한 것은 대상 입자의 크기이므로 무엇보다도 그 물질에 대한 정확한 크기분포에 대한 규명이 있어야 하고 또한 본 연구에서는 다루지 못한 수면의 높은 풍속에서의 물결 파괴, 물보라 형성 그리고 물과 공기경계면 근처의 습한 지역에서 입자 성장의 영향 등을 고려하는 좀더 자세한 연구가 추후에 이루어져야 할 것이다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2001.11a
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• pp.231-232
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• 2001

도시지역의 주 오염물질 중 하나인 입자상 물질(Particulate Matter:PM)은 공기역학적 직경 2.5$\mu\textrm{m}$을 기준으로 이산형 분포를 하여 2.5$\mu\textrm{m}$이하를 미세입자, 2.5$\mu\textrm{m}$이상을 조대입자로 나뉜다. 이 미세입자는 주로 자동차 배출, 산업연소에서 배출되는 가스상 물질의 2차 반응으로 발생한다(Pope et al., 1995). 미세입자는 상당량이 2차 반응에서 생성되는 물질이며, 크기가 작은 대신 상대적으로 표면적이 크기 때문에 각종 중금속과 유해 대기오염물질과의 흡착이 용이하여 호흡기 계통의 질병을 일으킬 수 있는 확률이 조대입자에 비해 높다고 알려져 있어 인체에 미치는 영향이 클 것으로 시사되고 있다(Dockery et al., 1998). (중략)

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2003.05a
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• pp.391-396
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• 2003

정류상태하에서의 WINFLOW 모델에 의한 모의발생 결과치는 산정된 계산치와 관측치의 오차백분율(0.011~0.080의 범위)를 비교해 볼 때 지하수두 분포를 신뢰도 수준에 있어 잘 반영하고 있는 것으로 판단되며 동서방향으로는 일정 수두분포, 남북방향으로는 완만하고 안정된 수두경사를 이루는 것으로 분석되었다. 분석유역에서의 지하수 유동은 남측에서 하천지역으로 안정된 유동형태를 보이고 있으며, 각 지점에 대한 입자추적은 상류에서 양수지점까지 비교적 직선에 가까운 형태를 보이고 있으나 양수지점의 하류부에서는 양수량의 크기에 따라 영향반경도 많은 차이를 나타내었다. P 및 Pl관정의 동시 양수인 경우에는 P지점 또는 Pl지점의 단일정일 경우보다 영향반경의 크기가 증가한 것 보다는 다소 복잡해진 양상을 보였으며 입자경로는 직선에 가까운 형태를 가지는 것으로 분석되었다. 양수량에 따른 영향원을 살펴보면 지하수가 남측에서 북측(병성천)으로 유동할 경우에 상류부보다 관정 측면과 하류부에서 더욱 크게 지하수두가 감소하는 변화경향을 나타내어 지하수유동방향 및 유속이 관정의 영향원 분포에 많은 영향을 미치고 있음을 알 수 있었다.