• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
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• pp.58.2-58.2
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• 2010

FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수 ${\mu}m$ 수준까지 감소하였으며, FPD의 크기는 급격하게 대형화 되여 현재 8세대(2200mm*2500mm)에 이르고 있다. 이에 따라, $1\;{\mu}m$ 이상의 크기를 갖는 오염입자에 의한 수율 저하를 극복하기 위한 세정효율의 향상 및 다량의 초순수 사용에 따른 폐수 발생으로 인한 환경오염, 또한 장비의 크기에 따른 공간 효용성 감소와 이에 따른 공정 비용의 증가 등의 어려움에 직면하고 있다. 따라서, 현장에서는 고효율, 저비용의 세정 공정 기술 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 문제점들을 해결 하고자 이류체 노즐 세정 장치와, 화학액 린스를 위한 초순수 Spray, 건조 공정에 해당하는 Air-knife, Halogen lamp로 구성된 소형화 된 고속 FPD(Flat Panel Display) 세정기에 대한 연구를 진행 하였다. 이류체 노즐은 초순수와 $N_2$ 가스를 내부에서 혼합하여 액적(Droplet)을 형성하여 고압으로 분사시키는 장치로서 화학액을 사용하지 않고 물리적인 방법으로 오염입자를 제거한다. Spray는 유기 오염입자 제거를 위한 오존수의 린스 공정을 위해 설치 하였다. 세정 후 표면에 남아있는 기판의 액막(water film)은 고압의 가스를 분사하는 Air-knife를 통해 제거하였으며, 고속 공정시 발생할 수 있는 Air-knife에서 제거하지 못한 잔류 액막을 Halogen lamp를 사용하여 효과적으로 제거함으로써, 물반점(water mark) 없는 건조 공정을 얻을 수 있었다. 실험에는 미세 입자의 정량적인 측정을 위하여 유리 기판 대신에 6인치 실리콘 웨이퍼(P-type (100))를 사용하였으며, > $\;1{\mu}m$ 실리카 입자를 스핀방식을 사용하여 정량적으로 균일하게 오염하였으며, 오염물의 개수 및 분포는 파티클 스캐너 (Surfscan 6200, KLA-Tancor, USA)를 사용하여 분포 및 개수를 정량적으로 측정 하였다. 이류체 노즐은 $N_2$ 가스의 압력과 초순수의 압력을 변화시켜 측정하여, 각각 0.20 MPa, 0.01 MPa에서 최적의 세정 결과를 얻을 수 있었으며, 건조 효율은 Air-Knife의 입사 각도와 건조면 간격, 할로겐 램프의 온도를 조절 하여 최적의 조건을 얻을 수 있었다.

• 한국대기환경학회:학술대회논문집
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• 한국대기환경학회 2003년도 추계학술대회 논문집
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• pp.309-310
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• 2003

입자상물질에 대한 연구는 광역적인 대기 오염정도의 평가 및 오염물질의 이동에 대한 유용한 정보를 제공해 주므로 이와 같은 오염원의 크기에 대한 배경농도를 파악하는 것이 무엇보다 중요하다. 또한 입자상물질은 대기중에서 기류를 타고 이동할 수 있기 때문에 오염농도 변화는 지역적인 영향을 받는 대도시 지역보다 오염원으로부터 격리된 청정지역에서의 측정이 필요하다(신혜정 등, 2002). 본 연구에서는 국내 배경농도 측정지점 중 하나인 강화에서 2000년부터 2002년까지 측정한 입자상 물질의 농도 특성을 파악하고자 한다. (중략)

• 한국대기환경학회:학술대회논문집
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• 한국대기환경학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.131-132
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• 2003

동북아시아 지역은 전세계에서 대기오염물질의 배출이 가장 많은 지역 중의 하나로서, 최근에는 중국에서 발생한 황사가 태평양을 건너 미국에까지 도달하는 것이 위성으로 관측됨으로써 아시아뿐만 아니라 전세계의 관심이 집중되고 있는 지역이다. 본 연구에서는 동북아시아 지역을 대상으로 기류이동의 변화에 따라 대기오염물질의 분포가 어떻게 달라지는가를 보고자 하였으며, 가스상 반응만 고려한 경우와 입자상 반응을 함께 고려한 경우의 대기오염 물질의 농도를 비교함으로써 입자상 반응의 영향이 어떻게 나타나는가를 살펴보는데 초점을 두었다. (중략)

• 멤브레인
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• 제11권4호
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• pp.161-169
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• 2001

Kaolin, bentonite, starch 및 PMMA의 단일 또는 혼합 입자용액을 정밀여과막이 장착된 dead-end 형 Amicon 여과셀에서 투과 실험하였으며 그 결과는 오염 특성을 규명하기 위하여 등압여과 모델에 적용하였다. 동일한 양으로 혼합한 kaolin/starch 입자의 0.1 wt% 혼합용액에 경우, 각각 입자의 평균 투과유속보다 30% 정도 낮았다. 그러나 kaolin보다 훨씬 큰 PMMA와의 혼합 입자용액의 경우에 투과유속은 kaolin과 PMMA의 평균보다 10% 정도 높았다. Bentonite와 PMMA 또는 starch의 혼합 용액일 경우, 혼합 입자에 의한 투과유속 향상효과는 kaolin에 비하여 훨씬 적게 나타났다. 또한 동일 양으로 혼합한 kaolin/starch 용액의 농도를 변화시킬 경우, 막오염 저항은 0.05 wt%에서 최소이었다.

• 한국에너지공학회:학술대회논문집
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• 한국에너지공학회 2002년도 춘계 학술발표회 논문집
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• pp.3-8
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• 2002

산업체에서 배출되는 여러 가지 배가스에는 부식성 오염물질을 함유한 경우가 많다. 따라서 이러한 배가스로 부터의 폐열회수를 위하여 부식성 오염물질에 의한 열교환기에서의 파울링의 문제점을 해결할 필요가 있다. 세라믹과 같은 고체입자는 대개 내식성이 강하므로 부식성의 배가스에 사용이 가능하고 유동층 열교환기에서는 고체입자의 비표면적이 매우 크므로 전열효율이 매우 높은 것이 특징이다.(중략)

• 한국대기환경학회:학술대회논문집
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• 한국대기환경학회 2000년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.141-142
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• 2000

대기 중 입자상 물질은 대기오염물질 중의 하나로 대기질을 평가하는데 매우 중요한 변수로 작용하며 다양한 특성을 가지고 있다. 이 중 미세입자(2.5 $\mu\textrm{m}$이하)는 태양광을 산란, 흡수시켜 시정감소의 주요 원인물질로 작용하고, 구름속에 혼입되어 구름의 반사율을 변화시키며, 호흡을 통하여 인체의 기관지 및 폐내에 흡입되어 천식과 폐암을 유발시키기도 한다. 또한 장거리 이동하면서 물리.화학적 반응을 하고 광역적 시정감소, 산성비와 같은 대기오염현상을 일으킬 뿐만 아니라 인체 각종 질환을 야기할 수 있다. (중략)

• 한국대기환경학회:학술대회논문집
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• 한국대기환경학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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• pp.328-329
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• 2000

강수(Precipitation)는 전 지구적으로 물과 에너지를 순환하는 과정이면서, 아울러 다양한 가스상ㆍ입자상 오염물질들을 대기로부터 토양, 강물, 삼림 등으로 운반하는 물질의 순환과정이기도 하다. 강수를 통해 대기중의 오염물질들이 지표면으로 운반되는 과정은 크게 두 가지로 나누어 볼 수 있다. 하나는 대기중의 매우 작은 입자(0.1~2$\mu\textrm{m}$)의 입자들이 응축핵으로 작용하여 구름을 형성하고, 비가 되어 내리면서 대기로부터 제거되는 rainout 혹은 in-cloud scavenging 과정이다. (중략)

• 한국대기환경학회:학술대회논문집
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• 한국대기환경학회 2003년도 추계학술대회 논문집
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• pp.183-184
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• 2003

자동차에서 배출되는 오염물질은 크게 CO, THC, NOx, $CO_2$와 같은 가스상물질과 입자상물질로 나눌 수 있다. 이러한 오염물질들은 사용되는 연료의 종류 및 조성에 따라 차이가 있으나 대부분 인체에 해로운 성분들이 대부분이다. 많은 연구자들은 이러한 성분들이 인체 및 대기환경에 미치는 영향을 조사하고 그 저감방안에 대한 기술적인 방법들을 연구하고 있다. 특히 근래에 들어 자동차, 그중에서도 경유차에서 배출되는 나노입자가 미치는 인체 위해성에 대한 연구가 매우 활발하다. (중략)

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.101-101
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• 2011

최근 반도체 및 디스플레이 사업의 급속한 발전으로 인해 반도체 공정은 초미세선폭화, 대면적화 되면서 오염입자를 제어하는 것이 이슈가 되고 있다. 반도체 및 디스플레이의 제조공정 중 챔버 내 진공부품은 진공상태에서 플라즈마에 의해 물리적인 데미지와 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼(Radical)반응에 의한 부식이 진행된다. 이러한 공정영향에 의해 챔버 내 부품들은 부식이 되고 공정 중에 오염입자가 발생하게 되어 반도체 및 디스플레이의 수율저하에 큰 영향을 미치고 부품교체 비용 또한 많이 들고 있다. 본 연구에서는 진공부품의 내전압측정방법을 이용하여 진공부품의 피막특성을 평가하는 연구방법으로서 내전압 지그(Zig)를 표준화하여 제작하였고, 재현성있는 데이터로 피막특성을 정량적으로 측정하는 방법을 연구 하였다. 식각공정 중에 발생하는 부식특성에 관해서는 화학부식와 플라즈마부식 열충격 등 각각 독립적으로 부식환경에 노출시켰으며, 진공부품의 손상 전 후의 내전압 특성변화를 이용하였다. 또한, CCP (Capacitativly Coupled Plasma)형의 RF magnetic sputter을 설계 제작하였고 진공부품에 고밀도 플라즈마를 발생시켜 플라즈마데미지에 의해 발생한 오염입자를 실시간으로 monitoring하여, 정량적으로 측정된 내전압특성결과를 비교 검증하였다.

• 한국고분자학회지:고분자과학과기술
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• 제15권2호
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• pp.184-190
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• 2004

환경적으로 지속 가능한 발전을 실현하기 위해 필수적인 환경오염물질 배출제어에 있어서 가장 효과적인 방법 중 하나가 환경촉매를 사용하는 것이다. 지난 20여 년 동안, 환경촉매의 사용은 주로 이동오염원의 배출물질제어에 국한되다가 점차 폐기물 정화, 에너지 산업, 정유 산업, 나아가 실내오염 정화 등의 환경과 관련된 산업으로 점차 확대되고 있는 실정이다. 환경촉매는 나노 입자를 만드는 기술 (Nano Technology, NT)의 환경분야 (Environmental Technology, ET)에의 적용이라는 융합기술 (Converging Technology, CT)로서 새로운 의미를 지닌다.(중략)