상압에서 열분해법을 이용한 실리콘 입자 제조
(Formation of Silicon Particles Using $SiH_4$ pyrolysis at atmospheric pressure)
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- 대한기계학회:학술대회논문집
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- 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회A
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- pp.126-129
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- 2007