• Title/Summary/Keyword: 일반화가능도 분석

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EMP 차폐 콘크리트 개발 및 성능평가 방법에 관한 문헌 연구 (Literature Review on Material Development and Performance Evaluation Method for EMP Shielding Concrete)

  • 이웅종;이환;김영진
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제21권12호
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    • pp.67-76
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    • 2020
  • 본 연구는 고출력 전자기파(EMP)를 차폐할 수 있는 콘크리트의 개발 방향과 차폐성능 평가방법의 표준화에 필요한 기술의 개발 방향을 도출하기 위한 목적으로 수행되었다. 콘크리트와 같은 복합재료를 대상으로 한 EMP 차폐 메커니즘은 아직 규명되지 않았고, 콘크리트 재료의 EMP 차폐성능에 대한 검증 방법도 아직 표준화가 되어 있지 않아, 연구자간의 연구결과를 객관적으로 상호 비교분석하는데 어려움이 발생한다. EMP 차폐 콘크리트의 개발 방향은 금속 분야에서 널리 알려진 전자파 손실 메커니즘의 고찰로부터 도출하였다. 콘크리트의 EMP 차폐성능 검증을 위한 표준화 방향은 콘크리트의 전기적 성질과 그 동안 콘크리트를 대상으로 연구한 차폐성능 평가방법들의 고찰로부터 도출하였다. 연구 결과, EMP 차폐 콘크리트 개발은 전기 전도성을 부여한 콘크리트의 재료개발이 우선하여야 하며, EMP 차폐 콘크리트의 재료개발 과정 중에는 전자파 손실 메커니즘별로 구분한 시험방법을 적용하고, 개발 제품의 최종 품질검증에는 일반화된 차폐성능 평가법(MIL-STD 등)을 준용한 시험법을 적용하면, 유효성이 입증된 콘크리트 차폐재 개발 및 성능평가가 가능할 것으로 판단된다.

사무용 수납가구의 디자인 특성에 관한 연구 (A Study on the Design of Office Filing System Furniture)

  • 신화경;하숙녕
    • 디자인학연구
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    • 제15권4호
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    • pp.129-138
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    • 2002
  • 정보화에 따라 수납량이 감소할 것이라는 예측과는 달리 수납량이 점차 증가하고 있는 최근의 사무환경 변화에 발 맞추어 국내 외 사무용 수납가구의 디자인 특성 및 중요성을 인식하고 사무환경 디자인에 맞는 가구의 조건을 정리하고, 현재 우리 나라에서 시판되고 있는 국내 외 사무용 수납가구의 디자인 특성영역을 분석하여 사무환경에 대응할 수납시스템개발에 필요한 기초자료를 제시하고자 한다. 분석대상은 사무용 수납가구 중 현재 일반화되어있는 lateral file 등 6가지 수납가구를 대상으로 국내 외 사무용 가구의 카다로그를 분석하였으며 사무용 수납가구의 디자인 특성으로는 수납가구의 크기, 형태, 색, 재료, 손잡이, 수납방법, 이동성, 융통성 등을 중심으로 분석하였다. 현재 시판되는 수납가구의 디자인 특성분석결과에 따른 미래의 수납가구의 조건들은 다음과 같다. -변화하는 사무환경에 맞춰 고정형보다는 이동이 가능한 가구와 함께 위치변동이 자유로운 수납가구의 개발이 필요하다. -수납가구의 크기는 서로 다른 제품과 혼합사용시 공간의 통일성 및 공간 사용의 융통성을 주는데 유리하므로 일정한 모듈의 규격화된 디자인이 필요하다. -무채색계열과 정해진 나무색상으로 이루어진 단순한 형태에서, 앞으로는 변화하는 사무환경과 수납가구의 디자인에 맞춰 다양한 색상의 개발이 요구된다. -수납가구의 손잡이는 기능적인 면 외에도 다양한 이미지 변화의 역할을 하고 있으므로 손잡이의 디자인 변화가 필요하다. -수납구분방법은 대부분이 선반과 서랍식으로 구분되었고 서랍식인 경우 기능이 정해진 내부구조를 가지고 있었으나, 서랍의 내부와 외부에서의 다양한 수납방법과 디자인이 필요하다.

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언어네트워크분석에 기초한 과학학습의 목적에 대한 고등학교 교사와 학생들의 인식 (High School Teachers' and Students' Perceptions on the Purpose of Science Learning based on the Semantic Network Analysis)

  • 박경진;정덕호;하민수;이준기
    • 한국과학교육학회지
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    • 제34권6호
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    • pp.571-581
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    • 2014
  • 이 연구는 고등학교 교사와 학생들의 과학학습의 목적에 대한 일반화가 가능한 결과를 얻고자 하였다. 이를 위하여 비례층화표집 방식을 통해 전국의 160개 고등학교를 선정하여 교사와 학생에게 과학학습의 목적에 대한 개방형 설문 결과를 수집하였으며, 수집된 자료는 언어네트워크분석을 이용하여 분석하였다. 분석 결과 교사들은 과학학습의 목적으로 인지적 영역과 관련된 내재적 가치를 더 중요하게 인식하고 있지만 학생들은 개인적 유용성 영역과 관련된 외재적 가치를 보다 중요하게 인식하고 있었다. 또한 교사들의 교직경력에 따라 다른 인식을 가지고 있었다. 초임교사들은 내재적 가치와 외재적 가치를 함께 중요하게 인식하고 있었지만 경력교사들은 과학지식 이해의 인지적 영역을 주로 강조하고 있었다. 또한 학생들은 선택계열에 따라서도 과학학습의 목적에 대한 인식 차이가 있었다. 즉, 인문계열 학생들은 과학을 배운다면 일상생활의 편리성을 높일 수 있다는 것을 중요하게 인식하고 있었지만 자연계열 학생들은 과학학습의 목적이 무엇보다도 진로선택과 관련되어 있는 것으로 인식하고 있었다.

기본정서 뇌 영상 연구의 fMRI 메타분석 (A fMRI Meta-analysis on Neuroimaging Studies of Basic Emotions)

  • 김광수;한미라;박병기
    • 감성과학
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    • 제20권4호
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    • pp.15-30
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    • 2017
  • 본 연구의 목적은 뇌 영상 기술을 활용한 정서 연구를 근거로 기본정서 이론을 확인하는 것이다. 이를 위해 기능적 자기공명영상(functional magnetic resonance imaging, fMRI) 연구들에 대한 메타분석을 수행했다. 기본정서 이론을 확인하기 위해 즐거움, 행복, 공포, 분노, 혐오, 슬픔의 6개 개별정서를 선정했다. 개별정서의 fMRI 자료를 수집하기 위해 최근 10년간 289편의 fMRI 연구를 조사했으며, 이중에서 69편이 포함 기준을 충족시켰다. 6개 정서에 대해서 건강한 피험자들을 대상으로 실험한 fMRI 자료를 수집했으며, Talairach 또는 MNI 표준 좌표로 보고된 연구만을 포함시켰다. Talairach와 MNI 좌표 체계간의 차이를 없애기 위해 Talairach 좌표를 기준으로 분석하였다. 활성화 가능성 추정(ALE) 기법을 이용한 GingerALE 2.3 프로그램을 사용하여 메타분석을 수행했다. 연구 결과 기본정서 이론의 관점에서 개별정서들이 일관되고 구별 가능한 국부적인 뇌 반응과 관련 된다는 것을 확인했다. 각각의 개별 정서들과 관련된 뇌 반응 영역에 대한 본 연구의 결과는 선행연구들의 결과와 대체로 일치하였다. 본 연구의 결과를 일반화에 있어서 극복해야 할 제한점을 기술하고 후속 연구에 대해 몇 가지를 제언하였다.

신체활동 프로그램 참여가 장애아동의 이동운동능력에 미치는 효과: 메타분석 (A Meta-Analysis on Improvement in Locomotor Skills of Children with Disabilities by Physical Activity Programs)

  • 한범석;이태희;전혜자
    • 재활복지
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    • 제20권3호
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    • pp.83-104
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    • 2016
  • 본 연구의 목적은 신체활동 프로그램 참여가 장애아동의 이동운동능력에 미치는 효과를 보고한 선행연구들을 메타분석을 통해 종합하고 일반화가 가능한 결론을 제시하는 것이다. 연구방법은 2004년 1월 1일부터 2015년 12월 31일사이의 선행연구 중에서 '대근육운동능력', '이동운동능력', 'TGMD'를 키워드로 검색하였다. 선정기준에 부합되는 24편 논문의 장애아동 518명을 대상으로 CMA3를 사용하여 분석하였다. 이동운동능력의 전체 평균효과크기, 장애아동의 성별, 연령, 장애유형, 프로그램 시간, 빈도, 기간에 따른 효과크기와 달리기(run), 겔롭(gallop), 홉(hop), 립(leap), 제자리멀리뛰기(horizontal jump), 슬라이드(slide)의 효과크기를 계산하였다. 연구의 질적 검증을 위해 출판편향(publication bias)검증과 이탈치(outlier)를 확인하였고 연속형 변인은 메타회귀 분석을 실시하였다. 연구결과는 신체활동 프로그램 참여를 통한 이동운동능력에서 1.143의 큰 효과크기가 나타났고 장애유형 중 자폐 스팩트럼이 1.697의 큰 효과크기가 나타났으며 이동운동능력의 6가지 하위변인 중 달리기의 효과크기가 1.019로 크게 나타났다. 연령별 결과에서 8~10세가 0.920의 큰 효과 크기를 나타냈으며 신체활동 프로그램은 1회당 100~120분(1.261), 주 3회(1.078), 16~20주(1.587)에서 큰 효과크기가 나타났다. 따라서 신체활동 프로그램은 장애아동의 이동운동능력 향상에 매우 효과적이다.

시설재배 상추에 대한 전과정평가 (LCA) 방법론 적용 (Application of LCA Methodology on Lettuce Cropping Systems in Protected Cultivation)

  • 유종희;김계훈
    • 한국토양비료학회지
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    • 제43권5호
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    • pp.705-715
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    • 2010
  • 기후변화협약과 탄소배출권문제 등 환경에 관한 관심과 규제 등이 국제적 주요 관심 사항이 되고 있는 상황에서 농업생산에 대한 환경영향평가의 필요성이 대두되고 있다. 현재 우리나라는 환경부에서 시행하는 탄소성적표지제도 도입에서 농업분야의 LCI (Life Cycle Invemtory)database 부재를 이유로 1차 농산물을 대상에서 제외하고 있다. 따라서 농산물 탄소성적표지제도 도입을 위한 농업분야 LCI database에 대한 연구와 구축이 시급한 실정이다. 따라서 본 연구는 농업생산체계에 대한 LCA 적용을 위하여 시설상추를 대상으로 LCI 구축과 LICA 수행을 위한 방법론을 고찰하였다. LCA의 방법론은 ISO 14040 규격에 의거하여 연구 목적 및 범위, LCI분석 (전과정 목록분석), LCIA(전과정 영향평가), 해석의 단계로 구성되었다. 연구 목적은 시설 상추재배체계에 대한 LCA 방법론 적용이며, 기능단위는 상추 1 kg 생산으로 하였다. LCI 구축을 위한 영농 투입물과 산출물에 대한 데이터 수집은 농진청의 농축산물소득자료를 중심으로 관련 통계, 문헌자료를 통하여 수집하였다. LCI 구축을 위한 자료 수집결과 상추를 재배할 때 투입되는 물질 중 유기질 비료와 무기질 비료의 시용과, 식물보호제의 투입이 주요배출인자로 분석되었다. 농업활동으로 배출되는 주요 환경부하물질은 비료가 시용된 토양으로부터 대기로 발생되는 $N_2O$와 수계로 배출되는 ${NO_3}^-$, ${PO_4}^-$과 농약잔류물질로부터 발생되는 유기화학물질, 농기계에 쓰이는 화석연료 연소에 의한 대기오염물질 등 이었다. LCIA는 해외의 LCA 방법론과 LCA적용사례를 조사하여 농업분야 LCIA 방법론에 대하여 고찰하였다. LCIA는 분류화, 특성화, 정규화(일반화), 가중화의 4단계로 이루어지며, 이 중 분류화와 특성화는 의무절차이고, 정규화와 가중화는 선택사항이다. 해석단계는 LCI 분석결과와 LCIA 결과에 대하여 검증하고, 결과로부터 도출된 환경적 문제점과 개선안 등을 제시한다. LCA 수행에 사용하는 국내 소프트웨어는 지경부와 환경부에서 개발하여 보급하고 있는 'PASS'와 'TOTAL' 이다. 그러나 국내 프로그램에 적용되고 있는 환경영향평가 모델은 국외에서 개발한 기존모델들이다. 그러므로 보다 정확한 농업분야 LCA 분석이 가능하도록 추후 국내 농업환경에 적합한 영향평가 모델 및 특성화, 일반화, 가중화 계수의 선정 등이 이루어져야 할 것이다.

데이터 마이닝의 범죄수사 적용 가능성 (Usefulness of Data Mining in Criminal Investigation)

  • 김준우;손중권;이상한
    • 대한수사과학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.5-19
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    • 2006
  • 데이터 마이닝은 컴퓨터와 정보처리의 발전으로 각기 다른 차원에서 다량으로 수집되는 데이터 속에서 숨은 의미나 패턴을 발견하는 유용한 기법이다. 의사결정나무, 신경망 모형, 규칙 귀납, K-평균 군집화, 시각화 등의 데이터 마이닝 개별 기법들은 산재해 있는 데이터에서 연관성을 분석하고, 이를 분류함으로써 일반화된 개념을 정의하고, 새로운 지식을 추론함으로써 실제 생활에 적용 가능한 예측을 가능하게 한다. 따라서 현재 데이터 마이닝은 기업의 마케팅 분야, 금융기관의 고객 분석, 통신 회사의 고객 이탈 방지 등에서 유용하게 활용되고 있다. 우리가 접해야 하는 정보의 양이 늘어나는 것은 범죄 수사에 있어서도 마찬가지 현상이다. 범죄와 범죄자에 대한 데이터는 축적되어 가지만 정작 개별 사안에 있어서는 중요한 데이터가 접근조차 되지 않고 있으며, 많은 데이터 속에서 이것이 내포하고 있는 숨은 의미를 지나치게 되는 경우도 많다. 본 연구에서는 선행 연구와 사례 적용을 통해 데이터 마이닝의 범죄 수사 적용 가능성과 한계점을 살펴보고자 하였다. 미제 사건으로 남는 경우가 많은 절도나 사기 같은 습관적 상습 범죄의 경우 데이터 마이닝의 분류, 군집화 기능을 활용 한다면 향후 여죄 추적에 효율적으로 활용될 수 있음을 파악할 수 있었고, 특히 다양한 문제에 적용 가능하고, 잡음에 대한 견고성이 있음에도 예측의 정확성을 지니고 있는 신경망 모형의 경우 패턴 인식을 통하여 범죄자 프로파일링이나 화상 자료 대비 시스템 구축에 충분히 활용될 것으로 생각한다. 특히 보험 사기 사례 적용에서 살펴본 바와 같이 마약, 테러와 같은 조직적 범죄수사나 자금세탁과 같은 금융 추적 수사의 경우 해당 자료의 방대함과 모호성으로 인해 수사를 하는 데 많은 어려움이 있지만 이러한 데이터 마이닝 가시화 기법을 적절히 활용한다면 전체적인 윤곽을 파악하는 데 매우 유용하며, 효율적인 수사가 가능함을 확인할 수 있었다. 그러나 데이터 마이닝은 예측 모델이므로 오류를 내재하고 있다는 점에서 수사 기관의 데이터 마이닝 접근은 조심스러워야 하며, 정보 독점화 현상과 개인 사생활 보호라는 측면에서 각 수사기관은 해당 법률에 정한 범위 내에서 해당 사건별로 데이터를 수집하고 이를 통합, 재구성하여 활용하는 측면으로 적용되어야 할 것이다. 또한 각 수사기관별로는 자신의 보유하고 있는 데이터에 대해 다차원 처리가 가능하도록 데이터베이스 시스템을 구축하여 데이터 마이닝이 적용 가능한 환경을 구축하도록 하여야 할 것이다. 아직은 논의의 초기 단계이므로 효과가 크게 부각되지는 않았지만 지금까지 제시한 문제에 대한 연구가 계속 이루어진다면 인권중심, 증거중심의 수사 개념을 바탕으로 적법절차에 의한 수사 활동을 요구받는 시대에 새로운 대안으로 자리 잡을 것이며, 수사의 과학화에 기여할 것으로 전망한다.

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스마트 안전도시 조성을 위한 도로망 특성과 범죄발생 멀티에이전트(Multi-Agent) 시뮬레이션 (Road Networks and Crime Occurrence Multi-Agent Simulation for Smart Safe City)

  • 문태헌;조정훈
    • 한국지리정보학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.120-134
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    • 2015
  • 본 연구는 범죄로부터 안전한 생활환경 조성을 위해 도로망의 형태도 범죄발생에 영향을 미칠 것이라는 가정하에 공간구문론(Space Syntax)을 활용하여 사례지역을 대상으로 실증 분석하였다. 즉 도로별로 통합도, 통제도, 연결도를 공간구문론으로 계산하고, 각 도로별 실제 범죄발생 건수와 상관성을 분석하였다. 다음으로 분석결과를 일반화할 수 있는지를 확인하기 위해 멀티에이전트모형(Multi-Agent Model)을 개발하여 컴퓨터상의 가상공간에서 시나리오를 설정하고 시뮬레이션 하였다. 그 결과 도로망의 통합도가 범죄발생과 가장 연관성이 높은 것으로 분석되었으며, 가상공간 시뮬레이션 결과에도 통합도가 가장 영향을 많이 주는 것으로 나타났다. 본 연구는 멀티에이전트 시뮬레이션에서 실험공간 규모나 에이전트 행동의 프로그래밍에 한계가 있었지만 현실 데이터와 가상공간 시뮬레이션에 의해 도로망 체계와 범죄발생간의 관계를 규명하였다는데 의의가 있다. 또한 본 연구에서 개발된 시뮬레이션 플랫폼은 다양한 실험이 가능하므로 경찰력이나 방범시설의 배치 등 보다 현실적인 문제에 대한 해결방안 모색과 스마트 안전도시를 앞당기는데 기여할 것이다.

다층어휘부와 어휘부 대 제약우위도 (Multi-Strata Lexikon vs. Constraintranking: Degemination im Deutschen)

  • 유시택
    • 한국독어학회지:독어학
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    • 제1집
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    • pp.313-348
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    • 1999
  • 이 논문은 독일어의 겹자음회피현상을 설명함에 있어 어휘음운론에서의 분석이 보이는 문제들을 지적하고, 이 문제들이 제약에 바탕을 둔 이론에서는 어떻게 해결될 수 있는가를 보인다. 제약들간의 상호작용에서 특히 중요한 역할을 하는 것이 단일형태실현제약 (Uniform Exponence)으로서, 이 제약을 통해 독일어 동사의 현재시제, 단수, 2인칭 형태와 3인칭형태에서 나타나는 겹자음회피현상이 동사의 어형변화표 (Verbparadigma)와 밀접한 관련이 있음을 알 수 있다. 이는 규칙들을 통해 2인칭과 3인칭의 올바른 형태를 각각 개별적으로 찾아내는 어휘음운론의 분석과는 근본적으로 다르다. 왜냐하면 어휘음운론의 분석에 따를 때, 예를 들어 3인칭 동사 arbeitet에서 Schwa 모음의 삽입은 겹자음회피를 위해 일어난다고 설명되지만 겹자음이 없음에도 불구하고 Schwa 모음이 마찬가지로 삽입되는 2인칭동사 arbeitest는 설명되지 않기 때문이다. 이런 분석에서는 2인칭 형태와 3인칭 형태가 서로 아무런 관련 없이 각기 따로 존재하게된다. 이에 반해 단일형태제약은 이 두개의 형태를 동시에 비교하므로, 동사 굴절형태에서 마치 불필요한 것으로 보이는 모음삽입이나 자음탈락의 원인에 대해 이론적인 근거를 제시할 수 있다. 즉 2인칭 형태와 3인칭 형태는 보다 상위의 제약들이 막지 않는 한 서로 최대한 비슷한 형태를 가지려고 한다. 이 논문은 겹자음 회피를 위한 수단으로서 모음삽입이나 자음탈락은 오로지 이를 통해 동사의 어형변화표가 좋아질 때만 가능하다는 것을 보여줌으로써 규칙이론이 포착하지 못하고 있는 중요한 일반화를 제시하고 있다. 단일형태 실현제약의 중요성은 접두사 in- 과 un- 이 어간과 결합할 때 보이는 대조를 통해서도 확인된다. 여기서도 어휘음운론의 다층어휘부 구조에 의한 설명이 갖는 문제점이 제약들간의 상호작용을 통해 해결될 수 있음을 알 수 있다.VII-1 및 VII-2공의 3600 m 하부층은 건성 가스 생성 단계에까지 도달한 것으로 나타났다. JDZ VII-1, VII-2 시추공의 3500 m 하위 구간의 올리고세 퇴적층에서 유기물 함량 및 수소 지수가 급격히 감소하는 것은 매몰 심도가 깊어지면서 유기물이 열 분해되어 이미 탄화수소를 생성한 것으로 해석된다. JDZ VII-1 및 VII-2 시추공의 가스징후 및 길소나이트 (gilsonite)는 탄화수소가 생성되어 이동한 흔적을 시사한다.을 해석할 수 있음을 보여주는 것으로 평가된다. 다만 PLAYMAKER2가 보다 신뢰할 만한 퇴적환경 해석을 위한 전문가 시스템으로 구축되기 위해서는 향후 많은 퇴적학 전문가들이 추가로 참여하여 기존 규칙들을 재검증하고 새로운 규칙들을 첨가함으로써 보디 세련된 지식베이스를 개발하여야 할 것으로 판단된다.이며 세 개의 산소가 이루는 평면에서 $1.68{\AA}$ 소다라이트내로 이동하여 위치한다. 32개의 $Tl^{+}$ 이온은 결정학적 자리 II에 존재하고 있으며 산소와의 결합거리를 $2.70(1){\AA}$을 유지하면서 큰 동공속으로 $1.48{\AA}$ 이동하여 위치한다. 약 18개의 $Tl^+$ 이온은 결정학적 자리III에, 또 다른 10개의 $Tl^+$ 이온은 결정학적 자리III'에 존재하고 골조 산소와 각각 $2.86(2){\AA},\;2.96(4){\AA}$의 결합거리를 이룬다.

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플라즈마 공정 진단을 위한 공간 분해 발광 분광 분석법 소개

  • 박창희;김동희;최성원;이창석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.81-81
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    • 2013
  • 반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

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