• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.442-442
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• 2010

공정 플라즈마 장치에서 이중 주파수법을 이용하여 실시간 유전박막 두께 측정법에 대한 보상연구를 하였다. 이중 주파수법은 유전박막과 플라즈마 쉬스를 간단한 전기적인 등가회로로 모델링하여 유전박막의 두께를 측정하는 방법이다. 이중 주파수법의 문제는 측정탐침의 인가전압에 따른 유전박막의 두께 측정치가 다르다는 점이다. 플라즈마 쉬스를 선형 저항만으로 등가하였기 때문에, 쉬스의 인가전압에 상관없이 쉬스 저항의 값이 일정하다는 가정이 존재한다. 그러나 쉬스 저항은 쉬스의 인가전압에 종속적이면서 비선형적인 특성을 갖는다. 측정 탐침에 출력 전압이 인가될 때 쉬스 양단에서 인가전압에 따른 쉬스의 등가저항의 비선형성을 고려하여 측정 탐침에 증착된 유전박막의 커패시턴스성분에 대한 방정식을 Numerical analysis로 풀어 유전박막의 두께 측정값을 보상하였다. 보상된 위의 방법으로 다양한 RF파워, 압력에 따라 $Al_2O_3$박막의 두께를 실시간으로 측정하여 비교하였다. 그 결과 이 방법은 낮은 플라즈마 밀도(${\sim}10^9cm^{-3}$)에서도 인가전압에 따른 유전 박막두께측정의 오차를 줄일 수 있었다.

• Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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• v.10 no.1
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• pp.66-78
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• 1998

Adequate ventilation with the proper amount of air to the right place is important factor to achieve a good Indoor air climate. Thus it is of prime importance that the ventilation system is working properly. This requires reliable pressure loss calculation to balance the air flow through duct systems. So a computer program for balancing CAV duct system is developed In this study. The results of CAV duct system is compared with the "Balans" code developed by Larsen from Norway. To obtain the pressure drop characteristics of damper at duct terminal, some experiments are performed using DPM(Dual Pressure Measurement) system. To adjust the resistance of damper, present study suggests that some special diffusers should be designed and damper producers should give the data of air flow vs. pressure drop to the customs when they manufacture the damper. One of the results concludes that the working time can be reduced from several minutes to several seconds per damper in the present experimental site, if the DPM system and the air volume adjusting process are used.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2017.04a
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• pp.436-438
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• 2017

자본주의의 꽃인 주식시장은 파생시장에 의해 영향을 받고 있으며, 파생시장은 지수옵션 상품에 의해 영향을 받고 있다. 최근 들어 시스템 트레이딩에 대한 관심이 점점 더해가고 있으며 투자자에게 컴퓨터 시스템과 매매 전략에 대한 이해를 요구하고 있다. 지수옵션 시장은 만기일을 기준으로 마치 파도와 같이 순간순간 살아 움직이고 있다. 옵션에 대한 효과적인 관점은 투자자에게 확률 높은 매력적인 전략을 제공하며 옵션의 움직임을 전체적으로 해석할 수 있게 한다, 그리고 궁극적으로 옵션가의 예측을 가능하게 한다. 행사가와 방향성에 의한 개별 옵션은 함수로 해석될 수 있다. 다양한 입력값에 의해 가격이라는 하나의 출력값이 결정되는 구조이다. 입력값에는 지수, 시간, 거래량 의 세가지 카테고리로 이루어진다. 이중 거래량은 예측이 가능한데, 개별 옵션이 아닌 앙상불의 경우 출력값으로 처리될 수 있다. 하지만 앙상불 옵션에서 개별 옵션가는 경직성을 가지게 되어 예상가의 차이에 의한 압력이 발생하게 된다. 이 압력은 이후의 지수변화에 핵심적인 에너지로 작용할 수 있다. 압력의 측정은 다양한 방법이 있을 수 있는데, 본 논문에서는 뉴로-퍼지 시스템을 이용한 예측값과의 차이를 측정하여 계산하였다. 일단 학습된 뉴로-퍼지 시스템은 가격을 예측하게 되며, 실제 가격과의 괴리는 압력으로 해석할 수 있다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.525-525
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• 2012

플라즈마 밀도와 전자온도는 반도체 및 디스플레이 공정결과에 결정적인 역할을 하므로 그에 대한 진단법 연구는 필수적이다. 하지만 대부분의 연구는 공정플라즈마와 같이 프로브 팁이 증착된 환경에서는 진단이 힘든 실정이다. 이러한 한계를 극복하기 위해서 부유전위 근처에서 고조파 진단법(floating harmonic method)에 대한 연구가 제시되었다[1]. 저밀도 플라즈마에서는 제 2 고조파의 측정이 어렵기 때문에 전자온도를 정확히 측정하기 힘들 수가 있다. 따라서 이에 대안으로 본 논문에서는 부유 고조파 진단법을 기반으로 하여 진폭과 주파수를 다르게 한 두개의 소신호 정현파 전압신호를 동시에 인가하여 플라즈마 변수를 진단하는 방법을 개발하였다. 본 방법을 이용하여 유도결합 아르곤 플라즈마에서 RF전력과 압력변화에 따라 플라즈마 변수진단을 진행하였고, 기존의 고조파 진단법의 결과와 일치하는 경향을 보이는 것을 확인하였다. 이 방법은 측정된 전류의 고조파 성분을 이용하지 않고 기본주파수를 가지는 전류의 크기 비율을 사용하여 전자온도 값을 구하기 때문에 저밀도 플라즈마에서 정밀한 진단이 가능할 것으로 예상된다.

• Journal of the KSME
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• v.19 no.2
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• pp.98-105
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• 1979

이상의 고압중스트레인 측정실험으로부터 다음과 같은 결론을 얻었다. (1) 고압중에서 스트레인을 측정할 경우, 압력효과스트레인이 생기므로 스트레인의 지시치를 보정할 필요가 있다. (2) 고압 효과스트레인은 같은 종류의 게이지에 있어서도 흩어짐이 있으나 흩어짐의 폭은 압력효과스트 레인의 값보다 작다. 특히 300 기압이상에서는 브릿지의 평형을 취해가지고 측정하며는 이 흩 어짐은 한결 작아진다. (3) 고압수중에서 측정 할 경우, 대후론, 시리콘고무, 이중피복선을 도선 으로 하여 사용하고, 게이지의 부분은 시리콘고무코우팅을 되도록 두껍게 하며는 3,000 기압 정 도까지의 수압중에서도 절연저하를 초래하지 안고, 스트레인측정을 할 수가 있다. (4) 상기의 절연방법은 도선인출부에도 적용할 수 있다. (5) 원통형 하우징 모형의 내외면의 스트레인를 측 정한 결과, 유한요소법해석결과의 타당성을 확인 할 수가 있었다. 본실험은 1974년도 일본통산 성공업기술원에서 위탁받아 동지종합연구소에서, [대식도 원읍조작해저석유굴삭장치의 개발]에 관한 연구성과의 일부와 Waterloo 대학의 G.S. Kular 교수연구실의 연구결과임을 밝혔다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.15 no.3
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• pp.22-30
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• 2011

There is a many way of LPRE throttling methods, high-pressure-drop systems, dual-manifold injector, gas injection, multiple chambers, pulse modulation and movable injector components. Especially dual-manifold injector is essentially combines two fixed-area injectors into a common structure, with independent feed systems controlling flow to each injector manifold. In this paper, using indirect photography and liquid film thickness measurement with various injection pressure and tangential entry diameter to decide stability of spray over a wide thrust range in dual manifold injector.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.136-136
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• 1999

박막의 탄성특성을 평가하는 방법으로 nano-indentation, Brillouin light scattering measurement, ultrasonic surface wave measurement, bulge test, vibration membrane method 등 여러 가지가 제시되어 왔다. 최근에는 탄성특성을 평가할 수 있는 간단한 방법으로 기판 식각 기법을 이용한 freehang, bridge 방법이 제시되었다. 이중에서 bridge 방법은 간단한 식각 기법을 이용하여 얇은 박막에서도 탄성 특성을 평가할 수 있는 방법으로 제시되었다. 그러나 식각 과정에서 발생하는 patch 부분의 under-cut으로 인해 정확한 bridge의 길이를 측정할 수 없게 되어 오차가 발생하고 있다. 본 연구에서는 bridge 방법에서 발생하는 오차를 줄이기 위한 방법으로, patch 부분에 etch-stop을 제작해 줌으로서 식각 과정에서 발생하는 under-cut을 효과적으로 제거시켰다. Etch-stop은 2장의 mask를 align key를 이용하여 제작하였다. 먼저 산화막이 형성되어 있는 Si 기판위에 mask 1을 이용하여 patch 부분을 lithography 작업하고, 습식 식각 공정을 한 뒤 DLC 필름을 증착시킨다. 다음으로 mask 2를 이용하여 bridge pattern을 제작하고, DLC 필름을 증착시킨 후 lift-off 기술과 산화막 등방식각 공정을 통해 bridge를 제작하였다. 이렇게 제작된 bridge를 통해 필름이 기판에 부착되기 위해 필요한 변형률을 측정하고, 독립적으로 측정된 필름의 잔류응력과 함께 박막의 응력-변형률 관계식에 적용시켜 biaxial elastic modulus, E/(1-v)를 구할 수 있었다. Sidl 첨가된 DLC 필름은 rf-PACVD 장비를 이용하여 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -400V로 합성압력은 10mTorr로 고정하였다. 사용한 반응가스는 벤젠(C6H6)과 희석된 실렌(SiH4:2H=10:90)이며, 희석된 실렌의 첨가량을 조절하여 필름 내에 함유된 Si의 양을 조절하였다. 각각의 조건에서 증착시간을 조절하여 필름의 두께를 조절하였다. 필름의 잔류응력은 압축잔류 응력에 의해 발생한 필름/기판 복합체의 곡률을 laser 반사법을 이용하여 측정하고, 이 결과를 Brenner 등에 의해 유도된 식을 대입하여 계산하였다.

• Korean Journal of Applied Biomechanics
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• v.18 no.4
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• pp.89-97
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• 2008

The purpose of this study was to analyze the foot-pressure distribution of Tennis Shoes for assessing their functionality. 10 university male students (shoe size: 265mm) who had no history of injury in the lower extremity and a normal gait pattern participated in this study. Four types of tennis shoes, most popular in Korea (A, B, C & D company), were selected and tested. Using the PEDAR-X system and PEDAR-X insoles, 4 different motion stages were analyzed for the foot-pressure distribution: (a) straight running; (b) c-cut($45^{\circ}$ left turn running; (c) forehand stroke; and (d) backhand stroke. Results revealed that in all stages, there were no statistically significant differences among the types of shoes; however, descriptive statistics indicated that functionality of shoe types was somewhat different depending on the type of stages. The order in functionality found was C>A>B>D.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.35 no.10
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• pp.1075-1081
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• 2011

A leak-detection method has been developed by measuring the pressure variation between the inner and outer heattransfer tubes of a double-wall tube steam generator. An experiment was carried out to measure the leak rate in the gap between two surfaces pressed with a hydraulic press in order to simulate the phenomena, and a correlation was determined for the leak rate in a micro gap. However, in the correlation, the gap width and friction coefficient were coupled with the surface roughness, which affects the two parameters. The two parameters were separated using a surface-contact model to develop a correlation for the friction coefficient. The correlation was compared with the existing correlations used for crack analysis. Although the applied ranges of Reynolds numbers were different, the developed correlation for Reynolds numbers of 0.1.0.35 showed similar tendencies to existing correlations used for higher Reynolds numbers.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.50 no.2
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• pp.304-309
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• 2012

Size verification of small and large bubbles in a bubble column was investigated by employing the dynamic gas disengagement (DGD) method and dual electrical resistivity probe (DRP) method, simultancously. The holdups of large and small bubbles in the bubble column in a given operating condition were obtained by means of the DGD method by measuring the pressure drop variation in the column with a variation of time after stopping the gas input into the column. The size and frequency of bubbles were measured by the DRP method in the same operating condition, from which the bubble holdup of each range of size was obtained. The verification of size in determining the large or small bubbles was decided by comparing the holdups of large or small bubbles measured by the DGD method with that measured by the DRP method. Filtered compressed air and tap water were used as a gas and a continuous liquid medium. The diameter and height of the bubble column were 0.102 m and 1.5 m, respectively. The demarcation size between the large and the small bubbles in the bubble column was 4.0~5.0 mm; the demarcation size was about 5.0 mm when the gas velocity was in the relatively low range, but about 4.0 mm when the gas velocity was in the relatively high range, within this experimental conditions.