• Title/Summary/Keyword: 이정

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상압 플라즈마를 이용한 반도체 포토레지스트 에싱 연구

  • Kim, Lee-Jeong;Lee, Jeong-Hun;Yun, Chang-Ro;Jo, Jung-Geun
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2007.06a
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    • pp.23-28
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    • 2007

  • 본 연구에서는 상압 질소/산소 플라즈마를 이용하여 반도체공정에서 포토레지스트 에싱 공정을 실험하였다. 상압 플라즈마를 반도체 에싱 공정에 적용함에 있어서의 발생할 수 있는 문제점, 반드시 해결 가능한 공정 등을 예상하여 실험 평가를 진행하였으며, 그 실험 결과를 통하여 상압 플라즈마의 반도체 에싱 공정 적용의 가능성을 판단하고자 하였다.

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Harmonic Reduction in Three-Phase Boost Converter with Six Harmonic Injected PWM (6고조파 주입 PWM을 이용한 3상 승압형 컨버터 고조파저감)

  • 이정훈;김재문;안정준;이정호;원충연;정동효
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.327-332
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    • 1999

  • In this paper, six harmonic injection PWM method for reducing total harmonic distortion in single switch three phase discontinuous conduction mode boost converter is presented. In the proposed method, periodic six harmonic voltage is injected in the control circuit to vary the duty ratio of the converter switch within a line cycle so that the fifth order harmonic of the input current is reduced. Experimental results are verified by converter operating at 400V/6kW with three phase 140V~220V input.

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