• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.238-238
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• 1999

현대 AC-PDP(Plasma Display Panel)의 유지전극 구조는 공면 전극구조를 가지고 있다. 공면 전극구조하에서 Ne-Xe 혼합가스에 대한 이온화율 측정을 시도하였다. 일정한 전극 간격을 가지고 있는 공면 전극 구조에서 암전류와 방전류를 측정함으로써 이온화율을 측정하였다. 본 실험의 결과를 통하여 압력으로 규격화된 전기장에 대하여 압력으로 규격화된 이온화율을 나타낼 수 있으며 단일 가스에 대한 이온화율과 혼합값에 대한 이온화율을 비교할 수 있으며 실제 PDP구조하에서의 이온화율을 적용할 수 있다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.7 no.3
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• pp.255-260
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• 1998

The ionized magnetron sputtering is very useful in filling of small metal contact or via in ULSI processing with very high ionization upto 80% based on incoming flux ratio. But fairly high sputtering gas pressure is required to get high ionization, which instead gives low deposition rate and diverse incoming neutral's angular distribution. The electron quenching by heavily sputtered metals and gas rarefaction were considered the main causes of decreased ionization in this process. RF pulsing of sputtering power was proposed to solve those two problems. The results showed that 10㎳/10 ㎳ and 100㎳/100 ㎳ of on/off pulsings were optimal pulse conditions from OES measurements and also XRD of deposited Ag film showed distinct change of (111) to (200) preferred orientation. These results were analysed in a view point of neutral gas heating and cooling by high power sputtering.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.523-523
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• 2013

대기압 제트 플라즈마는 의료산업 및 재료공정, 정수, 기체흐름 제어 등 다양한 분야에 적용을 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 뿐만 아니라 구동 조건에 따라 다양한 방전 모드가 존재하며, 이에 따라 발생된 플라즈마의 광학적 및 전기적 특성도 매우 다르게 나타나기 때문에 과학적으로도 새로운 현상들이 속속 발표되고 있다. 대기압 제트 플라즈마에서 중요한 과학적 현상 중 하나인 스트리머(streamer) 혹은 플라즈마 총알(plasma bullet)은 수-수십 kHz의 저주파 전압으로 구동 시 특정 조건에서 발생하는 현상으로, 최근 들어 시간분해능이 높은 ICCD 카메라를 이용하여 스트리머의 발생 및 전파에 대한 새로운 현상의 발견과 다양한 물리적 이해가 시도되고 있다. 본 연구에서는 헬륨 대기압 제트 플라즈마에 포함된 질소 함유량에 따른 다중 스트리머의 발생 및 기작의 이해를 시도하였다. 구동 전압 및 주파수, 헬륨기체의 유량, 전극 구조 및 간격 등 모든 조건이 동일한 상태에서 질소기체의 함유량을 증가시킬수록 특정 영역에서 스트리머의 개수가 증가하는 것을 관찰되었다. 또한 $N_2{^+}$의 방출광 세기가 헬륨 및 산소 원자의 방출광보다 지배적인 것으로 측정되었으며, 이는 헬륨 플라즈마에서 흔히 나타나는 헬륨 metastable에 의한 질소분자의 페닝 이온화(Penning ionization) 때문이다. 본 연구팀은 페닝 이온화($He^*+N_2{\rightarrow}He+N_2{^+}+e$)로 인해 추가적으로 발생하는 전자가 다중 스트리머 발생에 중요한 역할을 하는 것이라 제안한다. 좀 더 심화적인 분석을 하고자 헬륨-질소 플라즈마에서 주된 여러 가지 반응식을 이용하여 페닝 이온화에 의한 이온화율 및 전자의 직접적인 충돌에 의한 질소, 헬륨의 이온화율의 계산을 수행하여 특정 영역에서 헬륨의 이온화율보다 질소 페닝 이온화율이 더 커지는 것을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.183-183
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• 2000

Aigrain에 의해 Helicon이라는 이름이 명명된 이후, helicon은 저온의 금속과 같은 높은 전도도(conductivity)를 갖는 매질이나 강한 자기장이 걸려있는 plasma를 전파해 나가는 저주파 전자기장을 지칭해왔다. 이온화된 개스에서 이러한 전자기장은 전자 공명 주파수(electron cyclotron frequency)와 이온 공명 주파수(ion cyclotron frequency) 사이의 주파수로 전파하며 전리층 (ionosphere)을 통과하며 발생하는 가청 주파수 영역대의 음조가 강하하는 현상에 의해 low-frequency whistler라고도 불린다. Helicon wave plasma는 Boswell에 의해 처음 발생된 후, 높은 이온화율(~100%)로 인해 많은 연구가 이루어져 왔다. 1985년에 Chen은 helicon plasma의 높은 이온화율을 설명하기 위해 Landaudamping을 제시하였다. 이러한 설명은 1997년에 Shamrai에 의해 TG mode가 도입되기 전까지 직접적인 실험결과 없이 helicon plasma 발생의 mechanism으로 받아들여졌다. shamrai의 이론에 의하면 정전기파(electrostatic wave)는 plasma의 표면(surface)에서 강하게 감쇄되어 energy를 전달하게 된다. Cho는 radial density 분포가 외각보다 중심이 높을 경우 TG wave의 power 전달이 중심에서 일어날 수 있음을 계산하였다. Helicon plasma의 특성은 높은 이온화율에 의한 높은 밀도($\geq$1012cm3), 1-2 kW의 rf power에서 상대적으로 낮은 전자 온도( 4eV), $\omega$ci $\omega$LH<$\omega$ $\omega$ce $\omega$pe 영역대의 주파수, 자기장 50-1200 Gauss, 압력 1-10 mTorr로 특정지을 수 있다. 이러한 외부분수들의 조건에 k라 helicon plasma는 여러 종류의 mode로 존재한다. Degeling은 이러한 mode의 변화를 capacitive mode, inductive mode, 그리고 helicon mode(wave mode)의 세가지 부분으로 구분하였다. Helicon plasma가 갖는 높은 이온화율은 여러 가지 응용으로의 가능성을 가지고 있다. 그 예로 plasma processing, plasma wave에 의한 입자 가속, 그리고 가스 레이저 활성 매질 발생 등이 있다. 특히 plasma processing의 경우 helicon plasma는 높은 밀도, 비교적 낮은 자기장, remote operation 등이 가능하다는 점에서 현재 연구가 활발히 진행되고 있다. 상업용으로도 PMT와 Lucas Signatone Corp.에 서 helicon source가 제작되었다. 또한 높은 해리율을 이용하여 저유전 물질인 SiOF의 증착에서 적용되고 있다. 이 외에도 다수의 연구결과들이 발표되었다.

• Journal of Food Hygiene and Safety
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• v.17 no.4
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• pp.183-187
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• 2002

This study was performed to investigate the utility of egg-shell calcium with calcium soak egg-shell in the vinegar. We compared examination eluted quantity with ionization rate in each condition. The results were as follows. 1 The degree of elution and ionization of calcium was proportional to the amount of vinegar and added acetic acid in the vinegar for elution. And ionization rate was the most high in case of 200 ml vinegar volume. 2. fluted quantity were increased in the rank order to 4$0^{\circ}C$ > 3$0^{\circ}C$ > 2$0^{\circ}C$ by temperature but the rank order of ionization of calcium was 3$0^{\circ}C$ > 2$0^{\circ}C$ > 4$0^{\circ}C$ by temperature. The occurrence of unacceptable flavor resulting from the immersion at 4$0^{\circ}C$ was another obstacle to adopt. 3. Eluted quantity and ionization rate of the egg-shell calcium were appeared excellent in case of the brewage vinegar at ventilation condition. The case of brown rice vinegar did not show a considerable difference, but eluted quantity and ionization rate were appeared the most excellent to the other sample. 4. The optimum condition for elution and ionization of the egg-shell calcium was appeared Immersing egg-shells in the brewed rice-bran vinegar at 3$0^{\circ}C$ for three days.

• Journal of Food Hygiene and Safety
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• v.18 no.2
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• pp.73-78
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• 2003

This study was to investigate interaction between ionization rate and absorption rate of calcium(Ca) in each feeding Ca sources in rats. The results were as follows. 1. The ionized Ca ions 134 into rats were absorbed in about two hours while Ca from other sources like powdered egg-shell Ca or precipitable Ca carbonate caused more than five hours to be absorbed. This means that the ionization of Ca is essential for the fast absorption in rat. 2. Absorption rate were increased in the rank order to brown rice vinegar-Ca acetate > brewed vinegar-Ca acetate > precipitated Ca carbonate > egg-shell Ca powder by feeding sources in rat and absorption rate of brown rice vinegar Ca was appeared 4 times highly than egg-shell Ca powder. 3. Absorption rate of brewed vinegar Ca acetate were appeared excellent, 1.4 times highly in case of the brewed vinegar at no ventilation condition than ventilation condition. 4. Ca concentration in blood serum was significantly enhanced the increased ionization rate of Ca in the above experiment rat models regardless of dietary Ca levels.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1990.02a
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• pp.145-149
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• 1990

선택적 2광자공명 3광자 이온화과정을 Li와 Sr의 동위원소들에 적용시켰을 때, 공명준위의 AC Track 이동으로 인하여 분리효율과 이온화율은 레이저 파장과 세기에 예민한 함수가 됨을 보이고 동위원소분리의 최적 조건을 검토하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.123.1-123.1
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• 2013

반도체 공정에서는 사용하는 power source의 형태는 pulse-DC이다. Pulse-DC는 DC power에 비해 증착율이 좋고, 박막의 특성도 우수한 특성을 가진다. 이러한 장점에도 불구하고 pulse-DC나 DC power는 플라즈마 내 이온이 가지는 에너지가 크고, 이온화율도 낮다. 이러한 단점을 극복하기 위해 등장한 power source가 modulated pulsed power이다. Modulated pulsed power는 이온이 가지는 에너지가 DC power의 1/2 수준이며, 이온화율은 4배 이상 높은 특징을 가진다. 본 연구에서는 modulated pulsed power를 사용하여 Cr 박막을 Si wafer 위에 증착하여 박막의 특성을 관찰하였다. 연구에 사용된 power는 5 kV (800 V, 12.5 A), 20~120 KHz, 3 step까지 설정이 가능한 장비이며, base pressure $1.5{\times}10^{-6}$ Torr에서 실험이 진행되었고, 실험에 사용된 불활성 기체는 Ar을 사용하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 1999.05a
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• pp.394-397
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• 1999

Impact ionization, which is a kind of a carrier-carrier interaction process occurring in a semiconductor under the influence of a high electric field, is necessary to analyse carrier transport properties. Since the parabolic or nonparabolic E-k relation is different from real band structure in high energy range, exact model of impart ionization have been presented using full band I-k relation and Fermi's golden rule. We have investigated relation of density of states, energy band structure and overlap integral. We make use of empirical pseudopotential method in order to calculate energy band structure of silicon, tetrahedron method in order to calculate density of states. We know density of states very depends on energy band structure and overlap integral depends on the primary electron energy.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 1999.11a
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• pp.520-524
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• 1999

The Impact ionization rate is highly anisotropic at low electron energy, while it becomes isotropic at higher energy range in which impact ionization events frequently accur. In this study, full energy band structure obtained by pseudopotential method and Fermi's golden rule is used to calculate impact ionization rate. The calculated impact ionization rate is well fitted to a modified Keldysh formular at 300K and 77K. Full band Monte Carlo simulator is made to investigate the validity of the GaAs impact ionization coefficients at 300K and 77K. Impart ionization process is isotropic under the condition of steady state since anisotrophy appears during very short time at look. Impart ionization coefficients is nearly constant and is anisotropic in electric field applied along the <110> direction at 77K.