• Title/Summary/Keyword: 이온주입기술

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제강분진을 반응촉매로 이용한 침출수의 연속산화처리공정

  • 강정우;장윤석;지원현;김성용;배범한;장윤영
    • Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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    • 2001.09a
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    • pp.164-167
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    • 2001
  • 본 연구에서는 포항제철소에서 제철부산물로 발생되는 제강분진을 전처리 없이 산화촉매로 사용하여 김포 수도권 매립지의 침출수 처리공정에서 펜톤산화조에 유입되는 원수를 대상으 로 과산화수소를 이용한 연속식 산화처리 실험을 수행하였다. 먼저 회분식 실험결과를 바탕 으로 최적 반응조건에서 lab-scale 연속식 기초반응실험과 자체 설계.제작한 연속산화공정에서의 처리실험을 수행하였다. 또한 기존의 펜톤산화공정에서 Fe 공급원으로 사용되고 있는 FeSO$_4$.7($H_2O$)와의 반응성 비교실험도 수행하였다. 반응기간동안 일정 pH를 유지하기 위해 pH controller를 사용하였으며 침출수 수질은 CODcr로 나타내었다. 반응 pH 3.5, 체류시간 1 hr, 과산화수소 주입량 1,500mg/1에서 제강분진과 FeSO$_4$.7($H_2O$)를 각각 주입하여 수행한 연속처리 기초실험에서는 제강분진을 산화반응촉매로 사용한 경우에 침출수CODcr 처리율 62%, 과산화수소의 분해율 52%를 나타내었다. FeSO$_4$.7($H_2O$)를 산화반응 촉매로 사용한 경우에는 약 65-70%정도의 다소 높은 처리효율을 나타낸 반면에 과산화수소의 소비량은 제강분진의 경우보다 약 20%이상의 높은 값을 나타내었다. 연속산화공정 실험에서는 운전 3시간 이후에 유출수 중의 CODcr과 $H_2O$$_2$의 농도가 안정된 값을 나타내었다. 이 때 산화 반응조의 침출수 CODcr 제거효율은 약 43%이었으며, 처리수의 농도는 현재의 침출수 방류기준 이하로 나타났다. 결론적으로 침출수의 연속식 산화처리 실험결과, 처리효율과 경제성에서 제강분진의 산화촉매활용 공정의 개발 가능성이 매우 높은 것으로 나타났다.ell에 의해 완전분해 되었으며, 함께 존재시 TC는 Fe$^{\circ}$만으로는 분해가 되지 않았지만 cell에 의해 완전분해 되었으며, 함께 존재시 TCE분해에 저해작용을 미치는 것으로 나타났다.술의 첨가가 요구되고 있다. 따라서, 산성광산배수 오염지대에 대해 획일적으로 같은 처리방법을 채택하여 사용하는 것보다 각 지역 또는 광산산성폐수가 유출되어 나오는 광산폐기물의 특성 등을 고려하여 거기에 맞는 기술들을 복합적으로 또는 단독으로 사용하되 처리방법 채택 시 신중을 기할 것이 요망된다.정시에는 SeaWiFS 위성과 관련된 global algorithms 중에서 490nm와 555nm의 복합밴드를 포함하는 OC2 알고리즘(ocean color chlorophyll 2 algorithm)을 사용하는 것이 OC2 series 및 OC4 알고리즘보다 좋은 추정 값을 도출할 수 있을 것으로 기대된다.환경에서는 5일에서 7월에 주로 이 충체의 유충이 발육되고 전파되는 것으로 추측되었다.러 가지 방법들을 적극 적용하여 금후 검토해볼 필요가 있을 것이다.잡은 전혀 삭과가 형성되지 않았다. 이 결과는 종간 교잡종을 자방친으로 하고 그 자방친의 화분친을 사용할 때만 교잡이 이루어지고 있음을 나타내고 있다. 따라서 여교잡을 통한 종간잡종 품종육성 활용방안을 금후 적극 확대 검토해야 할 것이다하였다.함을 보이고 있다.X> , ZnCl$_{3}$$^{-}$같은 이온과 MgCl$^{+}$, MgCl$_{2}$같은 이온종을 형성하기 때문인것 같다. 한편 어떠한 용리액에서던지 NH$_{4}$$^{+}$의 경우 Dv값이 제일 작았다. 바. 본 연구의 목적중의 하나인 인체유해 중금속이온인 Hg(II), Cd(II)등이 NaCl같은 염화물

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Fabrication and Characterization of 5000V class 4-inch Light Triggered Thyristor (4인치 광점호 Thyristor의 제조 및 특성 분석에 대한 연구)

  • Cho, Doohyung;Won, Jongil;Yoo, Seongwook;Ko, Sangchoon;Park, Jongmoon;Lee, Byungha;Bae, Youngseok;Koo, Insu;Park, Kunsik
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2019.07a
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    • pp.230-232
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    • 2019
  • Light Triggerd Thyristor (LTT)는 HVDC 및 산업용 스위치 등에 사용되는 대전력 반도체소자이다. 일반적인 Thyristor가 전기적 신호에 의해 trigger 되는 것과는 다르게 LTT는 광신호에 의해 동작하는 소자이다. 본 논문에서는 5,000V, 2,200A 급의 4인치 LTT 소자의 제작 및 전기적인 특성평가 결과를 기술하였다. 4인치 LTT의 구조적인 특징은 전면부 중앙에 광신호가 주입되는 수광부가 위치해 있으며 입력 전류 증폭을 위한 4-단계 증폭 게이트 (gate) 구조를 가지도록 설계하였다. $400{\Omega}{\cdot}cm$ 비저항을 갖는 1mm 두께의 n-형 실리콘 웨이퍼에 boron 이온주입과 열처리 공정으로 약 $30{\mu}m$ 깊이의 p-base를 형성하였으며, 고내압 저지를 위한 edge termination은 VLD (variable lateral doping) 기술을 적용하였다. 제작된 4인치 LTT는 6,500 V의 순방향 항복전압 ($V_{DRM}$) 특성을 나타내었으며, 100V의 어노드전압 ($V_A$)과 20 mA의 게이트전류 ($I_G$)에 의하여 thyristor가 trigger 됨을 확인하였다. 제작한 LTT 소자는 disk형 press-pack 패키지를 진행한 후, LTT의 수광부에 $10{\mu}s$, 50 mW의 900 nm 광 펄스를 조사하여 전류 특성을 평가하였다. LTT 패키지 샘플에 60 Hz 주파수의 광 펄스를 조사한 경우 2,460 A의 순방향 평균전류 ($I_T$)와 $336A/{\mu}s$의 반복전류상승기울기 (repetitive di/dt)에 안정적으로 동작함을 확인하였다. 또한, 펄스 전류 시험의 경우 61.6 kA의 최대 통전 전류 (ITSM, surge current)와 $1,050A/{\mu}s$의 펄스전류 상승 기울기 (di/dt of on-state pulse current)에도 LTT의 손상 없이 동작함을 확인하였다.

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In situ iron/manganese removal and permeability improvement at the river bank filtration site (강변여과수내 철망간 저감 및 투수성 개선)

  • Kim, Byung-Woo;Kim, Byung-Goon;Hur, Young-Teck;Kim, Dong-Sup;Kim, Hong-Suck
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2018.05a
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    • pp.228-228
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    • 2018
  • 강변여과는 지하수 인공함양 방식 중 유도함양(induced recharge) 또는 간접함양 방식에 속한다. 이는 하천 및 강변 부근에 집수시설을 설치한 후, 미고결층 대수층(unconsolidated aquifer)의 자연 오염 저감능을 이용하여 지표수를 간접 취수하는 방식으로 수질이 불량한 지표수가 대수층을 관류하면서 희석, 화학적 이온 교환 및 반응, 흡착, 생물막(biofilm; 미생물에 의한 자연저감), 여과 등을 통하여 수질이 개선된다. 강변여과수내의 용존 농도가 높은 철과 망간은 수처리 비용증가, 용수관정 및 시설물의 수명단축을 초래한다. 따라서 강변여과 지역의 미고결 대수층에서 효과적인 철과 망간 동시 제거(vyredox)를 위해 에어서징(air surging)과 블록 서징(block surging)을 실시하기 위해서 실내 물탱크 모델(water tank model)에서 에어서징에 따른 공기 순환 우물시스템을 관찰하였으며, 이를 바탕으로 현장시험(Test bed)에 적용하였다. 미고결 대층수층에서의 철 망간은 음용수 기준치(각각 0.3 mg/L)를 초과하고 있으며, 강변여과 취수 개발 및 이용을 제한하는 요인이 되고 있다. 본 연구에서 사용된 에어서징과 블록서지 기술은 자갈층 및 미고결 대수층에 충진된 슬라임 및 폐색(clogging)을 제거함과 동시에 관정 주변의 대수층의 투수성 개선과 산화환경으로 치환되며, 대수층에 잔존하는 철/망간의 산화물들을 관정내로 빼낼 수 있는 방법이다. 따라서 서징에 따른 폐색 제거효율을 검토한 결과에서 철 망간 이온농도 저감효과와 관정 주변의 수리전도도(hydraulic conductivity) 및 저류계수(coefficient of storage)가 증가한 것으로 나타났다. 이와 같이 강변여과에 의한 폐색은 미고결층내 공기주입 및 블록서지를 통하여 철/망간 이온농도 저감 및 수리특성 개선 효과에 유용한 것으로 평가된다.

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Research of Matrix Effect Reduction of $CsX^+$ SNMS ($CsX^+$ SNMS의 Matrix Effect 감소연구)

  • 문환구;김동원;한철현;김영남;심태언
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.1 no.1
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    • pp.115-120
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    • 1992
  • SIMS is an indispensable surface analysis instrument in trace element depth profiling because of high detection sensitivity and excellent depth resolution, however, it requires a standard sample to do quantitative analysis due to matrix effect depending on the species of impurities and sample matricies and on the sputtering rates. Among the SNMS technology developed to supply the deficiency, we researched into CsX+ SNMS which improved the result quantitatively without any extra epuipments. So basic SNMS functions were confirmed through matrix element composition rate analysis using Siq layer etc., and adaptability to trace element concentration alaysis was tried. For that purpose we compared SIMS depth profile data for Boron which presented strong matrix effect on account of Fluorin existence after BF2 ion implantation on silicon substrate with SNMS data. Also detection limit and dynamic range were investigated. After these experements we concluded that CsX+ SNMS reduced matrix effect and we could apply it to profile impurity elements.

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Removal of Lead Ions from Aqueous Solution Using Juniperus chinenensis Waste (폐향나무를 이용한 수용액에서 납 이온 제거)

  • Choi, Suk Soon
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.24 no.4
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    • pp.428-432
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    • 2013
  • From the forest areas in Chungbuk, large amounts of wood wastes by pruning are generated, however most of them considered as by-products are not treated properly with no disposal options. In this work, among diverse wood wastes such as Quercus variabillis, Juniperus chinensis, Larix kaemoferi, and Pinus densiflora, Juniperus chinensis was found to be more effective biosorbent for the removal of lead ions than other wood wastes. Also, the enhancement of lead removal efficiency from the aqueous phase was investigated using Juniperus chinensis waste. It was observed that the optimal initial pH to increase the removal efficiency of 20 mg/L lead ions was 4.0 and the optimal dosage concentration with regard to the biosorbent for the enhanced removal of 50 mg/L lead ions was 0.6 g/100 mL. In addition, chemical treatment of Juniperus chinensis waste with sulfuric acid was required to improve the adsorption capacity for high lead concentrations (over 100 mg/L). When Juniperus chinensis waste was chemically treated with 6 M sulfuric acid, the adsorption quantities of lead ions were 180, 340, and 425 mg/g with regard to 200, 400, and 500 mg/L lead ions concentrations, respectively. These results indicate that the practical biosorbent technology developed in this study is a highly efficient method to treat the lead ion from an aqueous solution.

SOI wafer formation by ion-cut process and its characterization (Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조 및 특성조사)

  • Woo H-J;Choi H-W;Bae Y-H;Choi W-B
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.14 no.2
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    • pp.91-96
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    • 2005
  • The silicon-on-insulator (SOI) wafer fabrication technique has been developed by using ion-cut process, based on proton implantation and wafer bonding techniques. It has been shown by SRIM simulation that 65keV proton implantation is required for a SOI wafer (200nm SOI, 400nm BOX) fabrication. In order to investigate the optimum proton dose and primary annealing condition for wafer splitting, the surface morphologic change has been observed such as blistering and flaking. As a result, effective dose is found to be in the $6\~9\times10^{16}\;H^+/cm^2$ range, and the annealing at $550^{\circ}C$ for 30 minutes is expected to be optimum for wafer splitting. Direct wafer bonding is performed by joining two wafers together after creating hydrophilic surfaces by a modified RCA cleaning, and IR inspection is followed to ensure a void free bonding. The wafer splitting was accomplished by annealing at the predetermined optimum condition, and high temperature annealing was then performed at $1,100^{\circ}C$ for 60 minutes to stabilize the bonding interface. TEM observation revealed no detectable defect at the SOI structure, and the interface trap charge density at the upper interface of the BOX was measured to be low enough to keep 'thermal' quality.

A Study on Characteristics of column fails in DDI DRAM (DDI DRAM에서의 Column 불량 특성에 관한 연구)

  • Chang, Sung-Keun;Kim, Youn-Jang
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.9 no.6
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    • pp.1581-1584
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    • 2008
  • In dual-polycide-gate structure with butting contact, net doping concentration of polysilicon was decreased due to overlap between $n^+$ and $p^+$ and lateral dopant diffusion in silicide/polysilicon layers. The generation of parasitic Schottky diode in butting contact region is attributed both to the $CoSi_2$-loss due to $CoSi_2$ agglomeration and to the decrease in net doping concentration of polysilicon layer. Parasitic Schottky diode reduces noise margin of sense amplifier in DDI DRAM, which causes column fail. The column fail could be reduced by physical isolation of $n^+/p^+$ polysilicon junction or suppressing $CoSi_2$ agglomeration by using nitrogen implantation into $p^+$ polysilicon before $CoSi_2$ formation.

The Effect of Carbon Dioxide Leaked from Geological Storage Site on Soil Fertility: A Study on Artificial Leakage (지중 저장지로부터 누출된 이산화탄소가 토양 비옥도에 미치는 영향: 인위 누출 연구)

  • Baek, Seung Han;Lee, Sang-Woo;Lee, Woo-Chun;Yun, Seong-Taek;Kim, Soon-Oh
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.54 no.4
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    • pp.409-425
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    • 2021
  • Carbon dioxide has been known to be a typical greenhouse gas causing global warming, and a number of efforts have been proposed to reduce its concentration in the atmosphere. Among them, carbon dioxide capture and storage (CCS) has been taken into great account to accomplish the target reduction of carbon dioxide. In order to commercialize the CCS, its safety should be secured. In particular, if the stored carbon dioxide is leaked in the arable land, serious problems could come up in terms of crop growth. This study was conducted to investigate the effect of carbon dioxide leaked from storage sites on soil fertility. The leakage of carbon dioxide was simulated using the facility of its artificial injection into soils in the laboratory. Several soil chemical properties, such as pH, cation exchange capacity, electrical conductivity, the concentrations of exchangeable cations, nitrogen (N) (total-N, nitrate-N, and ammonia-N), phosphorus (P) (total-P and available-P), sulfur (S) (total-S and available-S), available-boron (B), and the contents of soil organic matter, were monitored as indicators of soil fertility during the period of artificial injection of carbon dioxide. Two kinds of soils, such as non-cultivated and cultivated soils, were compared in the artificial injection tests, and the latter included maize- and soybean-cultivated soils. The non-cultivated soil (NCS) was sandy soil of 42.6% porosity, the maize-cultivated soil (MCS) and soybean-cultivated soil (SCS) were loamy sand having 46.8% and 48.0% of porosities, respectively. The artificial injection facility had six columns: one was for the control without carbon dioxide injection, and the other five columns were used for the injections tests. Total injection periods for NCS and MCS/SCS were 60 and 70 days, respectively, and artificial rainfall events were simulated using one pore volume after the 12-day injection for the NCS and the 14-day injection for the MCS/SCS. After each rainfall event, the soil fertility indicators were measured for soil and leachate solution, and they were compared before and after the injection of carbon dioxide. The results indicate that the residual concentrations of exchangeable cations, total-N, total-P, the content of soil organic matter, and electrical conductivity were not likely to be affected by the injection of carbon dioxide. However, the residual concentrations of nitrate-N, ammonia-N, available-P, available-S, and available-B tended to decrease after the carbon dioxide injection, indicating that soil fertility might be reduced. Meanwhile, soil pH did not seem to be influenced due to the buffering capacity of soils, but it is speculated that a long-term leakage of carbon dioxide might bring about soil acidification.

A Comprehensive Review of Geological CO2 Sequestration in Basalt Formations (현무암 CO2 지중저장 해외 연구 사례 조사 및 타당성 분석)

  • Hyunjeong Jeon;Hyung Chul Shin;Tae Kwon Yun;Weon Shik Han;Jaehoon Jeong;Jaehwii Gwag
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.56 no.3
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    • pp.311-330
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    • 2023
  • Development of Carbon Capture and Storage (CCS) technique is becoming increasingly important as a method to mitigate the strengthening effects of global warming, generated from the unprecedented increase in released anthropogenic CO2. In the recent years, the characteristics of basaltic rocks (i.e., large volume, high reactivity and surplus of cation components) have been recognized to be potentially favorable in facilitation of CCS; based on this, research on utilization of basaltic formations for underground CO2 storage is currently ongoing in various fields. This study investigated the feasibility of underground storage of CO2 in basalt, based on the examination of the CO2 storage mechanisms in subsurface, assessment of basalt characteristics, and review of the global research on basaltic CO2 storage. The global research examined were classified into experimental/modeling/field demonstration, based on the methods utilized. Experimental conditions used in research demonstrated temperatures ranging from 20 to 250 ℃, pressure ranging from 0.1 to 30 MPa, and the rock-fluid reaction time ranging from several hours to four years. Modeling research on basalt involved construction of models similar to the potential storage sites, with examination of changes in fluid dynamics and geochemical factors before and after CO2-fluid injection. The investigation demonstrated that basalt has large potential for CO2 storage, along with capacity for rapid mineralization reactions; these factors lessens the environmental constraints (i.e., temperature, pressure, and geological structures) generally required for CO2 storage. The success of major field demonstration projects, the CarbFix project and the Wallula project, indicate that basalt is promising geological formation to facilitate CCS. However, usage of basalt as storage formation requires additional conditions which must be carefully considered - mineralization mechanism can vary significantly depending on factors such as the basalt composition and injection zone properties: for instance, precipitation of carbonate and silicate minerals can reduce the injectivity into the formation. In addition, there is a risk of polluting the subsurface environment due to the combination of pressure increase and induced rock-CO2-fluid reactions upon injection. As dissolution of CO2 into fluids is required prior to injection, monitoring techniques different from conventional methods are needed. Hence, in order to facilitate efficient and stable underground storage of CO2 in basalt, it is necessary to select a suitable storage formation, accumulate various database of the field, and conduct systematic research utilizing experiments/modeling/field studies to develop comprehensive understanding of the potential storage site.

Ion Plating에 의한 알루미늄 산화막 형성

  • 김종민;권봉준;황도진;김명원
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.154-154
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    • 1999
  • 금속산화막은 전자부품 및 광학적 응용에 널리 사용되고 있다. 특히 알루미늄의 산화막은 유전체의 재료로 커패시터에 많이 사용되고 있다. 이러한 알루미늄 산화막을 plasma를 이용한 ion plating에 의해 형성하였다.Activated Reactive Evaporation은 화합물의 증착율을 높이는데 좋은 증착법이다. 이러한 증착법에는 reactive ion plating와 ion-assisted deposition 그리고 ion beam sputtering 등이 있다. 본 연구에서는 알루미늄 산화막을 증착시키기 위해 plasma를 이용한 electron-beam법을 사용하였다. Turbo molecular pump로 챔버 내의 진공을 약 10-7torr까지 낸린 후 5$\times$10-5torr까지 O2와 Ar을 주입시켰다. 각 기체의 분압은 RGA(residual gas analyzer)로 조사하여 일정하게 유지시켰다. plasma를 발생시키기 위해 filament에서 열전자를 방출시키고 1kV 정도의 electrode에 의해 가속시켜 이들 기체들과 반응시켜 plasma를 발생시켰다. 금속 알루미늄을 5kV정도의 고전압과 90mA의 전류로 electron beam에 의해 증발시켰다. 기판의 흡착율을 높ㅇ기 위해 기판에 500V로 bias 전압을 걸어 주었다. 증발된 금속 알루미늄 증기들이 plasmaso의 산소 이온들과 활성 반응을 이루어 알루미늄 기판 위에 Al2O3막을 형성하였다. 알루미늄 산화막을 분석하기 위해 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)로 화학적 조성을 조사하였는데, 알루미늄의 2p전자의 binding energy가 76.5eV로 측정되었다. 이는 대부분 증착된 알루미늄이 산소 이온과 반응하여 Al2O3로 형성된 것이다. SEM(Scanning electron Microscopy)과 AFM(Atomim Force microscopy)으로 증착박 표면의 topology와 roughness를 관찰하였다. grain의 크기는 10nm에서 150nm이었고 증착막의 roughness는 4.2nm이었다. 그리고 이 산화막에 전극을 형성하여 유전 상수와 손실률 등을 측정하였다. 이와 같이 plasma를 이용한 3-beam에 의한 증착은 금속의 산화막을 얻는데 유용한 기술로 광학 재료 및 유전 재료의 개발 및 연구에 많이 사용될 것으로 기대된다.

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