• Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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• 2007.12a
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• pp.253-254
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• 2007

오늘날 자동화 컨테이너 터미널은 대부분 AGV(Automated Guided Vehicle) 기반의 무인이송시스템을 운영하고 있다. AGV는 컨테이너의 상하차 작업 시 타장비의 도움을 필요로 한다. 이로 인하여 장비 간 대기시간이 발생하며, 이는 생산성을 떨어뜨리는 요인이 된다. 이와 같은 문제점을 해결한 무인이송장비로 ALV(Automated Lifting Vehicle)가 있다. ALV는 자가하역기능이 있어 타장비의 도움 없이 상하차 작업이 가능하다. 본 연구에서는 시뮬레이션을 통하여 각 이송시스템의 생산성을 비교하였다. 시뮬레이션은 이송시스템의 배차 방식과 안벽장비의 종류를 다양하게 설정하고, 무인이송장비의 가감속 운동 및 충돌을 고려하였다. 시뮬레이션 결과 소수의 경우를 제외하고는 ALV 기반의 이송시스템이 AGV 기반의 이송시스템보다 높은 생산성을 보여주었다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.21 no.8
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• pp.19-26
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• 2004

정밀 공작기계에 있어 안내/이송계(이하, 이송시스템)의 중요성은 새삼스럽게 강조할 필요가 없을 정도로 꾸준히 강조되어 왔다. 또한, 최근 들어서는 광부품, 반도체, 디스플레이 등 초정밀 가공기술시장의 급격한 확대에 따라 이들 산업의 제조장비용 핵심기술로서 이송시스템의 역할 및 수요는 훨씬 확대되어가고 있으며, 오히려 요구정밀도 면에서는 공작기계상에서의 요구성능을 초월하여, 이들 산업에서 개발된 기술이 역으로 공작기계에 적용되어야하는 시점으로까지 진전되고 있다.(중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.160-160
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• 2004

초음파 여기를 이용한 물체 이송 시스템은 최근 급속히 발달하고 있는 광산업이나 반도체 산업에서 기존의 이송 시스템의 단점을 보완하기 위해 개발되었다. 기존의 이송 시스템들은 이송공정이나 검사 공정 등에서 광소자의 표면손상이나 자기장에 의한 반도체 소자의 전자적 배열의 손상이 우려되었다. 하지만 PZT 액츄에이터로 구동되는 초음파 발생장치(Ultrasonic wave generator)에서 발생한 초음파 여기를 이용하여 물체를 이송시킬 경우 이러한 단점은 보완된다.(중략)

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2008.05a
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• pp.40-42
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• 2008

FPD용 마더글라스의 크기가 급격히 증가함에 따라 새로운 이송방식이 요구되어 유로망 해석을 통해 마더글라스의 무게에 맞는 양력을 발생시킬 수 있는 공기부상 이송시스템을 구성한다. 또한 마더글라스의 처짐량을 계산하여 최적화 된 FPD공기부상 이송시스템을 설계한다.

• Journal of the Korean Institute of Intelligent Systems
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• v.24 no.2
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• pp.129-135
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• 2014

In the paper, we propose a design method for the logistics transportation system using magnetic levitation that has a good characteristics without mechanical friction, noise and dust. The proposed transportation system consists of a levitation control system and a propulsion control system. Magnetic levitation system is an electromagnetic suspension system in which electromagnet generates magnetic attractive force and the attractive force pulls the rail. We design a PID controller for the current control of electromagnets. We use linear induction motors for propulsion of the proposed logistics transportation system and adapt the space vector PWM method for the propulsion control system. The proposed transportation system using magnetic levitation is verified performances through levitation and propulsion experiments.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.861_862
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• 2009

본 논문은 LCD 생산라인의 물류 자동화 시스템 중 OHS(Over Head Shuttle)을 분기가 되도록 하여, 이송 효율을 높이고, 이송거리를 단축시키기 위한 선형 이송시스템에 적용이 가능한 영구자석 여자 횡자속 선형 전동기 개발에 관한 내용이다. 3차원 FEM 해석과정특성 실험을 통해 전동기의 특성을 분석하여, 직선-곡선 레일과 분기구간에서 이송 가능한 횡자속 선형전동기 추진모듈의 사양을 결정하고 시작품을 설계, 제작하여 OHS 시스템 등의 이송시스템에 적용 가능한지 그 타당성을 검토하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.138-146
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• 2004

현재 반도체 및 LCD 제조분야에 적용되는 공정장비, 이송시스템에는 고성능, 고생산성이 요구되고 있는 추세이다 기존의 선형이송시스템은 구동원으로 서보모터(Servo Motor)를 사용하고 있으며, 기계적 동력전달장치를 사용하여 직선운동을 하는 구조로 되어있어 마찰소음, Position Error 등의 발생요인이 많은 단점을 가지고 있다. 반면에 선형전동기(Linear Motor)를 이송시스템의 구동원으로 사용하면 기계적 동력전달장치가 생략되어 기존의 선형이송시스템이 가지고 있는 단점들의 개선효과가 크며 유지보수면에서도 유리한 점이 많다. 본 연구에서는 2,500[N]급 영구자석 여자 횡자속 선형전동기를 설계, 개발하였으며, 이를 적용한 추진모듈을 개발하였다. 본 연구에서 개발된 횡자속 선형전동기 적용 추진모듈은 LCD 제조분야의 Stocker, RGV, Index, OHS, OHT 등을 비롯하여 타 산업분야의 선형이송시스템으로의 가능하다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.20 no.5
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• pp.22-28
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• 2003

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.72-84
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• 2004

반도체 집적도가 높아지고 웨이퍼가 대구경화 됨에 따라 새로운 이송 장비의 개발이 필요하게 되었다. 본 연구에서는 이송장비의 새로운 개념인 공기부상 방식의 낱장이송 시스템을 설계하고 부상 노즐의 크기에 따른 부상 높이를 평가하였으며 그 결과 동일한 부상용 유량을 사용할 경우 0.5 mm 보다 0.8 mm 노즐이 부상 높이가 더 높고 에너지 절약적인 측면에서 유리함을 밝혔다. 또한 웨이퍼 이송용 추진 노즐의 배치에 따른 웨이퍼 이송 속도의 변화를 측정하여 동일 유량에서 추진속도가 훨씬 증가된 형상인 Type B(노즐 집중형)를 결정할 수 있었으며, 제조장비와 이송장비를 연결시켜주는 인터페이스에서의 웨이퍼 안정성을 평가한 결과 평균 16초 이내에 매우 안정된 공기부상 방식의 웨이퍼 낱장이송 시스템을 구현할 수 있었다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.40 no.2
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• pp.213-220
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• 2016

This research aims to develop core technologies for passive carrier (no power in carrier itself) transfer system. The technologies are passive levitation, propulsion, and guidance, which can be great benefits for semiconductor and display manufacturing industries. Passive maglev carrier is necessary to precise position control for quiet and stable transfer operation. However, the structural characteristics of carrier and the installation errors of gap sensors cause the pitch motion. Hence, the controller design in consideration of pitch motion is required. This study deals with the reduction control of carrier pitch motion. PDA controller and PDA controller with pitch control are proposed to compare the pitch angle analysis. The pitch angle and the levitation precision are measured by experiment. Finally, the optimized design of pitch controller is presented and the effects are discussed.