TEM and Raman Spectrum Characterization of 3C-SiC/Si(001) Heterostructure Grown by Chemical Vapor Deposition (화학증착 방법으로 Si(001)기판 상에 성장된 3C-SiC 이종접합 박막의 투과전자현미경 및 라만 특성분석)
-
- Korean Journal of Materials Research
- /
- v.7 no.8
- /
- pp.654-659
- /
- 1997