초정밀 대면적 미세 형상 가공기의 유정압 안내면 및 리니어 모터의 강성 규명 (Stiffness Identification of Hydrostatic Guideways and Linear Motors of an Ultra-Precision Machine for Machining Large-Surface Micro-Features)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.127-128
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- 2007